中间连接部件和检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供中间连接部件和检查装置。本发明专利技术的一个方式的中间连接部件能够设置于具有多个第1端子的第1部件与具有多个第2端子的第2部件之间，将上述第1端子与上述第2端子电连接，该中间连接部件包括：用于将上述第1端子与上述第2端子电连接的多个连接部；和保持上述多个连接部的保持部，上述连接部由至少表面被赋予导电性的弹性体形成。本发明专利技术能够使接口简化。

【技术实现步骤摘要】
中间连接部件和检查装置
本专利技术涉及中间连接部件和检查装置。
技术介绍
已知有一种检查装置，其在共用的运送机械臂或者移动台对配置于检查室内的多个检查单元中的一者进行基片的运送的期间，能够用其它检查单元对其它基片进行检查(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-46285号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术提供一种能够使接口简化的技术。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一个方式的中间连接部件能够设置于具有多个第1端子的第1部件与具有多个第2端子的第2部件之间，将上述第1端子与上述第2端子电连接，该中间连接部件包括：用于将上述第1端子与上述第2端子电连接的多个连接部；和保持上述多个连接部的保持部，上述连接部由至少表面被赋予导电性的弹性体形成。专利技术效果依照本专利技术，能够使接口简化。附图说明图1是表示第1实施方式的检查单元的结构例的截面图。图2是表示第1实施方式的检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种中间连接部件，其特征在于：/n所述中间连接部件能够设置于具有多个第1端子的第1部件与具有多个第2端子的第2部件之间，将所述第1端子与所述第2端子电连接，/n所述中间连接部件的包括：/n用于将所述第1端子与所述第2端子电连接的多个连接部；和/n保持所述多个连接部的保持部，/n所述连接部由至少表面被赋予导电性的弹性体形成。/n

【技术特征摘要】
20190527 JP 2019-0988611.一种中间连接部件，其特征在于：
所述中间连接部件能够设置于具有多个第1端子的第1部件与具有多个第2端子的第2部件之间，将所述第1端子与所述第2端子电连接，
所述中间连接部件的包括：
用于将所述第1端子与所述第2端子电连接的多个连接部；和
保持所述多个连接部的保持部，
所述连接部由至少表面被赋予导电性的弹性体形成。


2.如权利要求1所述的中间连接部件，其特征在于：
所述连接部形成为球形形状。


3.如权利要求1或2所述的中间连接部件，其特征在于：
所述连接部包括：
由磁性体形成的磁性体芯；
覆盖所述磁性体芯的由弹性材料形成的弹性层；和
覆盖所述弹性层的由导电性材料形成的导电层。


4.如权利要求1或2所述的中间连接部件，其特征在于：
所述连接部包括：
由磁性体形成的磁性体芯；和
覆盖所述磁性体芯的由包含导电性颗粒的弹性材料形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：望月纯，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP