涂敷装置以及涂敷方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供涂敷装置以及涂敷方法。在一边以使基板浮起的状态进行搬运，并且使喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，一边从喷嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于基板的涂敷技术中，使涂敷于基板的涂敷液的厚度稳定化。在由基板搬运机构搬运的上述基板的前端到达上述多个孔列中的上述搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从上述喷嘴向由上述涂敷浮起部浮起的上述基板排出上述涂敷液，并且，开始使上述喷嘴向上述相逆方向移动。

【技术实现步骤摘要】
涂敷装置以及涂敷方法本申请是中国专利申请号为201810055183.5，申请日为2018年01月19日，专利技术名称为“涂敷装置以及涂敷方法”的申请的分案申请。
本专利技术涉及通过搬运基板并且使从吐出口排出涂敷液的喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动来在基板上涂敷涂敷液的涂敷装置以及涂敷方法。
技术介绍
在半导体装置、液晶显示装置等电子部件等的制造工序中，使用在基板的表面涂敷抗蚀剂液(与本专利技术的“涂敷液”的一个例子相当)的涂敷装置。例如在日本专利第4571525号所记载的涂敷装置中，向基板的背面吹气体，在使基板浮起的状态下搬运该基板。另外，在该基板的搬运方向上使长条型喷嘴移动，相对于该长条型喷嘴相对地搬运基板。而且，从长条型喷嘴向像这样相对移动的基板的表面排出抗蚀剂液，几乎在整个基板上涂敷抗蚀剂液。在如上述那样构成的涂敷装置中，为了浮起基板来进行搬运，而沿基板的搬运方向将搬入区域、涂敷区域以及搬出区域按该顺序设置成一列。在这些区域中的涂敷区域，在该区域内的各位置向基板赋予几乎均匀的浮起力，在将基板从搬入区域搬运至搬出区域的中途，基板覆盖涂敷区域的几乎整个区域的期间，使用长条型喷嘴在基板的被处理面涂敷抗蚀剂液(涂敷处理)。另外，在该涂敷处理中，使向基板的被处理面供给抗蚀剂液的长条型喷嘴的位置从涂敷区域的下游侧端部向与搬运方向相反的方向移动至上游侧端部。然而，在涂敷区域需要以较高的精度使基板浮起，作为其浮起量例如设定为50μm。与此相对，在搬入区域以及搬出区域不要求较高的浮起精度，浮起量例如设定在100～150μm的范围内。而且，在长条型喷嘴位于涂敷区域的下游侧端部的上方的状态下开始涂敷处理，在其之后立即将基板的前端移载至以与涂敷区域不同的浮起量使基板浮起的搬出区域。此时，在长条型喷嘴的正下位置的浮起量变动，抗蚀剂液的膜厚变得不稳定。另外，在涂敷处理的结束阶段也产生这样的问题。即，由于涂敷处理的进行，长条型喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，移动至涂敷区域的上游侧端部的上方结束涂敷处理。在该涂敷结束阶段，基板的后端从具有与涂敷区域不同的浮起量的搬入区域移载至涂敷区域。此时，在长条型喷嘴的正下位置的浮起量变动，抗蚀剂液的膜厚变得不稳定。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而成的，目的在于在涂敷技术中使涂敷至基板的涂敷液的厚度稳定，其中，上述涂敷技术是一边在使基板浮起的状态下进行搬运，并且使喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，一边从喷嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷在基板上的技术。本专利技术的第一方式是一种涂敷装置，具备：浮起机构，使基板浮起；基板搬运机构，搬运由浮起机构浮起的基板；喷嘴，从吐出口向由基板搬运机构搬运来的基板排出涂敷液并涂敷；以及喷嘴移动部，使排出涂敷液的喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向，浮起机构具有：涂敷浮起部，具有沿搬运方向排列多个沿与搬运方向垂直的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列而成的面、或者沿搬运方向交互地排列沿宽度方向配置多个喷出孔而成的孔列和沿宽度方向配置多个吸引孔而成的孔列而成的面，上述涂敷浮起部使基板从面浮起；以及下游侧辅助浮起部，在搬运方向上与涂敷浮起部的下游侧邻接设置，向基板赋予浮起力，在由基板搬运机构搬运的基板的前端到达多个孔列中的在搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从喷嘴向由涂敷浮起部浮起的基板排出涂敷液，并且开始使喷嘴向相反方向移动。