液滴涂布装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供具备保持基板（５０）并可沿基板运送方向即第２方向往复动作的运送台（１１）和与第２方向正交的方向即第１方向大致平行的多根横梁（１２）的液滴涂布装置（１）。在各横梁（１２）上与基板（５０）的表面相对地设有多个液滴吐出单元（２），多个液滴吐出单元（２）分别可在可移动区域内沿第１方向在滑块机构（２０）的作用下独立移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用喷墨方式等在基板上涂布液滴的液滴涂布装置。
技术介绍
近年来，喷墨技术不仅用于在纸介质上形成图像的印刷装置，在制造装置上的用途也令人期待。例如在专利文献l中，作为液晶显示器、有机EL显示 器、等离子体显示器、电子放射元件、电泳显示装置等的制造装置，揭示出一 种载置了采用喷墨方式的液滴吐出元件的装置的结构。在该专利文献l中，为 了提高油墨在基板上的弹着位置精度，在由石平台形成的装置基体上设有沿同 一方向运送基板的基台和使喷墨头沿与基台前进方向正交的方向移动的滑动 机构。采用喷墨方式的通用印刷机通常使用以150 300喷嘴/英寸的间距将喷嘴 孔规则排列而成的宽1/2 2英寸的喷墨头元件作为吐出油墨滴的元件。将该喷 墨头元件按各颜色分别多个载置而构成1个喷墨头单元，使用该喷墨头单元形 成图像。即，用送纸辊送入记录纸的同时使喷墨头单元沿与记录纸的运送方向 正交的方向多次扫描，从而在记录纸上形成图像。将喷墨方式用于上述制造装置时，虽然喷墨头元件的使用情况可以与通用 印刷机中使用的情况相同，但现状是喷嘴列方向的尺寸最高也只有1 2英寸 左右。另一方面，在液晶显示器、有机EL显示器、等离子体显示器、电子放射 元件、电泳显示装置等的制造工序中，为了增加基板的获得数而使用大面积基 板，从而有助于实现低成本和縮短作业时间，但若要利用喷墨方式进行制造， 则必须要有与边长长达数米的大面积基板相应的制造装置。作为在上述制造装置中采用的能对大面积基板进行高速处理的喷墨方式， 已知有将多个喷墨头元件并列形成的长度为基板尺寸以上的线型头方式。该方 式将大致1 2英寸宽的喷墨元件交错排列至基板尺寸的长度，因此，若基板 尺寸为数米，则至少需要排列100 200个喷墨头。采用该方式的装置对于以 例如需要对基板整个面吐出油墨且该吐出位置是规则的滤色器基板等为制造 对象的情况而言，可以说是非常理想的装置。另外，在滤色器基板的基板整个面上吐出油墨后，必须对着色不良部分进行修复作业。专利文献2中公开的装置是在滤色器基板上存在着色不良部分时仅向该不良位置吐出滤色器材料的装置。专利文献1:日本专利特开2003-191462号 专利文献2:日本专利特开2003-66218号专利技术的揭示但是，若采用上述线型头方式，则在滤色器基板的基板整个面上吐出 油墨后对着色不良部分进行修复时存在以下缺点。即，作为对散布于滤色 器基板的着色不良部位进行修正的手段而采用线型头方式时，该修复需要 与在基板整个面上吐出液滴相同的处理时间，且几乎所有喷嘴均成为不进 行喷吐的非工作喷嘴，因此该非工作喷嘴易产生喷嘴堵塞。此外，必须对 包括非工作喷嘴在内的所有喷嘴进行维修动作，因此无用的废液增加。本 来只要向滤色器基板的着色不良部分吐出液滴即可，但若采用线型头方式， 则必须对所有喷嘴(数千个)均进行吐出量修正以使其吐出量均一化，因 此效率极低。若采用通用印刷机中常用的方式，即使喷墨头单元在同一线上多次往复移动的方式，则喷墨头单元的扫描距离增加，且从稳定工作的观点出 发，该单元的扫描速度的加快有限，因而存在无法整体縮短处理时间的问 题。今后，不局限于滤色器的修复，人们希望在各种制造领域中能在大面 积基板上的目标部位高效地吐出液滴，但上述线型头方式和喷墨头单元在 同一线上往复移动的方式均难以满足上述需求。本专利技术的目的在于提供能相对于散布在大面积基板上的目标部位高效 地进行液滴的吐出动作的液滴涂布装置。本专利技术的另一目的在于对散布在大面积基板上的目标部位及其整个面 均能高效地进行液滴的吐出动作的液滴涂布装置。本专利技术具有与基板对置且能沿基板面的第1方向独立移动的多个液滴 吐出单元。该多个液滴吐出单元通过在上述基板吐出液滴而在该基板的规 定部分涂布该液滴。而且，还具有能使上述液滴吐出单元沿与上述第1方 向正交的第2方向相对移动的移动机构，使上述液滴吐出单元移动至基板的 任意位置并吐出液滴。可沿上述第2方向往复移动的基台保持上述基板。在该基台的上方设有承 载上述多个液滴吐出单元并沿上述第1方向大致平行地设置的多个承载体。在本专利技术的另一实施方式中，上述多个承载体具有能使上述多个液滴吐出 单元分别独立移动的多个滑块机构，上述多个滑块机构以可移动上述多个液滴 吐出单元的可移动区域的一部分在上述第1方向重合的方式设置在上述多个承 载体上。藉此，可在上述基板的上述第l方向的任意位置上吐出液滴。本专利技术能縮短对散布于基板的目标部位进行液滴吐出动作时的处理时间。 而且，能减少非工作喷嘴数，因而使废液量减少。另外，容易使液滴的滴加量 稳定。附图的简单说明附图说明图1是本专利技术涉及的实施方式1的液滴涂布装置的图。图2是本专利技术涉及的实施方式1的液滴涂布装置的立体图。图3是本专利技术涉及的实施方式1的液滴吐出顺序的说明图。图4是说明本专利技术涉及的实施方式1的装置的动作的图。图5是说明本专利技术涉及的实施方式1的装置的动作的图。图6是说明本专利技术涉及的实施方式1的装置的动作的图。图7是说明本专利技术涉及的实施方式1的维修机构的模式剖视图。图8是本专利技术涉及的实施方式2的液滴涂布装置的图。图9是本专利技术涉及的实施方式1 3的液滴吐出单元的结构示意图。图10是本专利技术涉及的实施方式1 3的液滴吐出单元的排列例子的示意图。图11是本专利技术涉及的实施方式3的液滴涂布装置的图。图12是说明本专利技术涉及的实施方式3的液滴涂布装置的动作的图。符号说明1液滴涂布装置2液滴吐出单元10装置基体11运送台12横梁13维修机构部20滑块机构21吐出元件50基板实施专利技术的最佳方式本专利技术实施方式涉及的液滴涂布装置1的立体图如图2所示。该图只 显示了液滴涂布装置1的特征部分。液滴涂布装置1包括由石平台形成的装置基体10、可在装置基体10 上沿图中箭头A方向(第2方向)移动的运送台11以及与装置基体10的 侧面连接并横跨基台11之上而配置的门型横梁(承载体)12。在横梁12 上通过未图示的滑块机构20配置有多个液滴吐出单元2，液滴吐出单元2 在滑块机构20的作用下能分别独立地沿图中箭头方向B(第1方向)移动。在本实施方式中，液滴吐出单元2由吐出油墨滴的喷墨单元构成。液滴吐出单元2的吐出面面向基台方向，当在运送台ll上载置需修复 处理的基板50时，基板50的面与液滴吐出单元2的吐出面之间的间隙为 0.1 0.5mm左右。另外，在装置基体10上，相对于液滴吐出单元2设有具有在不使用时将吐出面覆盖的机构、检测不良吐出口的机构、修复不良吐 出口的机构等的维修机构部13。当有必要对液滴吐出单元2进行维修处理 时，使液滴吐出单元2靠近维修机构部13，在它们对置的状态下实施维修所需的处理。在本实施方式中，横梁12通过横梁移动机构14向维修机构 部13方向移动。未图示的运送机器人将需要修复处理的基板50从图1的左方向运送并 配置于液滴涂布装置1的运送台11上。运送台11具有通过真空吸附等将 基板50固定于基台11的机构，沿图1的箭头A方向(第2方向)往复移 动。此时，液滴吐出单元2分别独立地沿与运送台ll移动的A方向正交的 方向即图2的箭头B方向(第l方向)移动，在任意时刻吐出液滴。通过 使运送台11沿箭头A方向多次重复往复移动的同时，在该移动过程中使多 个液滴本文档来自技高网...

【技术保护点】
液滴涂布装置，其特征在于，具有：多个液滴吐出单元，所述液滴吐出单元与基板对置，可沿基板面的第１方向独立移动，并通过向所述基板吐出液滴而在该基板的规定部分涂布该液滴；以及，　移动机构，所述移动机构使所述多个液滴吐出单元沿与所述第１方向正交的第２方向相对移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛吉纪，坂本泰宏，樋口馨，浅井重美，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]