中测台自动遮光板机构制造技术

本实用新型专利技术涉及中测台的技术领域，尤其是涉及一种中测台自动遮光板机构，其包括检测台和设置在检测台一侧的机箱,所述检测台上开设有放置槽，所述放置槽内设置有探针板放置台，所述探针板放置台上设置有支撑框，所述支撑框的一侧设置有用于收卷遮光板的收卷机构，所述支撑框远离所述收卷机构的一侧设置有用于拉出遮光板并盖设在支撑框上的拉卷部件，所述支撑框上开设有供探针板连接外部导线的导线槽和导向孔。本实用新型专利技术具有在检测前自动遮挡探针板，减少光电效应对检测结果影响的效果。

【技术实现步骤摘要】
中测台自动遮光板机构
本技术涉及中测台的
，尤其是涉及一种中测台自动遮光板机构。
技术介绍
中测台又名探针台，主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。公告号为CN209803190U的中国专利公开了一种方便上样的晶圆探针台，包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，机箱内竖向设有升降丝杠，升降丝杠的底端转动连接在机箱内，机箱内设有升降台，升降丝杠穿过升降台，升降丝杠与升降台之间螺纹连接，机箱的顶部设有驱动电机，驱动电机的输出轴同轴连接于升降丝杠。上述中的现有技术方案存在以下缺陷：在检测圆晶片过程中，由于光电效应的存在，外界光线直接照射在探针板会产生光电流，对圆晶片的检测造成影响，无法正确判断圆晶盘的通断情况。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种的中测台自动遮光机构，具有在检测前自动遮挡探针板，减少光电效应对检测结果影响的效果。本技术的上述技术目的是通过以下技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种中测台自动遮光板机构，包括检测台(1)和设置在检测台(1)一侧的机箱(11)，所述检测台(1)上开设有放置槽(12)，所述放置槽(12)内设置有探针板放置台(13)，其特征在于：所述探针板放置台(13)上设置有支撑框(4)，所述支撑框(4)的一侧设置有用于收卷遮光板(24)的收卷机构(2)，所述支撑框(4)远离所述收卷机构(2)的一侧设置有用于拉出遮光板(24)并盖设在支撑框(4)上的拉卷部件，所述支撑框(4)上开设有供探针板连接外部导线的导线槽(41)和导线孔(42)。/n

【技术特征摘要】
1.一种中测台自动遮光板机构，包括检测台(1)和设置在检测台(1)一侧的机箱(11)，所述检测台(1)上开设有放置槽(12)，所述放置槽(12)内设置有探针板放置台(13)，其特征在于：所述探针板放置台(13)上设置有支撑框(4)，所述支撑框(4)的一侧设置有用于收卷遮光板(24)的收卷机构(2)，所述支撑框(4)远离所述收卷机构(2)的一侧设置有用于拉出遮光板(24)并盖设在支撑框(4)上的拉卷部件，所述支撑框(4)上开设有供探针板连接外部导线的导线槽(41)和导线孔(42)。


2.根据权利要求1所述的中测台自动遮光板机构，其特征在于：所述收卷机构(2)包括一对固定在检测台(1)侧壁的转座(21)、转动连接在两转座(21)之间的转轴(22)和套设在转轴(22)两端的卷簧(23)，所述卷簧(23)的内簧圈同轴心固定套接转轴(22)，所述卷簧(23)的外簧圈固定在转座(21)内，所述转轴(22)上卷设有遮光板(24)，所述拉卷部件包括架设在检测台(1)上的拉卷轴(3)，所述拉卷轴(3)卷设有用于拉动遮光板(24)盖设在支撑框(4)上的拉绳(33)，所述拉卷轴(3)的一侧固定有驱动拉卷轴(3)转动的电机(32)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：魏媛，
申请(专利权)人：无锡威泰集成电路测试有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32