减压干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种减压干燥装置，其使基片上的溶液在减压状态下干燥，溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，减压干燥装置具有收纳基片的容器，在容器内具有：用于载置基片的载置台；溶剂收集部，其暂时收集从载置于载置台上的基片气化了的溶液中的溶剂；和使溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，容器在载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，溶剂收集部设置在俯视时比载置于载置台上的基片靠外侧的位置，且在比基片靠外侧的位置通过移动机构而在上下方向上移动。根据本发明专利技术，能够使包含沸点相互不同的多种溶剂的溶液的干燥时间在基片的面内均匀。

【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置
本专利技术涉及减压干燥装置。
技术介绍
专利文献1中公开有使收纳在腔室内的基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置。在该减压干燥装置中设置有溶剂收集网。溶剂收集网由网状板构成，用于暂时收集从基片气化了的溶液中的溶剂，以与基片相对的方式设置在腔室内。在专利文献1中公开的减压干燥装置中，通过设置该溶剂收集网，能够使得干燥时间在基片的面内变得均匀。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2018-59597号公报。
技术实现思路
本专利技术提供一种使包含沸点相互不同的多种溶剂的溶液的干燥时间在基片的面内均匀的技术。本专利技术的一个方式是一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，上述溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，上述减压干燥装置具有收纳上述基片的容器，在上述容器内具有：用于载置上述基片的载置台；溶剂收集部，其暂时收集从载置于上述载置台上的上述基片气化了的上述溶液中的溶剂；和使上述溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，上述容器在上述载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其特征在于：/n所述溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，/n所述减压干燥装置具有收纳所述基片的容器，/n在所述容器内具有：/n用于载置所述基片的载置台；/n溶剂收集部，其暂时收集从载置于所述载置台上的所述基片气化了的所述溶液中的溶剂；和/n使所述溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，/n所述容器在所述载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，/n所述溶剂收集部设置在俯视时比载置于所述载置台上的所述基片靠外侧的位置，且在比所述基片靠外侧的位置通过所述移动机构而在上下方向上移动。/n

【技术特征摘要】
20190521 JP 2019-0954371.一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其特征在于：
所述溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，
所述减压干燥装置具有收纳所述基片的容器，
在所述容器内具有：
用于载置所述基片的载置台；
溶剂收集部，其暂时收集从载置于所述载置台上的所述基片气化了的所述溶液中的溶剂；和
使所述溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，
所述容器在所述载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，
所述溶剂收集部设置在俯视时比载置于所述载置台上的所述基片靠外侧的位置，且在比所述基片靠外侧的位置通过所述移动机构而在上下方向上移动。


2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：
具有控制部，
所述控制部控制所述移动机构，使得在所述溶液所包含的低沸点的溶剂由所述溶剂收集部收集之后，该溶剂收集部向下方移动，并且在所述低沸点的溶剂从移动到下方后的所述该溶剂收集部脱离之后，该溶剂收集部向上方移动。


3.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：
所述溶剂收集部在上下方向上层叠多层，
所述移动机构使层叠多层的所述溶剂收集部在上下方向上移动。


4.如权利要求3所述的减压干燥装置，其特征在于：
具有控制部，
所述控制部控制所述移动机构，使得在所述溶液所包含的低沸点的溶剂由层叠多层的所述溶剂收集部中的下层的所述溶剂收...

【专利技术属性】
技术研发人员：及川纯史，林辉幸，成本洋介，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP