一种超灵敏湿度探测器制造技术

本发明专利技术涉及湿度探测领域，具体提供了一种超灵敏湿度探测器，包括：透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部，磁性材料层置于透明支撑层上，第一固定部、第二固定部、传感部置于磁性材料层上，第一固定部和第二固定部固定在磁性材料层上，传感部设置在第一固定部和第二固定部之间，传感部的材料为聚酰亚胺。应用时，线偏振光倾斜照射透明支撑层，在垂直于入射面方向施加外磁场，传感部吸湿膨胀，改变反射光的强度，通过探测反射光的强度实现湿度探测。因为聚酰亚胺材料具有良好的吸湿膨胀特性和克尔效应显著地依赖于磁性材料层的磁导率，所以本发明专利技术具有湿度探测灵敏度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种超灵敏湿度探测器
本专利技术涉及湿度探测领域，具体涉及一种超灵敏湿度探测器。
技术介绍
湿度涉及工程技术的各个领域。随着科技的发展，对湿度探测的灵敏度要求越来越高。传统湿度探测是基于电阻或电容变化的，湿度探测的灵敏度低。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种超灵敏湿度探测器，包括：透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部，磁性材料层置于透明支撑层上，第一固定部、第二固定部、传感部置于磁性材料层上，第一固定部和第二固定部固定在磁性材料层上，传感部设置在第一固定部和第二固定部之间，传感部的材料为聚酰亚胺。更进一步地，在传感部一侧，磁性材料层中设有凹槽，凹槽内设有聚酰亚胺材料。更进一步地，凹槽为方形、圆形或锥形。更进一步地，凹槽的个数为多个。更进一步地，凹槽周期性排列。更进一步地，凹槽排列的周期为方形周期。更进一步地，磁性材料层的材料为钴、铋铁石榴石。更进一步地，透明支撑部的材料为二氧化硅。更进一步地，第一固定部和第二固定部的材料为非磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超灵敏湿度探测器，其特征在于，包括：透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部，所述磁性材料层置于所述透明支撑层上，所述第一固定部、所述第二固定部、所述传感部置于所述磁性材料层上，所述第一固定部和所述第二固定部固定在所述磁性材料层上，所述传感部设置在所述第一固定部和所述第二固定部之间，所述传感部的材料为聚酰亚胺。/n

【技术特征摘要】
1.一种超灵敏湿度探测器，其特征在于，包括：透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部，所述磁性材料层置于所述透明支撑层上，所述第一固定部、所述第二固定部、所述传感部置于所述磁性材料层上，所述第一固定部和所述第二固定部固定在所述磁性材料层上，所述传感部设置在所述第一固定部和所述第二固定部之间，所述传感部的材料为聚酰亚胺。


2.如权利要求1所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：在所述传感部一侧，所述磁性材料层中设有凹槽，所述凹槽内设有聚酰亚胺材料。


3.如权利要求2所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述凹槽为方形、圆形或锥形。


4.如权利要求3所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述凹槽的个数为多个。

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：中山科立特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44