闪烁器面板和放射线图象传感器制造技术

在闪烁器面板（１）的ａ－Ｃ制的基片（１０）的一侧的表面上形成作为光反射膜的Ａｇ膜（１２）。这个Ａｇ膜（１２）的整个表面被用于保护Ａｇ膜（１２）的ＳｉＮ膜（１４）覆盖。在这个ＳｉＮ膜（１４）的表面上形成将入射的放射线变换成可见光的柱状构造的闪烁器（１６）。这个闪烁器（１６）和基片（１０）一起被聚对二甲苯膜（１８）覆盖。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于医疗用的X射线摄影等的闪烁器面板和放射线图象 传感器。
技术介绍
以前，在医疗，工业用的X射线摄影中，可以用X射线感光底片， 但是考虑到便利性和摄影结果的保存性，现在正在普及用放射线检测器 的放射线成象系统。在这种放射线成象系统中，用放射线检测器取得由 两维放射线产生的象素数据变换而成的电信号，通过处理装置对该信号 进行处理后在监视器上显示出来。作为有代表性的放射线检测器，存在着具有将在铝，玻璃，融化石 英等的基片上形成闪烁器的闪烁器面板和摄像元件粘合在一起的构造的 放射线检测器。在这种放射线检测器中，用闪烁器将从基片一侧入射的 放射线变换成光后由摄像元件检测出来(请参照日本平成7年公布的 7-21560号专利公报)。可是为了在放射线检测器上得到鲜明的图象，必须用光输出足够大 的闪烁器面板，但是在上述放射线检测器中光输出都不足够大。
技术实现思路
本专利技术的课题是提供使光输出增大的闪烁器面板和用使光输出增大 的闪烁器面板的放射线图象传感器。本专利技术的闪烁器面板的特征是备有透过放射线的基片，设置在上述 基片上的反射性金属薄膜，覆盖上述反射性金属薄膜全体的保护膜，和5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闪烁器面板，其特征在于，是在基片上支撑有闪烁器的闪烁器面板，其中，所述基片是透过放射线的基片，在所述基片与所述闪烁器之间具备：反射性金属薄膜，其透过放射线，并且将由所述闪烁器发出的光中的返回所述基片侧的光进行反射，和保护膜，其形成为使所述反射性金属薄膜不与所述闪烁器直接接触，所述闪烁器通过蒸涂而堆积在所述保护膜上，从所述基片的与形成有所述闪烁器的一侧相反的一侧入射的放射线，透过所述基片、所述反射性金属薄膜和所述保护膜而入射至所述闪烁器，并且，相应于该放射线的入射而由所述闪烁器发出的光从所述闪烁器的与所述基板相反的一侧发出。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：本目卓也，高林敏雄，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]