振动传感器和电子设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种振动传感器和电子设备，振动传感器包括外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；以及振动单元，所述振动单元可振动地设置于所述容纳腔，并为所述MEMS麦克风提供振动信号，所述振动单元还设有贯穿振动单元的泄气孔，所述泄气孔贯穿所述第一振膜和所述质量块，所述泄气孔的孔径d的取值范围为：5um≤d≤20um。本实用新型专利技术技术方案旨在使质量块两侧气压均匀，保证振动传感器的检测效果，方便用户使用。

【技术实现步骤摘要】
振动传感器和电子设备
本技术涉及传感器
，特别涉及一种振动传感器和应用该振动传感器的电子设备。
技术介绍
目前现有的振动传感器包括振动感应装置及将振动转化为电信号的振动检测装置，振动感应装置具有感应振动的振膜，该振膜在接收到外部振动后进行谐振，从而产生谐振气波，该振动检测装置通过检测谐振气波，将振动信号转换，并输出，实现振动传感的功能；以及，为了便于振膜振动，通常会在振膜的表面设置质量块。但是质量块的两侧的气压容易出现不均匀的情况，如此，容易影响振动传感器的检测效果，不利于用户使用。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种振动传感器，旨在使质量块两侧气压均匀，保证振动传感器的检测效果，方便用户使用。为实现上述目的，本技术提供的振动传感器，包括：外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；以及振动单元，所述振动单元可振动地设置于所述容纳腔，并为所述MEMS麦克风提供振动信号，所述振动单元还设有贯本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动传感器，其特征在于，包括：/n外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；/nMEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；以及/n振动单元，所述振动单元可振动地设置于所述容纳腔，并为所述MEMS麦克风提供振动信号，所述振动单元还设有贯穿振动单元的泄气孔，所述泄气孔贯穿所述第一振膜和所述质量块，所述泄气孔的孔径d的取值范围为：5um≤d≤20um。/n

【技术特征摘要】
1.一种振动传感器，其特征在于，包括：
外壳，所述外壳形成有容纳腔，所述容纳腔形成有开口；
MEMS麦克风，所述MEMS麦克风将所述开口封堵，所述MEMS麦克风的声孔与所述容纳腔连通；以及
振动单元，所述振动单元可振动地设置于所述容纳腔，并为所述MEMS麦克风提供振动信号，所述振动单元还设有贯穿振动单元的泄气孔，所述泄气孔贯穿所述第一振膜和所述质量块，所述泄气孔的孔径d的取值范围为：5um≤d≤20um。


2.如权利要求1所述的振动传感器，其特征在于，所述泄气孔的孔径d的取值范围为：10um≤d≤15um；
且/或，所述泄气孔的深度h的取值范围为：120um≤h≤180um。


3.如权利要求1所述的振动传感器，其特征在于，所述声孔投影于所述振动单元形成第一投影区域，所述第一投影区域的外轮廓与所述泄气孔的孔口间隔设置。


4.如权利要求1所述的振动传感器，其特征在于，所述泄气孔的截面轮廓由多段弧线段围合形成或者呈多边形设置；
且/或，所述泄气孔的延伸方向与所述振动单元的振动方向一致。


5.如权利要求1所述的振动传感器，其特征在于，所述振动单元包括第一振膜和固定于所述第一振膜的表面的质量块，所述泄气孔贯穿所述第一振膜和所述质量块。


6.如权利要求1至5中任一所述的振动传感器，其特征在于，所述外壳设有通气孔，所述通气孔连通外部环境和所述容纳腔，所述通气孔投影于所述振动单元形成第二投影区域，所述第二投影区域的外轮廓与所述泄气孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：于洪伟，孙振国，
申请(专利权)人：荣成歌尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37