另外，本专利技术的第二方式是一种涂敷方法，具备：涂敷工序，一边搬运由涂敷浮起部浮起的基板，并且，使喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，一边从喷嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于基板；以及搬出工序，由在搬运方向上与涂敷浮起部的下游侧邻接设置的下游侧辅助浮起部使从涂敷浮起部搬运来的基板浮起并沿搬运方向搬运，涂敷浮起部构成为，具有沿搬运方向排列多个沿与搬运方向垂直的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列而成的面、或者沿搬运方向交替地排列沿宽度方向配置多个喷出孔而成的孔列和沿宽度方向配置多个吸引孔而成的孔列而成的面，上述涂敷浮起部使基板从面浮起，此时，在涂敷工序中，在基板的前端到达多个孔列中的在搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从喷嘴向由涂敷浮起部浮起的基板排出涂敷液，并且开始使喷嘴向相逆方向移动。在像这样构成的第一方式以及第二方式所涉及的专利技术中，一边在由涂敷浮起部使基板浮起的状态下沿搬运方向进行搬运，一边向该基板涂敷涂敷液(涂敷处理)。在开始该涂敷处理后立即将基板的前端经由涂敷浮起部的最下游孔列的上方搬运至搬出浮起部。换句话说，并不像专利第4571525号所记载的专利技术那样，在开始涂敷后立即将基本从涂敷浮起部(与专利第4571525号的“涂敷区域”相当)的下游端直接地移载至搬出浮起部(与专利第4571525号的“搬出区域”相当)，而使经由基板的浮起量稳定的最下游孔列的上方移载受到涂敷处理的基板。因此，避免由该移载引起的浮起量的变动超过最下游孔列而波及至搬运方向的上游侧，涂敷于基板的涂敷液的厚度稳定。另外，本专利技术的第三方式是一种涂敷装置，具备：浮起机构，使基板浮起；基板搬运机构，搬运由浮起机构浮起的基板；喷嘴，从吐出口向由基板搬运机构搬运的基板排出涂敷液并涂敷；以及喷嘴移动部，使排出涂敷液的喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，浮起机构具有：涂敷浮起部，具有沿搬运方向排列多个沿与搬运方向垂直的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列而成的面、或者沿搬运方向交替地排列沿宽度方向配置多个喷出孔而成的孔列和沿宽度方向配置多个吸引孔而成的孔列而成的面，上述涂敷浮起部使基板从面浮起；以及上游侧辅助浮起部，在搬运方向上与涂敷浮起部的上游侧邻接设置，向基板赋予浮起力，在由基板搬运机构搬运的基板的前端通过多个孔列中的在搬运方向上位于最上游的最上游孔列的上方后，停止从喷嘴向由涂敷浮起部浮起的基板排出涂敷液。并且，本专利技术的第四方式是一种涂敷方法，具备：涂敷工序，一边搬运由涂敷浮起部浮起的基板，并且使喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，一边从喷嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于基板；以及搬入工序，由在搬运方向上与涂敷浮起部的上游侧邻接设置的上游侧辅助浮起部使应搬运至涂敷浮起部的基板浮起并沿搬运方向搬运，涂敷浮起部构成为，具有沿搬运方向排列多个沿与搬运方向垂直的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列而成的面、或者沿搬运方向交替地排列沿宽度方向配置多个喷出孔而成的孔列和沿宽度方向配置多个吸引孔而成的孔列而成的面，使基板从面浮起，此时，在涂敷工序中，在基板的前端通过多个孔列中的在搬运方向上位于最上游的最上游孔列的上方后，停止从喷嘴向由涂敷浮起部浮起的基板排出涂敷液。在像这样构成的第三方式以及第四方式所涉及的专利技术中，在由上游侧辅助浮起部使基板浮起的状态下搬入至涂敷浮起部，一边利用涂敷浮起部沿搬运方向进行搬运一边针对该基板涂敷涂敷液(涂敷处理)。在该涂敷处理中，经由涂敷浮起部的最上游孔列的上方搬运基板。换句话说，并不像专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂敷装置，其特征在于，具备：/n浮起机构，使基板浮起；/n基板搬运机构，搬运由所述浮起机构浮起的所述基板；/n喷嘴，从该喷嘴的排出口向由所述基板搬运机构搬运的所述基板排出涂敷液并涂敷；以及/n喷嘴移动机构，使正在排出所述涂敷液的所述喷嘴向与所述基板的搬运方向相反的相反方向移动，/n所述浮起机构具有：/n涂敷浮起部，所述涂敷浮起部具有沿所述搬运方向排列有多个孔列的面，所述孔列是沿与所述搬运方向正交的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起，或者，该涂敷浮起部具有沿所述搬运方向交替地排列有沿宽度方向配置多个所述喷出孔而成的孔列和沿所述宽度方向配置多个所述吸引孔而成的孔列的面，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起；以及/n下游侧辅助浮起部，在所述搬运方向上与所述涂敷浮起部的下游侧邻接设置，向所述基板赋予浮起力，/n在由所述基板搬运机构搬运的所述基板的前端到达多个所述孔列中的在所述搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从所述喷嘴向由所述涂敷浮起部浮起的所述基板排出所述涂敷液，并且开始使所述喷嘴向所述相反方向移动。/n

