一种基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手制造技术

本发明专利技术公开了一种基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，包括机械超材料结构的氧化石墨烯层、机械超材料结构的石墨烯层、电容上极板、介质层、电容下极板、平面电感、通孔、基板、锚区，机械超材料结构的石墨烯层位于机械超材料结构的氧化石墨烯层下方，双层机械超材料结构位于基板正面，机械超材料结构的中心处是由电容上极板、介质层和电容下极板组成的压力敏感电容，电容下极板与锚区相连，锚区穿过通孔与基板背面的平面电感相连，本发明专利技术基于LC谐振回路的谐振频率变化来实现抓取手上物体的检测，并对抓取手施加红外光激励，实现抓取物体的目的，具有灵敏度高、测量误差小、体积小、功耗低、结构新颖等优势。

【技术实现步骤摘要】
一种基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手
本专利技术是一种基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，属于微电子器件

技术介绍
机器抓取手是近代自动控制领域出现的一种自动化装置，其广泛的应用于机械制造、冶金、电子、轻工业、海洋开发、航空航天、地下采矿、军事国防、救灾抢险、医疗服务、智能建筑、生产自控等众多领域。近年来，机器抓取手逐渐向微型化、模块化、可重构化的方向不断发展。传统的机器抓取手按驱动方式可分为液压传动机器手、气压传动机器手、机械传动机器手和电动传动机器手等，各种驱动的机器抓取手在传动效率、稳定性、安全性、灵敏度、精确度、体积、功耗、生产成本等方面各有优缺点，适用于各种不同的应用场合。近年来，国内外提出了一些基于MEMS制造技术的微型机器抓取手，其与传统的机器抓取手相比采用新型材料和新颖结构，具有灵敏度高、精度高、响应速度快、体积小、功耗低、成本低等优势。随着科学技术不断发展，智能化机器抓取手的需求将持续扩大，各种技术相互融合也将越发紧密，使得机器抓取手的发展前景一片光明。
技术实现思路
>技术问题：针对上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，其特征在于：包括机械超材料结构的氧化石墨烯层(1)、机械超材料结构的石墨烯层(2)、电容上极板(3)、介质层(4)、电容下极板(5)、锚区(6)、平面电感(7)、通孔(8)、基板(9)；机械超材料结构的石墨烯层(2)位于机械超材料结构的氧化石墨烯层(1)下方组成双层机械超材料结构，该双层机械超材料结构位于基板(9)的正面，机械超材料结构的中心处为压力敏感电容，由位于上部的电容上极板(3)、位于中部的介质层(4)和位于下部的电容下极板(5)构成，电容下极板(5)与锚区(6)相连，锚区(6)穿过通孔(8)与基板(9)背面的平面电感(7)相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，其特征在于：包括机械超材料结构的氧化石墨烯层(1)、机械超材料结构的石墨烯层(2)、电容上极板(3)、介质层(4)、电容下极板(5)、锚区(6)、平面电感(7)、通孔(8)、基板(9)；机械超材料结构的石墨烯层(2)位于机械超材料结构的氧化石墨烯层(1)下方组成双层机械超材料结构，该双层机械超材料结构位于基板(9)的正面，机械超材料结构的中心处为压力敏感电容，由位于上部的电容上极板(3)、位于中部的介质层(4)和位于下部的电容下极板(5)构成，电容下极板(5)与锚区(6)相连，锚区(6)穿过通孔(8)与基板(9)背面的平面电感(7)相连。


2.根据权利要求1所述的基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，其特征在于：所述机械超材料结构的氧化石墨烯层(1)和机械超材料结构的石墨烯层(2)的平面形状均为左右对称和上下对称的结构，左右对称的形状为两个横向设置的M状，上下对称的形状为两个竖向设置的三角形。


3.根据权利要求1所述的基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，其特征在于：所述平面电感(7)为位于基板(9)背面的方形螺旋线圈。


4.根据权利要求1所述的基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，其特征在于：所述电容上极板(3)采用的材料为石墨烯、碳纳米管CNT或银纳米线，厚度为10-50μm。


5.根据权利要求1所述的基于机械超材料结构的无源无线机器抓取手，其特征在于：所述介质层(4)采用的材料为聚二甲基硅氧烷PDMS，厚度为100-200μm。

【专利技术属性】
技术研发人员：韩磊，张勋，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32