光电转换装置和设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供光电转换装置和设备。光电转换装置包括：包括像素阵列的第一基板；包括被构造为从像素阵列读出信号的读出电路的第二基板；以及从外部对其施加驱动电位的驱动端子。读出电路包括第一节点和第二节点，经由布置在像素阵列中的导电线将所述驱动电位从所述驱动端子供应至第一节点，而不经过像素阵列将所述驱动电位从驱动端子供应至第二节点。

【技术实现步骤摘要】
光电转换装置和设备
本专利技术涉及光电转换装置和设备。
技术介绍
日本特开2018-125620号公报描述了一种固态图像拍摄装置，其具有第一半导体基板、绝缘体和第二半导体基板堆叠于其中的结构。在第一半导体基板上布置像素、行选择信号线、垂直移位寄存器、垂直信号线、接地布线、接地垫等，并且在第二半导体基板上布置差分放大器电路、存储电容器等。提供第一通孔和第二通孔以将提供在第一半导体基板上的布线与提供在第二半导体基板上的布线连接。第一通孔布置在于第一半导体基板的像素阵列中布置的垂直信号线与第二半导体基板的差分放大器电路之间的电气路径中。第二通孔布置在于第一半导体基板的像素阵列中布置的接地线与第二半导体基板的存储电容器的一个端子之间的电气路径中。在一种布置中，诸如接地电位等的电位从布置在一个基板的像素阵列中的诸如接地线等的导电线供应至布置在另一个基板上的读出电路，由于导电线的电位改变可能发生屏蔽。
技术实现思路
本专利技术提供了降低屏蔽的技术优势。本专利技术的第一方面提供光电转换装置，其包括：包括像素阵列的第一基板；包括被构造为从像素阵列读出信号的读出电路的第二基板；以及从外部对其施加驱动电位的驱动端子，其中读出电路包括第一节点和第二节点，经由布置在像素阵列中的导电线将驱动电位从驱动端子供应至第一节点，而不经过像素阵列将驱动电位从驱动端子供应至第二节点。本专利技术的第二方面提供设备，其包括：如本专利技术的第一方面所限定的光电转换装置；和连接至光电转换装置的装置。通过参考附图对示例性实施例的以下描述，本专利技术的其他特征将变得显而易见。附图说明图1是示例性地示出根据实施例的形成光电转换装置的第一基板的布置的视图。图2是示例性地示出根据实施例的形成光电转换装置的第二基板的布置的视图。图3是示意性地示出根据实施例的光电转换装置的布置的视图。图4是示例性地示出根据实施例的光电转换装置中的像素的布置的视图。图5是示例性地示出根据实施例的形成光电转换装置的第二基板的另一布置的视图。图6是示出根据实施例的设备的布置的框图。图7A和图7B是示出了根据另一实施例的设备的布置的视图。具体实施方式在下文中，将参照附图详细描述实施例。应当注意，以下实施例并不旨在限制要求保护的专利技术的范围。在实施例中描述了多个特征，但并非所有这些特征对于本专利技术而言都是限制，而是可以将多个这些特征适当地组合。此外，在附图中，相同的附图标记表示相同或类似的构造，并且将省略其重复描述。在以下描述中，“驱动电位”是指接地电位或者电位高于接地电位的电源电位，并且“驱动端子”是指被提供以供应驱动电位的端子。“连接”是指电连接。除了两个元件之间的直接连接之外，两个元件之间的连接(电连接)可以包括经由其他元件的两个元件之间的连接。“接合点”提供电连接。参考图1至图4，将描述根据实施例的光电转换装置1。如图3中示意性地示出，能够通过堆叠第一基板10和第二基板20形成根据实施例的光电转换装置1。提供在第一基板10上的接合点130和提供在第二基板20上的接合点131能够彼此接合。能够从驱动端子将施加至接合点130和131。提供在第一基板10上的接合点160和提供在第二基板20上的接合点161能够彼此接合。能够经由像素阵列中的导电线将驱动电位从驱动端子施加至接合点160和161。图1示意性地示出第一基板10的布置示例，图2示意性地示出第二基板20的布置示例。第一基板10包括像素阵列110，像素阵列110包括多个像素100从而形成多个行和多个列。第二基板20包括从第一基板10的像素阵列110读出信号的读出电路200。多个列信号线170布置在像素阵列110中。可以将与像素阵列110的行数相对应数目的像素100连接至各个列信号线170。列信号线170连接至接合点120。接合点120连接至提供在第二基板20上的接合点121。尽管在图3中没有示出接合点120和121，但是接合点120和121以类似于接合点160和161之间的接合的方式接合。接合点120和121可以用于将第一基板10的像素阵列110中的列信号线170连接至第二基板20的读出电路200。第一基板10可以包括施加有作为驱动电位示例的接地电位的接合点(第一接合点)130和施加有作为驱动电位示例的接地电位的接合点(第三接合点)160。第二基板20可以包括施加有作为驱动电位示例的接地电位的接合点(第二接合点)131和施加有作为驱动电位示例的接地电位的接合点(第四接合点)161。第一基板10的接合点130和第二基板20的接合点131可以彼此连接。第一基板10的接合点160和第二基板20的接合点161可以彼此连接。接合点130布置在像素阵列110外部并且连接至导电线(接地线)140，并且接合点160布置在像素阵列110中并且连接至导电线140。也就是说，接合点130和接合点160通过导电线140彼此连接。电阻180和电阻184可以寄生在导电线140上。电阻180是像素阵列110外部的导电线140的电阻，并且电阻184是像素阵列110中位于像素阵列110的端部和接合点160之间的导电线140的电阻。第一基板10可以包括将多个导电线140彼此连接的连接线150。连接线150可以以与第一基板10正交投影的方式布置在(从其平面上看)像素阵列110的外部。第二基板20包括从像素阵列110读出信号的读出电路200，读出电路200可以包括被提供为使得一列电路CC与一列信号线170相对应的多个列电路CC。在图2中，仅示出一个这样的列电路CC。第二基板20可以包括用于将接地电位作为驱动电位外部施加至接合点131的驱动端子(垫)190。此处，可以提供多个驱动端子190使得一个驱动端子190与一个接合点131相对应。读出电路200(列电路CC)可以被构造为经由列信号线170以及接合点120和121从像素100读出信号。另一方面，读出电路200(列电路CC)可以被构造为处理经由列信号线170以及接合点120和121从像素100提供的信号。读出电路200(列电路CC)可以包括第一节点N1，驱动电位(接地电位)经由布置在像素阵列110中的导电线140(以及经由接合点131、130、160和161)从驱动端子190供应至第一节点N1。读出电路200还可以包括第二节点N2，驱动电位(接地电位)不经过像素阵列110从驱动端子190供应至第二节点N2。例如，读出电路200可以被构造为用作AD转换器，该AD转换器生成与经由列信号线170以及接合点120和121从像素100提供的信号(模拟信号)相对应的数字信号。读出电路200可以包括例如电流源210、差分放大器(比较器)220、第一电容器230、第二电容器250和第三电容器240。读出电路200可以包括将斜坡信号作为基准电位供应至各个列电路CC的供应源260。差分放大器220包括第一输入端子IN1和第二输入端子IN2。电流源210布置在连接像素阵列110的列信号线170(连接至本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电转换装置，其包括：/n第一基板，其包括像素阵列；/n第二基板，其包括被构造为从所述像素阵列读出信号的读出电路；以及/n驱动端子，从外部对其施加驱动电位，/n其中，所述读出电路包括第一节点和第二节点，经由布置在所述像素阵列中的导电线将所述驱动电位从所述驱动端子供应至所述第一节点，而不经过所述像素阵列将所述驱动电位从所述驱动端子供应至所述第二节点。/n

【技术特征摘要】
20190530 JP 2019-1014881.一种光电转换装置，其包括：
第一基板，其包括像素阵列；
第二基板，其包括被构造为从所述像素阵列读出信号的读出电路；以及
驱动端子，从外部对其施加驱动电位，
其中，所述读出电路包括第一节点和第二节点，经由布置在所述像素阵列中的导电线将所述驱动电位从所述驱动端子供应至所述第一节点，而不经过所述像素阵列将所述驱动电位从所述驱动端子供应至所述第二节点。


2.根据权利要求1所述的光电转换装置，其中，所述读出电路包括信号输入节点，对所述信号输入节点提供来自所述像素阵列的信号，并且从所述像素阵列提供至所述信号输入节点的所述信号的电位由于噪声而改变的方向，与施加至所述第一节点的驱动电位由于所述噪声而改变的方向相同。


3.根据权利要求1所述的光电转换装置，其中，所述驱动电位是接地电位。


4.根据权利要求2所述的光电转换装置，其中，所述驱动电位是接地电位。


5.根据权利要求3所述的光电转换装置，其中，所述读出电路包括：包括第一输入端子和第二输入端子的差分放大器，布置在连接所述像素阵列的列信号线与所述第二节点的路径中的电流源，布置在连接所述列信号线与所述第一输入端子的路径中的第一电容器，布置在连接所述第一节点与所述第二输入端子的路径中的第二电容器，以及被构造为将基准电位供应至所述第二输入端子的供应源。


6.根据权利要求4所述的光电转换装置，其中，所述读出电路包括：包括第一输入端子和第二输入端子的差分放大器，布置在连接所述像素阵列的列信号线与所述第二节点的路径中的电流源，布置在连接所述列信号线与所述第一输入端子的路径中的第一电容器，布置在连接所述第一节点与所述第二输入端子的路径中的第二电容器，以及被构造为将基准电位供应至所述第二输入端子的供应源。


7.根据权利要求5所述的光电转换装置，其中，所述供应源生成斜坡信号作为所述基准电位，并且所述斜坡信号经由第三电容器被供应至所述第二输入端子。


8.根据权利要求6所述的光电转换装置，其中，所述供应源生成斜坡信号作为所述基准电位，并且所述斜坡信号经由第三电容器被供应至所述第二输入端子。


9.根据权利要求5所述的光电转换装置，其中，所述供应源生成固定电位作为所述基准电位，并且所述固定电位经由开关被供应至所述第二输入端子。


10.根据权利要求6所述的光电转换装置，其中，所述供应源生成固定电位作为所述基准电位，并且所述固定电位经由开关被供应至所述第二输入端子。


11.根据权利要求3所述的光电转换装置，其中，所述读出电路包...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林秀央，乾文洋，吉田大介，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP