许可证认证装置和许可证认证方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供许可证认证装置和许可证认证方法。本发明专利技术的一方式的许可证认证装置进行应用程序的许可证期限的认证，其中，上述应用程序是用于调整半导体工厂内的半导体制造装置的参数的应用程序，上述许可证认证装置包括：许可证信息保存部，其保存包含上述许可证期限的许可证文件；日志数据获取部，其获取上述半导体制造装置执行了处理时的日志数据；和许可证期限判断部，其判断上述日志数据获取部所获取的上述日志数据中包含的时刻是否超过了保存于上述许可证信息保存部中的上述许可证期限。本发明专利技术能够更稳固地进行使用期限的认证。

【技术实现步骤摘要】
许可证认证装置和许可证认证方法
本专利技术涉及许可证认证装置和许可证认证方法。
技术介绍
已知有能够适当地防止在基片处理装置中运行的软件的不正当使用的基片处理装置(例如，参照专利文献1、2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-193579号公报。专利文献2：日本特开2003-076435号公报。
技术实现思路
本专利技术提供能够更稳固地进行使用期限的认证的技术。本专利技术的一方式的许可证认证装置进行应用程序的许可证期限的认证，其中，上述应用程序是用于调整半导体工厂内的半导体制造装置的参数的应用程序，上述许可证认证装置包括：许可证信息保存部，其保存包含上述许可证期限的许可证文件；日志数据获取部，其获取上述半导体制造装置执行了处理时的日志数据；和许可证期限判断部，其判断上述日志数据获取部所获取的上述日志数据中包含的时刻是否超过了保存于上述许可证信息保存部中的上述许可证期限。本专利技术能够更稳固地进行使用期限的认证。依照本专利技术，能够更稳固地进行使用期限的认本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种进行应用程序的许可证期限的认证的许可证认证装置，其中，所述应用程序是用于调整半导体工厂内的半导体制造装置的参数的应用程序，所述许可证认证装置的特征在于，包括：/n许可证信息保存部，其保存包含所述许可证期限的许可证文件；/n日志数据获取部，其获取所述半导体制造装置执行了处理时的日志数据；和/n许可证期限判断部，其判断所述日志数据获取部所获取的所述日志数据中包含的时刻是否超过了保存于所述许可证信息保存部中的所述许可证期限。/n

【技术特征摘要】
20190531 JP 2019-1031841.一种进行应用程序的许可证期限的认证的许可证认证装置，其中，所述应用程序是用于调整半导体工厂内的半导体制造装置的参数的应用程序，所述许可证认证装置的特征在于，包括：
许可证信息保存部，其保存包含所述许可证期限的许可证文件；
日志数据获取部，其获取所述半导体制造装置执行了处理时的日志数据；和
许可证期限判断部，其判断所述日志数据获取部所获取的所述日志数据中包含的时刻是否超过了保存于所述许可证信息保存部中的所述许可证期限。


2.如权利要求1所述的许可证认证装置，其特征在于：
所述参数的调整是基于所述日志数据获取部所获取的所述日志数据来进行的。


3.如权利要求1或2所述的许可证认证装置，其特征在于：
所述日志数据中包含的所述时刻是所述半导体制造装置开始进行处理的时刻。


4.如权利要求3所述的许可证认证装置，其特征在于：
还包括获取关于时刻的信息的时刻获取部，
所述许可证期限判断部判断所述时刻获取部所获取的所述时刻是否超过了保存于所述许可证信息保存部中的所述许可证期限。


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【专利技术属性】
技术研发人员：笠井隆人，康荣太，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP