气压传感器及系统技术方案

技术编号:26476331 阅读:27 留言:0更新日期:2020-11-25 19:18
本申请涉及气压传感器及系统,具体而言,涉及气压检测领域。气压传感器包括:壳体、激光器、探测器、感压膜和金属层;壳体为一端开口的腔体,壳体的开口处设置有感压膜,感压膜和壳体形成密封空间,密封空间内设置有激光器、探测器和金属层,激光器和探测器均设置在腔体远离开口的一端,当该气压传感器外界的待测气压发生改变的时候,该感压膜在待测气压的压力作用下,形状发生改变,进而使得该金属层的金属平面也发生形变,进而使得金属层的多个金属梁之间的间距发生改变,从而使得金属层对激光器发出的激光的反射光谱发生改变,通过该探测器检测通过该金属层的反射光的反射光谱的变化,并通过该反射光谱的变化与待测气压的关系,得到待测气压。

【技术实现步骤摘要】
气压传感器及系统
本申请涉及气压检测领域,具体而言,涉及一种气压传感器及系统。
技术介绍
气体压强泛指气体对某一点施加的流体静力压强,气体压强产生的原因是大量气体分子对容器壁的持续的、无规则撞击产生的。现有技术中一半通过空气压缩机对气压进行测量,空气压缩机的气压传感器主要的传感元件是一个对气压的强弱敏感的薄膜和一个顶针开控制,电路方面它连接了一个柔性电阻器。当被测气体的压力降低或升高时,这个薄膜变形带动顶针,同时该电阻器的阻值将会改变。电阻器的阻值发生变化。从传感元件取得0-5V的信号电压,经过A/D转换由数据采集器接受,然后数据采集器以适当的形式把结果传送给计算机。但是,现有技术中的柔性电阻器在使用一段时间之后会产生一定的误差,使得对气压的测量不准确。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,针对上述现有技术中的不足,提供一种气压传感器及系统,以解决现有技术中的柔性电阻器在使用一段时间之后会产生一定的误差,使得对气压的测量不准确的问题。为实现上述目的,本专利技术实施例采用的技术方案如下:本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气压传感器,其特征在于,所述气压传感器包括:壳体、激光器、探测器、感压膜和金属层;所述壳体为一端开口的腔体,所述壳体的开口处设置有所述感压膜,所述感压膜和所述壳体形成密封空间,所述密封空间内填充有光增益气体,所述密封空间内设置有所述激光器、所述探测器和所述金属层,所述激光器和所述探测器均设置在所述腔体远离所述开口的一端,所述感压膜靠近所述腔体的一侧设置有所述金属层,所述金属膜为金属平面上周期性设置多个金属梁,所述金属膜的金属平面紧贴所述感压膜设置,多个所述金属梁设置在所述金属膜远离所述感压膜的一侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种气压传感器,其特征在于,所述气压传感器包括:壳体、激光器、探测器、感压膜和金属层;所述壳体为一端开口的腔体,所述壳体的开口处设置有所述感压膜,所述感压膜和所述壳体形成密封空间,所述密封空间内填充有光增益气体,所述密封空间内设置有所述激光器、所述探测器和所述金属层,所述激光器和所述探测器均设置在所述腔体远离所述开口的一端,所述感压膜靠近所述腔体的一侧设置有所述金属层,所述金属膜为金属平面上周期性设置多个金属梁,所述金属膜的金属平面紧贴所述感压膜设置,多个所述金属梁设置在所述金属膜远离所述感压膜的一侧。


2.根据权利要求1所述的气压传感器,其特征在于,多个所述金属梁相互平行设置。


3.根据权利要求2所述的气压传感器,其特征在于,所述感压膜的材料为柔性材料。


4.根据权利要求3所述的气压传感器,其特征在于,所述气压传感器还包括二维材料层,所述二维材料层设置在所述金属层远离所述感压膜的一侧。


5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:金华伏安光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

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