一种光纤微气腔传感器及制备与信号检测方法技术

本发明专利技术提出了一种光纤微气腔传感器及制备与信号检测方法，本发明专利技术实施例提供的技术方案中所述光纤插入液体，所述插入液体的光纤的一端的端面上设有凹陷，所述凹陷与所述液体之间设有微气腔，所述光源由光纤另一端射入至设有凹陷的光纤端面。本发明专利技术中的光纤微气腔传感器不仅对液体环境温度、流速以及溶质等因素的抗干扰能力增强，通过改变光纤端面微结构几何参数，还可灵活控制气液界面曲率以及微气腔长度，调控传感器压力敏感特性，提升传感器性能与适用性，可满足不同应用场合对压力、声波、超声波、溶解气体检测的需要。

【技术实现步骤摘要】
一种光纤微气腔传感器及制备与信号检测方法
本专利技术涉及压力测量装置
，尤其涉及一种光纤微气腔传感器及制备与信号检测方法。
技术介绍
随着社会的发展和技术的进步，在生产过程中需要对生产的设备和生产出的产品进行更加精密的测量，而对生产的设备和生产出的产品进行更加精密的测量就需要更加精密的检测设备。作为一种压力传感器，光纤法布里-珀罗传感器结构紧凑、灵敏度高，通常由光纤端面和弹性薄膜构成。当外界压力引起膜片机械形变，会改变法布里-珀罗腔的腔长，进而引起反射光强度的改变。通过检测反射光谱或强度的变化，即可获取压力信号。目前大部分膜片式光纤法布里-珀罗传感器结构制作涉及向微小的光纤端面转移微米甚至纳米厚度的膜片，过程复杂且工艺要求较高，并且传感器如腔长、膜厚等参数的重复性也难以保证。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种光纤微气腔传感器及制备与信号检测方法，用以解决现有技术中的光纤法布里-珀罗传感器结构制作涉及向微小的光纤端面转移微米甚至纳米厚度的膜片，过程复杂且工艺要求较高，并且传感器如腔长本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光纤微气腔传感器，其特征在于，包括：光纤、微气腔、光源；/n所述光纤插入液体，所述插入液体的光纤的一端的端面上设有凹陷，所述凹陷与所述液体之间设有微气腔；/n所述光源由光纤另一端射入至设有凹陷的光纤端面。/n

【技术特征摘要】
20191202 CN 201911210897X1.一种光纤微气腔传感器，其特征在于，包括：光纤、微气腔、光源；
所述光纤插入液体，所述插入液体的光纤的一端的端面上设有凹陷，所述凹陷与所述液体之间设有微气腔；
所述光源由光纤另一端射入至设有凹陷的光纤端面。


2.根据权利要求1所述的光纤微气腔传感器，其特征在于，所述凹陷横截面面积小于光纤横截面面积。


3.根据权利要求1所述的光纤微气腔传感器，其特征在于，所述凹陷的内表面上涂有吸光材料，所述吸光材料包括金膜、银膜、金纳米颗粒、银纳米颗粒、碳纳米管、石墨烯和黑磷，且所述吸光材料厚度在1-20nm之间。


4.根据权利要求1所述的光纤微气腔传感器，其特征在于，所述光源包括连续光和脉冲光。


5.根据权利要求1所述的光纤微气腔传感器，其特征在于，所述微气腔内气体不易溶于水。


6.根据权利要求1所述的光纤微气腔传感器，其特征在于，所述液体包括水、水溶液、油、化学试剂和生物组织液。


7.一种光纤微气腔传感器的制备方法，其特征在于，包括：
在所述光纤一端面加工凹陷；
在所述凹陷内表面涂装吸光材料；
将设有所述凹陷的光纤的端面插入液体环境；
在所述凹陷与液体之间加工产生微气腔。


8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：关柏鸥，马军，何阳，
申请(专利权)人：暨南大学，
类型：发明
国别省市：广东;44