一种自适应束斑X射线衍射仪制造技术

本发明专利技术涉及一种自适应束斑X射线衍射仪，包括：X射线源系统，X射线滤波片，毛细管微会聚X光透镜，索拉狭缝，光管运动系统，高精度XYZθ

【技术实现步骤摘要】
一种自适应束斑X射线衍射仪
本专利技术涉及一种X射线衍射技术和能量色散X射线荧光技术，具体涉及一种自适应束斑X射线衍射仪。
技术介绍
X射线衍射是一种广泛应用于判别晶体物相结构的分析技术，其原理是从X射线源(X射线管等)发射出来的X射线经过单色化后，入射到样品表面某一晶面上时，在特定角度会产生强的衍射。其中晶面间距d在符合布拉格方程2dsinθ＝nλ的条件下，通过样品平面与衍射X射线的夹角θ值计算出晶面间距d，就可以判别出样品的晶体结构。常规的X射线衍射实验装置如图1所示，由X射线源系统1、单色器2、X射线准直系统3和4、测角仪与样品架5、X射线探测器6、电子学系统7、计算机8等部分组成。一般X射线源系统1为功率2000W的X射线管；多数衍射仪配有石墨弯晶作为单色器2；X射线准直系统3和4一般由宽度为1mm，高度为15mm的狭缝准直器组成；测角仪与样品架5在结构上是一体的，样品固定在样品架上；X射线源系统1与样品、样品与X射线探测器6之间的空间尺寸均大于400mm；X射线探测器6采用NaI晶体探测器。目前常规的X射线衍射实验装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自适应束斑X射线衍射仪，所述衍射仪包括：X射线源系统(1)，X射线探测器(6)，电子学系统(7)，计算机(8)，X射线滤波片(9)，毛细管微会聚X光透镜(10)，索拉狭缝(11)，高精度XYZθ

【技术特征摘要】
1.一种自适应束斑X射线衍射仪，所述衍射仪包括：X射线源系统(1)，X射线探测器(6)，电子学系统(7)，计算机(8)，X射线滤波片(9)，毛细管微会聚X光透镜(10)，索拉狭缝(11)，高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)，光管运动系统(13)，运动控制系统(14)，闭环水冷系统或冷却风扇(15)和CCD相机(16)；其中，所述X射线滤波片(9)安装在所述X射线源系统(1)和所述毛细管微会聚X光透镜(10)之间；所述CCD相机(16)的轴线通过样品的中心，置于所述高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)左下侧；所述X射线源系统(1)和所述毛细管微会聚X光透镜(10)安装在所述光管运动系统(13)上置于所述高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)左侧，其特征在于根据编写的程序自动测量所述CCD相机中观测到的样品待测点的内切圆直径，根据内切圆直径来自适应的控制所述光管运动系统沿轴线运动使得照射X射线束斑直径在0.2mm～2mm之间变化，此束斑既能满足微米量级的微区分析需求也能满足毫米量级的常规分析需求；所述毛细管微会聚X光透镜(10)将来自所述X射线源系统(1)的X射线会聚成准平行X射线；待测样品置于所述高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)的样品台上；所述准平行X射线的中心线与所述高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)样品台表面的夹角为θ1；所述X射线探测器(6)和所述索拉狭缝(11)安装在所述高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)的θ2转角上，所述X射线探测器(6)铍窗的中心线经过所述索拉狭缝(11)的中心并与所述准平行X射线的中心线的夹角为θ2；所述准平行X射线的中心线、所述X射线探测器(6)铍窗的中心线交汇于所述高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)样品台的圆心，所述样品的待测点位于所述高精度XYZθ1-θ2五维运动系统(12)样品台的圆心；所述CCD相机(16)与所述计算机(8)电连接；所述X射线探测器(6)依次与所述电子学系统(7)，所述计算机(8)电连接；所述运动控制系统(14)分别与所述高精度XYZθ1...

【专利技术属性】
技术研发人员：程琳，刘俊，姜其立，
申请(专利权)人：北京师范大学，
类型：发明
国别省市：北京;11