一种超声指纹识别模组、其制作方法及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种超声指纹识别模组、其制作方法及显示装置，该超声指纹识别模组的制作方法，包括：在衬底基板上形成接收层；在接收层背离衬底基板一侧形成压电材料层；采用构图工艺在压电材料层背离衬底基板一侧形成包括独立设置的多个发射电极块的发射层。本发明专利技术通过采用构图工艺在压电材料层背离衬底基板一侧形成包括独立设置的多个发射电极块的发射层，即采用曝光显影刻蚀的工艺形成包括独立设置的多个发射电极块的发射层，可以控制相邻发射电极块之间的间距，使该间距达到微米级，可以减小指纹信息的丢失，提高了指纹识别的精确度，从而提高了用户指纹识别体验。

【技术实现步骤摘要】
一种超声指纹识别模组、其制作方法及显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种超声指纹识别模组、其制作方法及显示装置。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，指纹识别技术已经逐渐应用到人们的日常生活中。指纹识别技术可通过比较不同指纹的细节特征点来进行鉴别，从而达到身份识别的功能。通常，指纹识别技术可分为光学式指纹识别技术、硅芯片式指纹识别技术和超声波式指纹识别技术。目前，超声波式指纹识别技术是各大厂商热门的研究方向。超声波指纹识别结构主要为三叠层结构，包括驱动电极Tx、接收电极Rx以及位于两者之间的压电材料层。当对驱动电极和接收电极加载驱动电压时，压电层受到电压激发产生逆压电效应并发生有规律的振动，从而向外发射第一超声波。该第一超声波接触手指后，被手指反射回第二超声波。由于指纹包括谷和脊，所以被指纹反射回到压电层的第二超声波震动强度有差异，此时，对驱动电极加载固定电压，则压电层可将第二超声波转换成电压信号，该电压信号通过接收电极传输给指纹识别模块，根据该电压信号判断指纹中谷和脊的位置，经处理后得到指纹图像。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种超声指纹识别模组的制作方法，其特征在于，包括：/n在衬底基板上形成接收层；/n在所述接收层背离所述衬底基板一侧形成压电材料层；/n采用构图工艺在所述压电材料层背离所述衬底基板一侧形成包括独立设置的多个发射电极块的发射层。/n

【技术特征摘要】
1.一种超声指纹识别模组的制作方法，其特征在于，包括：
在衬底基板上形成接收层；
在所述接收层背离所述衬底基板一侧形成压电材料层；
采用构图工艺在所述压电材料层背离所述衬底基板一侧形成包括独立设置的多个发射电极块的发射层。


2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，相邻所述发射电极块之间的间距为5μm-20μm。


3.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述采用构图工艺在所述压电材料层背离所述衬底基板一侧形成包括独立设置的多个发射电极块的发射层，具体包括：
在所述压电材料层背离所述衬底基板一侧沉积一层导电膜层；
在所述导电膜层背离所述衬底基板一侧涂覆光刻胶层；
对所述光刻胶层进行曝光显影；
对所述导电膜层进行刻蚀，形成独立设置的多个发射电极块；
剥离剩余的所述光刻胶层。


4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，采用干法刻蚀或湿法刻蚀对所述导电膜层进行刻蚀。


5.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述发射层的材料为透明导电材料或金属材料。


6.一种超声指纹识别模组，其特征在于，包括：衬底基板，位于所述衬底基板上的接收层，位于所述接收层背离所述衬底基...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世君，冯博，穆文凯，武新国，樊君，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11