一种用于生成微机械结构的方法，首先在基片中形成二维结构。此二维结构通过力的作用从基片偏转并被固定在偏转状态。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制造微机械结构的方法，包括步骤： 在基片（１０）内形成（２）二维结构（１０）； 通过力的作用使所述二维结构（１２）从基片平面偏转（４）；和 将所述二维结构（１２）固定（６）在偏转状态。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼斯容，克里斯蒂安德拉伯，提诺詹德纳，哈拉尔德琛克，托马斯克洛泽，亚里桑德勒沃尔特尔，
申请(专利权)人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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