涂敷装置以及涂敷方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供涂敷装置以及涂敷方法。在一边以使基板浮起的状态进行搬运，并且使喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动，一边从喷嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于基板的涂敷技术中，使涂敷于基板的涂敷液的厚度稳定化。在由基板搬运机构搬运的上述基板的前端到达上述多个孔列中的上述搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从上述喷嘴向由上述涂敷浮起部浮起的上述基板排出上述涂敷液，并且，开始使上述喷嘴向上述相逆方向移动。

【技术实现步骤摘要】
涂敷装置以及涂敷方法本申请是中国专利申请号为201810055183.5，申请日为2018年01月19日，专利技术名称为“涂敷装置以及涂敷方法”的申请的分案申请。
本专利技术涉及通过搬运基板并且使从吐出口排出涂敷液的喷嘴向与基板的搬运方向相逆的方向移动来在基板上涂敷涂敷液的涂敷装置以及涂敷方法。
技术介绍
在半导体装置、液晶显示装置等电子部件等的制造工序中，使用在基板的表面涂敷抗蚀剂液(与本专利技术的“涂敷液”的一个例子相当)的涂敷装置。例如在日本专利第4571525号所记载的涂敷装置中，向基板的背面吹气体，在使基板浮起的状态下搬运该基板。另外，在该基板的搬运方向上使长条型喷嘴移动，相对于该长条型喷嘴相对地搬运基板。而且，从长条型喷嘴向像这样相对移动的基板的表面排出抗蚀剂液，几乎在整个基板上涂敷抗蚀剂液。在如上述那样构成的涂敷装置中，为了浮起基板来进行搬运，而沿基板的搬运方向将搬入区域、涂敷区域以及搬出区域按该顺序设置成一列。在这些区域中的涂敷区域，在该区域内的各位置向基板赋予几乎均匀的浮起力，在将基板从搬入区域搬运至搬出区域的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂敷装置，其特征在于，具备：/n浮起机构，使基板浮起；/n基板搬运机构，搬运由所述浮起机构浮起的所述基板；/n喷嘴，从该喷嘴的排出口向由所述基板搬运机构搬运的所述基板排出涂敷液并涂敷；以及/n喷嘴移动机构，使正在排出所述涂敷液的所述喷嘴向与所述基板的搬运方向相反的相反方向移动，/n所述浮起机构具有：/n涂敷浮起部，所述涂敷浮起部具有沿所述搬运方向排列有多个孔列的面，所述孔列是沿与所述搬运方向正交的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起，或者，该涂敷浮起部具有沿所述搬运方向交替地排列有沿宽度方向配置多个所述喷出孔而成的孔列和...

【技术特征摘要】
20170120 JP 2017-0081121.一种涂敷装置，其特征在于，具备：
浮起机构，使基板浮起；
基板搬运机构，搬运由所述浮起机构浮起的所述基板；
喷嘴，从该喷嘴的排出口向由所述基板搬运机构搬运的所述基板排出涂敷液并涂敷；以及
喷嘴移动机构，使正在排出所述涂敷液的所述喷嘴向与所述基板的搬运方向相反的相反方向移动，
所述浮起机构具有：
涂敷浮起部，所述涂敷浮起部具有沿所述搬运方向排列有多个孔列的面，所述孔列是沿与所述搬运方向正交的宽度方向交替地配置喷出气体的喷出孔以及吸引气体的吸引孔而成的孔列，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起，或者，该涂敷浮起部具有沿所述搬运方向交替地排列有沿宽度方向配置多个所述喷出孔而成的孔列和沿所述宽度方向配置多个所述吸引孔而成的孔列的面，所述涂敷浮起部使所述基板从所述面浮起；以及
下游侧辅助浮起部，在所述搬运方向上与所述涂敷浮起部的下游侧邻接设置，向所述基板赋予浮起力，
在由所述基板搬运机构搬运的所述基板的前端到达多个所述孔列中的在所述搬运方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，开始从所述喷嘴向由所述涂敷浮起部浮起的所述基板排出所述涂敷液，并且开始使所述喷嘴向所述相反方向移动。


2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，
所述喷嘴移动机构以所述吐出口在开始排出所述涂敷液之前位于所述多个孔列中的相互邻接的第一孔列与第二孔列之间的上方的方式使所述喷嘴移动。


3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，
所述第一孔列是所述最下游孔列，所述第二孔列是在所述搬运方向上配置于所述最下游孔列的上游侧的孔列。


4.根据权利要求2或者3所述的涂敷装置，其特征在于，
在所述基板的前端到达由所述喷嘴移动机构定位的所述喷嘴的所述吐出口的正下方位置后，开始从所述喷嘴向所述基板排出所述涂敷液，并且，开始使所述喷嘴向所述相反方向移动。


5.根据权利要求1至3中任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，
所述浮起机构还具有上游侧辅助浮起部，所述上游侧辅助浮起部在所述搬运方向上与所述涂敷浮起部的上游侧邻接设置，向所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：安陪裕滋，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP