真空输送机基板装载模块制造技术

本文中公开了一种用于在检查站中装载基板的方法和设备。在一个实施方式中，提供了一种用于基板检查系统的装载模块，所述装载模块包括：第一输送机模块；以及第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所述第一输送机模块的可移动表面基本上平行地定位的可移动表面，其中所述第一输送机模块包括第一区段和第二区段，所述第一区段具有真空单元，所述真空单元是可操作的以将基板固定到所述可移动表面在所述第一区段中的一部分，并且所述第二区段被配置为从所述可移动表面释放所述基板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空输送机基板装载模块
本公开的实施方式一般涉及基板装载设备。更具体地，本文中公开的实施方式涉及用于使用真空输送机将基板装载到太阳能基板检查设备中的系统和方法。
技术介绍
用作太阳能面板的基板，诸如包括在其上形成的多个光伏器件的基板，在处理期间在独立的检查站处进行例行检查，以确保符合预定的质量控制标准。不同检查技术提供了关于产品和工艺的综合数据。然而，出于所要求的检查站的数量以及在检查站之间移动基板所造成的传送时间的原因，综合检查可能耗时，由此降低产量。因此，装置制造商通常面临关于在花费大量检查/传送时间经过全部检查站或先前某些检查工艺之间进行选择的决策。然而，随着检查工艺不断地减少完成所要求的检查步骤所需的时间量，同样需要改进装载设备以便能够跟上增加的产量。因此，需要与检查系统一起使用的改进的基板装载设备。
技术实现思路
本文中公开了一种用于在检查站中装载基板的方法和设备。在一个实施方式中，提供了一种用于基板检查系统的装载模块，所述装载模块包括：第一输送机模块；以及第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于基板检查系统的装载模块，所述装载模块包括：/n第一输送机模块；以及/n第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所述第一输送机模块的可移动表面基本上平行地定位的可移动表面，其中所述第一输送机模块包括第一区段和第二区段，所述第一区段具有真空单元，所述真空单元是可操作的以将基板固定到所述可移动表面在所述第一区段中的一部分，并且所述第二区段被配置为从所述可移动表面释放所述基板。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180508 US 62/668,554;20180710 US 16/031,6561.一种用于基板检查系统的装载模块，所述装载模块包括：
第一输送机模块；以及
第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所述第一输送机模块的可移动表面基本上平行地定位的可移动表面，其中所述第一输送机模块包括第一区段和第二区段，所述第一区段具有真空单元，所述真空单元是可操作的以将基板固定到所述可移动表面在所述第一区段中的一部分，并且所述第二区段被配置为从所述可移动表面释放所述基板。


2.如权利要求1所述的装载模块，其中所述第一输送机模块和所述第二输送机模块两者的所述可移动表面都包括对应的带。


3.如权利要求2所述的装载模块，其中所述第一输送机模块的所述带包括穿过所述带而形成的多个孔。


4.如权利要求2所述的装载模块，其中耦接到所述第一输送机模块的所述带的驱动马达被配置为在第一旋转方向上移动所述带，并且耦接到所述第二输送机模块的所述带的驱动马达被配置为在与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向上移动所述带。


5.如权利要求1所述的装载模块，其中所述第一输送机模块以与所述第二输送机模块相反的关系定位。


6.一种基板检查系统，包括：
第一输送机模块；
第二输送机模块，所述第二输送机模块具有与所述第一输送机模块的可移动表面相反并基本上平行地定位的可移动表面，其中所述第一输送机模块包括第一区段和第二区段，所述第一区段具有真空单元，所述真空单元是可操作的以将基板固定到所述可移动表面在所述第一区段中的一部分，并且所述第二区段被配置为从所述可移动表面释放所述基板；以及
第三输送机模块，其中所述第一输送机模块和所述第二输送机模块相对于所述第三输送机模块的可移动表面的平面成锐角定位。


7.如权利要求6所述的基板检查系统，其中所述第三输送机模块具有可移动表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿萨夫·施勒岑杰，马库斯·J·施托佩尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US