使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备技术

本公开涉及使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改良特性的抛光垫可由诸如三维(3D)打印工艺之类的增材制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的先进抛光垫，该等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂、加成聚合物前体化合物、催化剂及固化剂。举例而言，该先进抛光垫可通过自动化连续沉积至少一种聚合物前体组成物，继之以至少一个固化步骤而由多个聚合层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。本公开的实施例进一步提供一种具有可以是互穿型聚合物网状结构的聚合层的抛光垫。

【技术实现步骤摘要】
使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备本申请是申请日为2016年10月6日、申请号为201680060117.6、名称为“使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备”的中国专利申请(PCT申请号为PCT/US2016/055793)的分案申请。
本文中公开的实施例一般是关于抛光制品及制造用于抛光工艺的抛光制品的方法。更具体而言，本文中公开的实施例是关于通过产生改良的抛光垫特性及性能(包括可调谐性能)的工艺产生的抛光垫。
技术介绍
化学机械抛光(Chemicalmechanicalpolishing；CMP)是已在许多不同行业中用于平坦化基板表面的常规工艺。在半导体行业中，抛光与平坦化的均匀性已随着器件特征尺寸持续缩小而变得日益重要。在CMP工艺期间，诸如硅晶片之类的基板安装于承载头上，其中器件表面抵靠着旋转抛光垫置放。承载头在基板上提供可控制的负载以推动器件表面抵靠抛光垫。通常向移动抛光垫的表面及抛光头供应诸如具有磨料颗粒的浆料之类的抛光液体。抛光垫及抛光头向基板施加机械能，同时垫亦帮助控制在抛光工艺期间与基板相互作用的浆料的运送。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种通过顺序地形成多个聚合物层来形成抛光制品的方法，包括：/n在表面上形成第一层，其中形成所述第一层包括：/n以在第一方向上对准的第一图案将多个第一滴分配在所述表面上，其中所述第一滴各自具有第一体积并且包含第一树脂前体组成物；以及/n固化所分配的第一滴，其中当在所述第一方向上进行测量时，固化的第一滴各自具有第一尺寸，其中所述第一图案的固化的第一滴在所述第一方向上的间距等于或大于所述固化的第一滴的所述第一尺寸；以及/n在所述第一层的表面上形成第二层，其中形成所述第二层包括：/n在所述第一层中的第一滴的每一个上分配包含所述第一树脂前体组成物的第一滴；以及/n固化所述第二层中的所分配的第一滴。/...

【技术特征摘要】
20151016 US 14/885,950;20151019 US 14/887,240;20151.一种通过顺序地形成多个聚合物层来形成抛光制品的方法，包括：
在表面上形成第一层，其中形成所述第一层包括：
以在第一方向上对准的第一图案将多个第一滴分配在所述表面上，其中所述第一滴各自具有第一体积并且包含第一树脂前体组成物；以及
固化所分配的第一滴，其中当在所述第一方向上进行测量时，固化的第一滴各自具有第一尺寸，其中所述第一图案的固化的第一滴在所述第一方向上的间距等于或大于所述固化的第一滴的所述第一尺寸；以及
在所述第一层的表面上形成第二层，其中形成所述第二层包括：
在所述第一层中的第一滴的每一个上分配包含所述第一树脂前体组成物的第一滴；以及
固化所述第二层中的所分配的第一滴。


2.如权利要求1所述的方法，其中所述第一树脂前体组成物包含脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯，所述脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯具有大于或等于2的官能度。


3.如权利要求1所述的方法，其中所述固化的第一滴的所述第一尺寸小于安置在所述表面上的第一滴的未固化平衡尺寸，其中第一滴的所述未固化平衡尺寸在所述第一方向上被测量。


4.如权利要求1所述的方法，进一步包括：
以在所述第一方向上对准的第二图案将多个第二滴分配在所述表面上，其中所述第二滴各自具有第二体积并且包含第二树脂前体组成物；以及
固化所分配的第二滴，其中当在所述第一方向上进行测量时，固化的第二滴各自具有第二尺寸，
其中所述第二图案的固化的第二滴的间距等于或大于所述固化的第二滴的所述第二尺寸。


5.如权利要求4所述的方法，其中所述第一滴与第二滴在所述第一层中的第一比在与所述第一方向成一角度的第二方向上变化。


6.如权利要求4所述的方法，其中
所述第一树脂前体组成物包含第一量的脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯、第一量的第二树脂前体组分和第一量的第一固化剂；以及
所述第二树脂前体组成物包含第二量的脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯和第一量的第三树脂前体组分。


7.如权利要求4所述的方法，其中所述第一体积和所述第二体积相等。


8.如权利要求1所述的方法，其中固化所分配的第一滴包括使所述第一滴暴露于电磁辐射达第一时间段以仅部分地固化所述第一滴。


9.如权利要求8所述的方法，其中部分地固化的第一滴各自具有相对于形成所述第一层的所述表面大于或等于50度的接触角。


10.一种通过顺序地形成多个聚合物层来形成抛光制品的方法，包括：
在表面上形成第一层，其中形成所述第一层包括：
以在第一方向上对准的第一图案将多个第一滴分配在表面上，其中
所述第一滴包含第一树脂前体组成物，以及
所述第一滴在所述第一方向上的间距等于或小于安置在所述表面上的第一滴的平衡尺寸；以及
以在所述第一方向上对准的第二图案将多个第二滴分配在所述表面上，其中所述第二滴包含第二树脂前体组成物；以及
在所述第一层的表面上形成第二层，其中形成所述第二层包括：在所述第一层中的第一滴的每一个上分配包含所述第一树脂前体组成物的第一滴。


11.如权利要求10所述的方法，其中所述第一滴与第二滴在所述第一层中的第一比在与所述第一方向成一角度的第二方向上变化。


12.如权利要求10所述的方法，其中所述第一树脂前体组成物包含脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯，所述脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯具有大于或等于2的官能度。


13.如权利要求10所述的方法，其中所述形成所述第一层包括：
在形成所述第二层之前，使所述多个第一滴和所述多个第二滴暴露于电磁辐射达第一时间段以仅部分地固化所述多个第一滴和所述多个第二滴。


14.如权利要求13所述的方法，其中
部分地固化的第一滴和部分地固化的第二滴各自具有相对于形成所述第一层的所述表面大于或等于50度的接触角。


15.如权利要求10所述的方法，其中
所述第一树脂前体组成物包含第一量的脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯、第一量的第二树脂前体组分和第一量的第一固化剂；以及
所述第二树脂前体组成物包含第二量的脂族多官能性聚氨酯丙烯酸酯和第一量的第三树脂前体组分。

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【专利技术属性】
技术研发人员：S·嘎纳帕西亚潘，傅博诣，A·乔卡林甘，D·莱德菲尔德，R·巴贾杰，M·C·奥里拉尔，H·T·黄，J·G·方，M·山村，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US