用于最小化波长选择滤波器的传播损耗的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于最小化波长选择滤波器的传播损耗的方法和装置。本发明专利技术是一种用于最小化波长选择滤波器中的传播损耗的方法和装置。在一个实施例中，一种装置包括：波导总线，被限定在所述装置的第一晶体层中，用于接收入射光；谐振器，被限定在所述第一晶体层中；以及耦合结构，被限定在所述装置的第二多晶硅或非晶硅层中，用于将来自所述波导总线的具有选择的波长的所述入射光耦合到所述谐振器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术通常涉及光学，以及更具体而言，涉及光互连。
技术介绍
图1A是示例了常规波长选择滤波器100 (例如，用于波分复用的滤波 器)的一个实例的顶视图。图1B示例了图1A的滤波器100的沿线A-A， 的截面图。滤波器100包括环形谐振器102，其被侧向耦合(side-coupled) 到接入直波导(或波导总线)104。环形谐振器102被调谐到感兴趣的波长 通道，以便环形谐振器102从总线104过滤该通道。为了相比于平面光波 导和线路(circuit)而言的高折射率，耦合间隙106 (即，环形谐振器102 与总线104之间的距离)典型地为微米量级，并被控制在几纳米的精度内。 然而，通过典型的光刻方法纟艮难实现这样的控制。图2A是示例了常规的波长选择滤波器200的可选的实例的顶视图。 图2B示例了图2A的滤波器200沿线A-A，的截面图。与滤波器100相似， 滤波器200包括耦合到波导总线204的环形谐振器202。然而，如图2B所 示例的，在高折射率波导层中形成环形谐振器202,该高折射率波导层与 其中形成了总线204的层是分开的。在该情况下，垂直设置耦合间隙206, 并可以通过例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装置，包括：　波导总线，被限定在所述装置的第一晶体层中，用于接收入射光；　谐振器，被限定在所述第一晶体层中；以及　耦合结构，被限定在所述装置的第二层中，用于将来自所述波导总线的具有选择的波长的所述入射光耦合到所述谐振器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：YA弗拉索夫，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]