一种基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器，包括基底、压磁材料层、凹槽、贵金属颗粒，压磁材料层置于基底上，凹槽周期性地设置在压磁材料层的表面，贵金属颗粒设置在凹槽内。应用时，线偏振光倾斜照射压磁材料层，在垂直于入射面方向施加外磁场，通过探测反射光的强度实现声波探测。本发明专利技术具有灵敏度高和使用方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器
本专利技术涉及声波传感领域，具体涉及一种基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器。
技术介绍
声波检测在工程技术中非常重要。常用的声波检测方法有透射法、折射法、反射法。常规声波检测方法的灵敏度低。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器，包括：基底、压磁材料层、凹槽、贵金属颗粒，压磁材料层置于基底上，凹槽周期性地设置在压磁材料层的表面，贵金属颗粒设置在凹槽内；应用时，线偏振光倾斜照射压磁材料层，在垂直于入射面方向施加外磁场，通过探测反射光的强度实现声波探测。更进一步地，周期为方形周期。更进一步地，凹槽为梯形。更进一步地，凹槽为楔形。更进一步地，凹槽内设有液体，贵金属颗粒设置在液体内。更进一步地，贵金属颗粒的材料为金。更进一步地，贵金属颗粒为球形。更进一步地，贵金属颗粒的直径大于20纳米、小于80纳米。更进一步地，凹槽的深度大于1微米、小于10微米。更进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器，其特征在于，包括：基底、压磁材料层、凹槽、贵金属颗粒，所述压磁材料层置于所述基底上，所述凹槽周期性地设置在所述压磁材料层的表面，所述贵金属颗粒设置在所述凹槽内；应用时，线偏振光倾斜照射所述压磁材料层，在垂直于入射面方向施加外磁场，通过探测反射光的强度实现声波探测。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器，其特征在于，包括：基底、压磁材料层、凹槽、贵金属颗粒，所述压磁材料层置于所述基底上，所述凹槽周期性地设置在所述压磁材料层的表面，所述贵金属颗粒设置在所述凹槽内；应用时，线偏振光倾斜照射所述压磁材料层，在垂直于入射面方向施加外磁场，通过探测反射光的强度实现声波探测。


2.如权利要求1所述的基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器，其特征在于：所述周期为方形周期。


3.如权利要求2所述的基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器，其特征在于：所述凹槽为梯形。


4.如权利要求3所述的基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器，其特征在于：所述凹槽为楔形。


5.如权利要求1-4任一项所述的基于克尔效应的表面等离激元增强型声波传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：中山科立特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44