【技术实现步骤摘要】
一种半导体工艺设备的数据上报方法及装置
本申请涉及半导体制造
，特别是涉及一种半导体工艺设备的数据上报方法及装置。
技术介绍
目前半导体厂商获取机台实时数据常采用实时的点对点问答式采集系统和事件触发上报两种方式获取机台实时数据。点对点问答式采集系统获取机台实时数据，需要半导体厂商设置采样频率和需要采样的特定数据，由于需要采样的特定数据会在设备软硬件运行过程中不断更新，因此半导体厂商需要每隔设定时间间隔采集机台的特定数据，该特定数据有些是连续型数据，有些是离散型数据，上述点对点问答式采集系统对于更新频率快的连续型数据比较适用，但是对于更新频率较慢的离散型数据不适应，这是因为离散型数据的更新时间上具有随机性和离散性，倘若使用设定时间间隔的定时采样，不但大大占用系统资源，同时也会降低采样结果的精准度。对离散型数据常使用事件触发上报，但是事件触发上报一般是用来上报比较重要的数据，并且根据事件触发上报方式仅仅只能上报一个状态变化，无法携带更多信息，从而也不利于后续对实时数据进行分析。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种半导体工艺设备的数据上报方法，其特征在于，包括：/n判断预设的触发条件是否满足；/n当所述触发条件满足时，将所述半导体工艺设备和/或所述半导体工艺设备中的模块对应的对象实例的状态改变为所述触发条件对应的状态；/n获取状态改变为所述触发条件对应的状态的所述对象实例的属性信息；/n打包所述属性信息，生成第一数据包；/n上报所述第一数据包。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备的数据上报方法，其特征在于，包括：
判断预设的触发条件是否满足；
当所述触发条件满足时，将所述半导体工艺设备和/或所述半导体工艺设备中的模块对应的对象实例的状态改变为所述触发条件对应的状态；
获取状态改变为所述触发条件对应的状态的所述对象实例的属性信息；
打包所述属性信息，生成第一数据包；
上报所述第一数据包。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取状态改变到所述触发条件对应的状态的所述对象实例的属性信息之后，还包括：
判断所述属性信息是否满足预设的上报条件；
当所述上报条件满足时，再执行所述打包所述属性信息，生成第一数据包的步骤。
3.根据权利要求1或2任一项所述的方法，其特征在于，所述属性信息包括以下至少之一：
所述对象实例的对象标识、所述对象实例的故障原因、所述对象实例的当前状态、所述对象实例发生状态变化的时间、所述对象实例之前的状态、所述对象实例正在执行的任务的任务名称、所述对象实例正在执行的任务的任务类型、所述对象实例执行的上一个任务的任务名称、所述对象实例执行的上一个任务的任务类型。
4.根据权利要求1或2任一项所述的方法，其特征在于，所述触发条件包括以下至少之一：
设备未初始化、设备初始化完成、设备开始执行任务、设备任务执行完成、设备故障、故障清除。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述状态包括以下至少之一：
空闲、工作中、故障、未初始化。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳双豪，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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