【技术实现步骤摘要】
光谱仪装置
本专利技术涉及一种用于分析来自包括阶梯光栅的光源的光辐射的光谱仪装置。
技术介绍
在大多数变化的发展中，根据现有技术，具有阶梯光栅的光谱仪装置已经变得已知。在阶梯光谱仪中，使用了具有梯状截面的光栅(échelle是“梯”的法语单词)。以可预确定闪耀角照亮阶梯状结构的较短面生成衍射图，该衍射图将衍射强度集中在高衍射级，例如集中在五十到一百级。由此可以以紧凑的布置实现高光谱分辨率。但是，取决于入射波长，该级可以重叠。例如，根据现有技术，具有内部和外部级分离的光谱仪已经变得已知。在具有外部级分离的阶梯光谱仪的情况下，例如具有非常长的狭缝的光谱仪，通常仅来自相对较小光谱范围的辐射进入光谱仪。另一方面，在具有内部级分离的光谱仪的情况下，除了由阶梯光栅引起的色散外，辐射再次横向于阶梯光栅的色散方向而被色散，以便将发生的各个级彼此分离。然后获得基本上彼此平行布置的光谱部分的二维光谱。各个衍射级的自由光谱范围一起产生特定波长范围的无间隙光谱。使得能够以较高光谱分辨率对感兴趣的波长范围进行同时检测的平面检测器(特别...
【技术保护点】
1.一种用于分析来自光源(11)的光辐射(13)的光谱仪装置(10)，包括：/n-阶梯光栅(31)，所述阶梯光栅用于在主色散方向上对进入所述光谱仪装置(10)的辐射(24)进行色散，/n-色散元件(21)，所述色散元件用于在交叉色散方向上对所述辐射(24)进行色散，其中，所述主色散方向和所述交叉色散方向彼此具有可预确定角度，以及/n-检测器单元(39)，所述检测器单元用于记录包括第一可预确定波长范围的所述辐射的第一部分(38、40)的第一光谱(64)，/n其特征在于：/n-所述光谱仪装置(10)包括第一光学元件(37、48、52)，所述第一光学元件被以如此方式布置和/或配置...
【技术特征摘要】
20190521 DE 102019113478.11.一种用于分析来自光源(11)的光辐射(13)的光谱仪装置(10)，包括：
-阶梯光栅(31)，所述阶梯光栅用于在主色散方向上对进入所述光谱仪装置(10)的辐射(24)进行色散，
-色散元件(21)，所述色散元件用于在交叉色散方向上对所述辐射(24)进行色散，其中，所述主色散方向和所述交叉色散方向彼此具有可预确定角度，以及
-检测器单元(39)，所述检测器单元用于记录包括第一可预确定波长范围的所述辐射的第一部分(38、40)的第一光谱(64)，
其特征在于：
-所述光谱仪装置(10)包括第一光学元件(37、48、52)，所述第一光学元件被以如此方式布置和/或配置，使得能够借助于所述检测器单元(39)获取包括与所述第一可预确定波长范围不同的第二可预确定波长范围的所述辐射的第二部分(42)的第二光谱(65)。
2.根据权利要求1所述的光谱仪装置(10)，
其中，所述第一光学元件(37、48、52)是透镜，特别是在一侧上反射的透镜，或者是反射镜，特别是偏转反射镜。
3.根据权利要求1或2所述的光谱仪装置(10)，
包括第二光学元件(35)，所述第二光学元件用于将所述辐射的所述第一部分(38、40)引导到所述检测器单元(39)，其中，所述第二光学元件(35)优选是反射镜，特别是偏转反射镜。
4.根据权利要求3所述的光谱仪装置(10)，
其中，所述第一光学元件(37、48、52)紧邻所述第二光学元件(35)和/或相对于所述第二光学元件(35)以可预确定角度被布置。
5.根据权利要求4所述的光谱仪装置(10)，
其中，根据所述辐射的第二部分(42)的所述第二波长范围选择所述第一光学元件(37、48、52)的所述可预确定角度和/或位置。
6.根据前述权利要求中的至少一项所述的光谱仪装置(10)，
包括成像光学组件(17)，所述成像光学组件被设计成将所述辐射(37、48、52)的至少第一部分成像到像平面中，所述检测器单元(39)被布置在所述像平面中。
7.根据前述权利要求中的至少一项所述的光谱仪装置(10)，
其中，所述第一光学元件(37、4...
【专利技术属性】
技术研发人员：斯特凡·蒙克，米夏埃尔·奥克鲁斯，马尔科·布劳恩，
申请(专利权)人：耶拿分析仪器股份公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。