一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法技术

本发明专利技术提供一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法，所述方法包括对所述铜铝材料表面进行预清洗、螺纹面清洗以及轰击清洗。所述方法可有效去除铜铝材料表面的油污以及氧化层，增强磁控溅射镀膜与镀膜金属表面的附着力，且方法简单，易于应用到工业化当中。

【技术实现步骤摘要】
一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法
本专利技术属于PVD镀膜领域，涉及一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法。
技术介绍
靶材焊接领域部分难以实现扩散的金属材料，行业内有一种方案，即在其中一个金属焊接面通过磁控溅射方式先镀上一层易于和另外一种金属扩散焊接的金属膜，再通过这层金属膜实现靶材与背板之间的焊接。如果所镀金属膜层与基体的结合力不好，则会出现靶材与背板脱焊现象，因此这种办法要求磁控溅射镀膜时金属膜层与基体的结合力要好。而铜和铝是两种易于氧化的金属，如果表面没有处理好，则磁控溅射镀膜膜层与铜或者铝的基体强度不高。CN108060425A公开一种废铝加工前的清洗方法，包括以下操作步骤：(1)将收集的废铝用水洗净后，表面喷洒改性液，然后将废铝放入温度为45-55℃的烘箱中，烘烤处理25-30min，取出，其中改性液由以下重量份的组分制成：甲基丙烯磺酸钠11-19份、二水合钼酸钠14-19份、乙二胺基丙磺酸钠7-10份、柠檬酸铜1-5份、水250-300份；(2)将经过步骤(1)处理的废铝加入至除漆液中，充分浸泡处理40-50min后，取本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法，其特征在于，所述方法包括对所述铜铝材料表面进行预清洗、螺纹面清洗以及轰击清洗。/n

【技术特征摘要】
1.一种铜铝材料PVD镀膜前表面处理方法，其特征在于，所述方法包括对所述铜铝材料表面进行预清洗、螺纹面清洗以及轰击清洗。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预清洗的方法包括使用溶剂对所述铜铝材料表面进行超声清洗。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述溶剂包括异丙醇和/或航空煤油；
优选地，所述超声清洗的时间不低于5min。


4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述超声清洗后对所述铜铝材料进行干燥；
优选地，所述干燥的温度为50～80℃；
优选地，所述干燥的时间为30～90min。


5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述螺纹面清洗包括使用滑石粉与有机溶剂的混合物，对螺纹面进行擦拭；
优选地，所述擦拭的次数不低于三次；
优选地，所述有机溶剂包括异丙醇、正丙醇或乙醇等的任意一种或至少两种的组合。
优选地，所述擦拭结束后将螺纹面上附着的滑石粉与有机溶剂的混合物擦除。


6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，使用惰性气氛将擦拭后的所述螺纹面吹干；
优选地，所述惰性气氛包括氩气和氮气。


7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述轰击清洗的温...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，廖培君，占卫君，罗明浩，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33