【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制造微机械结构的方法，包括步骤： 在基片（１４）内形成（１００）被可偏转支撑的二维结构（１１）； 将所述被可偏转支撑的二维结构（１１）布置（１０２）在封装（２２）内，使得集成微操纵器（２４，２６）布置在所述封装和所述二维结构（１１）之间，由此实现所述二维结构（１１）偏转出所述基片（１４）的平面。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：提诺詹德纳，
申请(专利权)人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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