一种电泳组装制备LED显示器的方法技术

本发明专利技术公开了一种电泳组装制备LED显示器的方法。该方法包括贴合一电泳基板于LED液体悬浮液上，对驱动电极和/或电极层施加电压，以捕获所述LED芯片于所述驱动电极通道中，对第一衬底进行退火以及通过退火使每个LED芯片和与其对应的驱动电极通道的驱动电极电性连接。本发明专利技术其可以简洁快速且精准地转移巨量的发光二极管，并具有高良率。

【技术实现步骤摘要】
一种电泳组装制备LED显示器的方法
本专利技术涉及半导体器件制造和光学系统，尤其涉及一种电泳组装制备LED显示器的方法。
技术介绍
微型发光二极管(Micro-LED)就是“微”LED(发光二极管)，微型发光二极管阵列显示作为一种新显示技术，与其它显示技术，比如液晶显示(LiquidCrystalDisplay，LCD)、有机电激光显示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)等离子显示(PlasmaDisplayPanel，PDP)等相比，其核心的不同之处在于其采用无机LED作为发光像素。制作好的微小的LED需要转移到做好驱动电路的基底上。无论是电视还是手机屏，其像素的数量都是相当巨大的，以一个55寸4K电视为例，需要转移的晶粒就高达2400万颗(以4000x2000xRGB三色计算)，即使一次转移1万颗，也需要重复2400次，这种技术叫做巨量转移。巨量转印设备是实现三基色Micro-LED芯片集成制造的关键。而4K或8K显示像素的尺寸较小，并且显示产品对于像素错误的容忍度也很低，一块有“亮点”或“暗点”的显示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电泳组装制备LED显示器的方法，其特征在于，包括：/n提供一第一衬底，所述第一衬底形上成有多个驱动电极；/n形成一光刻胶层于所述第一衬底顶表面上，所述光刻胶层覆盖上述驱动电极图案以及至少部分所述第一衬底；/n对所述光刻胶层进行一曝光及显影步骤，以形成驱动电极通道和光阻层，其中驱动电极通道至少曝露驱动电极，所述第一衬底、上述驱动电极、驱动电极通道以及所述光阻层构成一驱动基板；/n提供LED芯片的液体悬浮液，使所述液体悬浮液沉浸所述驱动基板的顶表面；/n贴合一电泳基板于所述液体悬浮液上，其中所述电泳基板包括一第二衬底和一电极层，所述电极层配置于所述第二衬底上且位于所述第二衬底与所述第一衬底...

【技术特征摘要】
1.一种电泳组装制备LED显示器的方法，其特征在于，包括：
提供一第一衬底，所述第一衬底形上成有多个驱动电极；
形成一光刻胶层于所述第一衬底顶表面上，所述光刻胶层覆盖上述驱动电极图案以及至少部分所述第一衬底；
对所述光刻胶层进行一曝光及显影步骤，以形成驱动电极通道和光阻层，其中驱动电极通道至少曝露驱动电极，所述第一衬底、上述驱动电极、驱动电极通道以及所述光阻层构成一驱动基板；
提供LED芯片的液体悬浮液，使所述液体悬浮液沉浸所述驱动基板的顶表面；
贴合一电泳基板于所述液体悬浮液上，其中所述电泳基板包括一第二衬底和一电极层，所述电极层配置于所述第二衬底上且位于所述第二衬底与所述第一衬底之间；
对驱动电极和/或电极层施加电压，以捕获所述LED芯片于所述驱动电极通道中；
对所述第一衬底进行退火；以及
通过所述退火使每个LED芯片和与其对应的驱动电极通道的驱动电极电性连接。


2.根据权利要求1所述的电泳组装制备LED显示器的方法，其特征在于：在形成一光刻胶层于所述第一衬底顶表面上之前，第一衬底上形成有多条从所述驱动电极延伸至第一衬底边缘的导线。


3.根据权利要求2所述的电泳组装制备LED显示器的方法，其特征在于：所述光刻胶层覆盖所述导线。


4.根据权利要求1所述的电泳组装制备LED显示器的方法，其特征在于：电连接每个LED芯片包括将每个LED芯片与驱动电极连接，无需形成覆盖金属层、附加导电走线...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小齐，刘政，彭益，庄世强，吴新理，李燕，
申请(专利权)人：深圳市隆利科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44