阵列波导光栅电路制造技术

本发明专利技术涉及一种阵列波导栅极电路，其在防止合分波功能的品质恶化的同时，还集成了两个ＡＷＧ电路。其备有：与第一输入波导（５１ａ）和多个第二输出波导（５５ｂ）相连接的第一板条形波导（５２）；与多个第一输出波导（５５ａ）和第二输入波导（５１ｂ）相连接的第二板条形波导（５４）；和连接于第一板条形波导（５２）与第二板条形波导（５４）之间的阵列波导（５３）。输入波导（５１ａ、５１ｂ）与一组多个第二输出波导（５５ａ、５５ｂ）之中最外侧的第二输出波导空出１．５ｘ的间隔，来与板条形波导（５２、５４）相连接，该一组多个第二输出波导是以对应波长的间隔ｘ来连接的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用作光合分波器(optical multiplexer/demultiplexer)的阵 歹(J波导光栅电路(arrayed waveguide grating circuit)。
技术介绍
近年来，随着光纤传送系统的普及，要求高密度地集成大量光元件的 技术，作为其中之一，PLC (PlanarLightwave Circuit)已为人所知。PLC 是在硅基板或石英基板上集成了光波导、波导型光元件的光电路，在生产 率、高可靠性、集成化、高功能化方面具有优点。另外，作为实现大容量 光纤传送系统的方式，采用了波分多路复用传送方式。在波分多路复用传 送方式的收发装置中，作为用于分割及多路复用不同波长的多个光信号的 光电路而采用了分波器及合波器。作为组装在PLC中的合分波器，比较 典型的是采用阵列波导光栅(以下称为AWG: Arrayed Waveguide Grating )。图1表示以往的AWG电路的构成。AWG电路10由与输入波导11 相连接的第一板条形波导(slab waveguide) 12;与输出波导15相连接的 第二板条形波导14;和连接在第一板条形波导12与第二板条形波导14 之间的阵列波导13构成。阵列波导13是以与邻接的波导保持一定的光程 长度差的方式排列的。在波分多路复用传送方式中，例如在处理32波的 光信号的情况下，形成100根左右的阵列波导13。上述AWG电路10因为形成100根具有一定的光程长度差的阵列波 导13，故AWG电路在PLC基板上所占的面积大于其它的波导型光元件。 因此，从电路小型化的观点上想了各种办法。在图2中表示采用了以往的 AWG电路的合分波器。通过使第一板条形波导22a、 22b和第二板条形波 导24a、 24b在同一位置上重叠形成，从而将用作分波器的AWG电路20a 与用作合波器的AWG电路20b安装在同一 PLC基板上。但是，在两组的阵列波导23a、 23b之间，有因制造误差而产生中心波长的偏差的问题。 此外，将用于分波器的一根输入波导和用于合波器的输出波导连接于 第一板条形波导，将用于分波器的输出波导和用于合波器的一根输入波导 连接于第二板条形波导，来共有阵列波导(例如，参照专利文献1)。在 图3中表示以往的共有阵列波导的AWG电路的构成。AWG电路30由与 输入波导31a和输出波导35b相连接的第一板条形波导32、与输出波导 35a和输入波导31b相连接的第二板条形波导34、和连接在第一板条形波 导32与第二板条形波导34之间的阵列波导33构成。此时，需要在从阵 列波导向板条形波导的入射光会聚的位置上、即多个输出波导的中心设置 一根输入波导。在图4中表示以往的输入输出波导与板条形波导的连接关系。 一般， 在输入输出波导与板条形波导的连接部分，为了加宽透过频带的波谱，要 在输入波导上设置抛物线(parabola)状的连接部，在输出波导35上设置 锥状的连接部37。但是在以往的AWG电路中，由于在以与波长间隔对 应的规定间隔x配置的输出波导之间配置输入波导，故无法设置抛物线状 的连接部以及锥状的连接部。因此，出现了输入输出波导与板条形波导的 连接部分的透过频带的波谱变窄的问题。此外，如果将抛物线状的连接部 以及锥状的连接部重叠设置，则在输入波导与所邻接的输出波导之间将发 生串扰。进而，若去除与输入波导相邻接的输出波导，则将欠缺被分配了 一系列波长的频道，从而在波分多路复用传送系统的运用方面是不实用 的。专利文献l:日本专利3443437号公报
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种阵列波导栅极电路，其在防止合分波功能的 品质恶化的同时还集成了两个AWG电路。为了达到该目的，本专利技术实施方式涉及的阵列波导栅极电路的特征在 于备有-第一板条形波导，其在一个面上连接了第一输入波导和多个第二输出 波导；第二板条形波导，其在一个面上连接了多个第一输出波导和第二输入波导；和阵列波导，其连接在与所述第一板条形波导的一个面相对向的另一 面、和与所述第二板条形波导的一个面相对向的另一面之间，所述第一输入波导与一组所述多个第二输出波导之中最外侧的第二 输出波导空出第二间隔，并与所述第一板条形波导相连接，且该一组所述多个第二输出波导以与波长对应的第一间隔连接在一个面上；所述第二输入波导与一组所述多个第一输出波导之中最外侧的第一输出波导空出第二间隔，并与所述第二板条形波导相连接，且该一组所述多个第一输出波导以与波长对应的第一间隔连接在一个面上。所述第二间隔既可以是所述第一间隔的整数倍加上所述第一间隔的一半的间隔，也可以是所述第一间隔的1.5倍的间隔。附图说明图1是表示以往的AWG电路的构成的图。图2是表示采用了以往的AWG电路的合分波器的构成的图。图3是表示以往的共有阵列波导的AWG电路的构成的图。图4是表示以往的输入输出波导与板条形波导的连接关系的图。图5是表示本专利技术的一实施方式涉及的AWG电路的构成的图。图6是表示输入输出波导与板条形波导的连接关系的图。图7是表示输入输出波导与板条形波导的连接关系的图。图8是表示输入输出波导与板条形波导的连接关系的图。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。 在图5中表示本专利技术的一实施方式涉及的AWG电路的构成。AWG 电路50由与输入波导51a和输出波导55b相连接的第一板条形波导52、 与输出波导55a和输入波导51b相连接的第二板条形波导54、和连接在 第一板条形波导52与第二板条形波导54之间的阵列波导53构成。在本 实施方式中，在一系列输出波导列的外侧配置一根输入波导。面向图5，将输入波导51a置于上侧，将输出波导55b置于下侧，并与第一板条形波 导52进行连接。与此相反，也可以将输出波导55b置于上侧，将输出波 导51a置于下侧，并与第一板条形波导52进行连接。在图6中表示输入输出波导与板条形波导的连接关系。从阵列波导 53射出的光信号，利用由阵列波导53赋予的相位差所生成的角度分散， 按照每个波长在不同的位置上进行聚光。通过在此位置上连接输出波导 55a，从而可以从对于每个波长而言不同的输出波导55a输出波长不同的 光信号。因此，输出波导55a以与波长间隔对应的规定间隔x，连接于第 二板条形波导54。鉴于此构成，在输入输出波导与板条形波导的连接部分，可以在输入 波导上设置抛物线状连接部56、在输出波导上设置锥形状的连接部57。 因此，在输入波导与所邻接的输出波导之间不会发生串扰，并可扩宽输入 输出波导与板条形波导的连接部分的透过频带的波谱。可以将本实施方式的AWG电路用作不同的两个分波器，也可在相反 方向上作为两个不同的合波器来使用，以使从输入波导51a、 51b输入的 光信号在阵列波导53中相对向地传输。另外，也可以将输入波导51a和 输出波导55a用于分波器，而将输入波导51b和输出波导55b用于合波器。输入波导51b配置在以规定的间隔x配置的输出波导55a的外侧。从 输入波导51b射出的光信号，被第二板条形波导54衍射而扩宽，并以入 射到阵列波导的方式配置。此时，相对于所邻接的输出波导55a，以1.5x 的间隔配置输入波导51b。在此，关于输入波导51的配置方法，以处理波长间隔相等的8波本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列波导光栅电路，其备有：　第一板条形波导，其在一个面上连接了第一输入波导和多个第二输出波导；　第二板条形波导，其在一个面上连接了多个第一输出波导和第二输入波导；和　阵列波导，其连接在与所述第一板条形波导的一个面相对向的另一面、和与所述第二板条形波导的一个面相对向的另一面之间，　所述第一输入波导与一组所述多个第二输出波导之中最外侧的第二输出波导空出第二间隔，而与所述第一板条形波导相连接，其中该一组所述多个第二输出波导以与波长对应的第一间隔连接于一个面上，　所述第二输入波导与一组所述多个第一输出波导之中最外侧的第一输出波导空出第二间隔，而与所述第二板条形波导相连接，其中该一组所述多个第一输出波导以与波长对应的第一间隔连接于一个面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田智之，永野充，井藤干隆，渡边俊夫，水野隆之，乡隆司，金子明正，
申请(专利权)人：日本电信电话株式会社，NTT电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]