新型二官能(甲基)丙烯酸酯化合物和聚合物制造技术

通过以下的式(1)(式(1)中，R

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】新型二官能(甲基)丙烯酸酯化合物和聚合物
本专利技术涉及：可用于制造抗蚀剂所代表的半导体平版印刷用树脂、粘合剂、粘接剂、油墨、涂料、薄膜等的新型二官能(甲基)丙烯酸酯化合物、其聚合物、包含其聚合物的抗蚀剂用树脂组合物、以及包含该二官能(甲基)丙烯酸酯化合物的固化性组合物及其固化物。
技术介绍
在平版印刷中，随着集成度的增大，要求形成更微细的图案，目前，在量产中使用了基于KrF准分子激光(波长248nm)或ArF准分子激光(波长193nm)的平版印刷技术。另外，通过组合准分子激光和浸渍平版印刷技术，可按50nm左右以下的水平进行微细加工。而且，对于基于波长短的F2准分子激光(波长157nm)或波长较这些准分子激光短的EUV(极紫外线)或X射线、以及电子射线的平版印刷技术也正在进行研究开发。作为这样的高分辨率的平版印刷材料之一，有化学增幅型抗蚀剂(chemicallyamplifiedphotoresist)。作为化学增幅型抗蚀剂的基材的聚合物，包含具有用可在酸的作用下脱离的酸解离性基团保护极性基团而得到的结构的构成单元，在曝光部，在由光酸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1. 以下的式(1)所表示的化合物：/n[化学式1]/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180307 JP 2018-0409061.以下的式(1)所表示的化合物：
[化学式1]



式(1)中，R1表示氢原子或甲基，R2表示碳原子数为1～6的脂肪族烃基，m表示0～5的整数，n表示0～4的整数。


2.聚合物，该聚合物具有来自权利要求1所述的化合物的构成单元。


3.抗蚀剂用树脂组合物，该树脂组合物含有权利要求2所述的聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：角田聪，马场弘光，池田明代，藤泽亮，羽场一彦，
申请(专利权)人：丸善石油化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP