【技术实现步骤摘要】
一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法
本申请涉及利用扫描电子显微镜检查集成电路缺陷的工作精度分析领域，具体是一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移测量方法。
技术介绍
扫描电子显微镜已广泛应用于材料学、矿物学、冶金学、生命科学、电子学等领域。扫描电子显微镜具有高分辨率、大景深等特点，对于观察粗糙不平的试样表面是十分有利的。工程上能够采用扫描电子显微镜来检查集成电路的缺陷。在扫描电子显微镜观察集成电路时，向电路表面发射高能量的电子束，同时利用信号接收模块收集返回的信号，并转换成图像信息。在实际操作中，电子枪灯丝枪尖振动的位移直接影响集成电路的表面分析结果。因此，削弱电子枪灯丝枪尖自身振动的影响，精确计算电子枪灯丝尤其是枪尖部分的实际振动位移，进而提升集成电路检测准确性，是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本申请提供一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移测量计算方法，旨在精确测量电子枪灯丝枪尖的位置变化情况。本专利技术的技术方案是：一种扫描电子显微镜电子...
【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移测量计算方法，其特征在于，在扫描电子显微镜工作时，利用三个激光多普勒测振探头X
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移测量计算方法，其特征在于，在扫描电子显微镜工作时，利用三个激光多普勒测振探头X1、X2和X3向电子枪灯丝枪尖发射激光，测量电子枪灯丝的振动位移，利用振动位移测量结果，计算电子枪灯丝的实际振动位移。
2.如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜电子枪灯丝枪尖振动位移激光测量方法，其特征在于，所述的三个激光多普勒测振探头X1、X2和X3，其中X1和X2与电子枪灯丝枪尖端面放置在同一水平面内，测振探头X3与X2和电子枪灯丝枪尖的中心轴线在同一竖直面内。
技术研发人员：彭朝琴，孙郑义，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京;11
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