一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置制造方法及图纸

本申请提供了一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置，包括：预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息，根据所述步骤序号及所述序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑该步骤信息的第一约束条件；根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示；当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示，从而解决了物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置
本申请涉及半导体设备
，特别是涉及一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置。
技术介绍
半导体设备控制软件可以实现半导体设备的自动化生产任务，编辑自动化生产任务时需要设定参与自动化生产任务的物料、物料的路径、物料的起始模块和终止模块、调度模式等等信息。半导体设备控制软件将这些信息传递给调度，由调度来完成执行自动化生产任务。现有技术中，半导体设备控制软件以图形化方式编辑和显示自动化生产任务，该自动化生产任务中物料的路径包括物料依次经过的腔室信息以及在每个经过的腔室执行的工艺配方信息和使用的腔室槽位信息。上述以图形化方式编辑和显示自动化生产任务，由于用户可以任意编辑路径，并且半导体设备控制软件并不会对编辑的物料路径的合法性和完整性进行检查，有可能会出现物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。
技术实现思路
本申请提供了一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置，以解决现有以图形化方式编辑物料路径存在物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。为了解决上述问题，本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物料路径的建立及编辑方法，其特征在于，包括：/n预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；/n根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件；/n根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示；/n当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。/n

【技术特征摘要】
1.一种物料路径的建立及编辑方法，其特征在于，包括：
预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；
根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件；
根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示；
当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。


2.一种物料路径的建立及编辑方法，其特征在于，包括：
预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；
根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑该步骤信息的第一约束条件；
判断当前待编辑的步骤是否存在子步骤，若判断结果为是，则根据子步骤序号及所述子步骤序号对应的子步骤信息，为每个所述子步骤设置编辑该子步骤信息的第二约束条件；
根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示；
当接收到对所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件、第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。


3.根据权利要求2所述的方法，所述将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示，包括：
在控制界面上以行列式的列表方式显示所述物料路径，所述步骤序号包括物料路径的工艺步骤号；所述步骤序号对应的步骤信息至少包括腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息；其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；
所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同。


5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径，包括：
编辑并显示所述控制界面的所述第一列节点，当检测到用户触发所述工艺步骤号添加操作时，弹出第一下拉列表，接收用户通过所述第一下拉列表选择的所述工艺步骤号；
编辑并显示所述控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点；
编辑并显示所述控制界面的所述第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室节点的腔室槽位添加操作时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息；
编辑并显示所述控制界面的所述第四列节点，当检测到用户触发工艺腔室工艺配方添加操作时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息。


6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述编辑并显示控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点的步骤包括：
获取待编辑行的工艺步骤号；
判断所述待编辑行是否是第一行，若是，并且所述待编辑行的工艺步骤号为1，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔亚欣，杨洋，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11