【技术特征摘要】
20170120 JP 2017-0081121.一种涂敷装置，其特征在于，具备：
浮起机构，使基板浮起；
基板搬运机构，搬运由所述浮起机构浮起的所述基板；
喷嘴，从该喷嘴的排出口向由所述基板搬运机构搬运的所述基板排出涂敷液并涂敷；以及
喷嘴移动机构，使正在排出所述涂敷液的所述喷嘴向与所述基板的搬运方向相反的相反方向移动，
所述浮起机构具有：
涂敷浮起部，所述涂敷浮起部具有沿所述搬运方向排列有多个孔列的面，所述孔列是沿与所述搬运方向正交的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起，或者，该涂敷浮起部具有沿所述搬运方向交替地排列有沿宽度方向配置多个所述喷出孔而成的孔列和沿所述宽度方向配置多个所述吸引孔而成的孔列的面，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起；以及
下游侧辅助浮起部，在所述搬运方向上与所述涂敷浮起部的下游侧邻接设置，向所述基板赋予浮起力，
在由所述基板搬运机构搬运的所述基板的前端到达多个所述孔列中的在所述搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从所述喷嘴向由所述涂敷浮起部浮起的所述基板排出所述涂敷液，并且开始使所述喷嘴向所述相反方向移动。


2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，
所述喷嘴移动机构以所述吐出口在开始排出所述涂敷液之前位于所述多个孔列中的相互邻接的第一孔列与第二孔列之间的上方的方式使所述喷嘴移动。


3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，
所述第一孔列是所述最下游孔列，所述第二孔列是在所述搬运方向上配置于所述最下游孔列的上游侧的孔列。


4.根据权利要求2或者3所述的涂敷装置，其特征在于，
在所述基板的前端到达由所述喷嘴移动机构定位的所述喷嘴的所述吐出口的正下方位置后，开始从所述喷嘴向所述基板排出所述涂敷液，并且，开始使所述喷嘴向所述相反方向移动。


5.根据权利要求1至3中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，
所述浮起机构还具有上游侧辅助浮起部，所述上游侧辅助浮起部在所述搬运方向上与所述涂敷浮起部的上游侧邻接设置，向所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：安陪裕滋，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP