氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法技术

氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，包括：(1)恒电位电解过程：以氧化铟镓锌为原料，以包含氯化钙的熔融盐为电解质，以第一石墨电极为第一阴极，以第二石墨电极为第一阳极，在惰性气体保护下进行恒电位电解，得到铟镓锌合金；(2)恒电流电解过程：以铟镓锌合金为第二阳极，以氯化铵水溶液为电解液，进行恒电流电解，得到铟镓锌氢氧化物沉淀；(3)煅烧过程：煅烧铟镓锌氢氧化物沉淀，得到纳米级铟镓锌氧化物复合粉体。

【技术实现步骤摘要】
氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法
本申请属于电化学冶金
，具体涉及铟镓锌氧化物复合粉体的电化学制备方法。
技术介绍
氧化铟镓锌(IGZO，InGaZnO4)具有优异的表面均匀性、稳定性以及光学透明性，在电子和光电子设备领域具有广泛应用。制备IGZO所需的铟和镓属于稀散金属，地壳含量少，价格昂贵。随着IGZO的使用量日趋增大，造成的问题越来越多，废弃后对环境的影响不可逆，而且造成资源的巨大浪费。现阶段废弃IGZO的常规回收方法是酸浸—萃取或者热还原—蒸馏得到各种金属氧化物或单质，然后酸解、通过共沉淀或者水热法获得氧化物粉体。该回收工艺过程繁琐，并且对环境具有危害。
技术实现思路
有鉴于此，本申请实施例公开的技术方案是氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，该方法包括：(1)恒电位电解过程：以氧化铟镓锌为原料，以包含氯化钙的熔融盐为电解质，以第一石墨电极为第一阴极，以第二石墨电极为第一阳极，在惰性气体保护下进行恒电位电解，得到铟镓锌合金；(2)恒电流电解过程：以铟镓锌合金为第二阳极，以氯化铵水溶液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，其特征在于，该方法包括：/n(1)恒电位电解过程：以氧化铟镓锌为原料，以包含氯化钙的熔融盐为电解质，以第一石墨电极为第一阴极，以第二石墨电极为第一阳极，在惰性气体保护下进行恒电位电解，得到铟镓锌合金；/n(2)恒电流电解过程：以铟镓锌合金为第二阳极，以氯化铵水溶液为电解液，进行恒电流电解，得到铟镓锌氢氧化物沉淀；/n(3)煅烧过程：煅烧铟镓锌氢氧化物沉淀，得到纳米级铟镓锌氧化物复合粉体。/n

【技术特征摘要】
1.氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，其特征在于，该方法包括：
(1)恒电位电解过程：以氧化铟镓锌为原料，以包含氯化钙的熔融盐为电解质，以第一石墨电极为第一阴极，以第二石墨电极为第一阳极，在惰性气体保护下进行恒电位电解，得到铟镓锌合金；
(2)恒电流电解过程：以铟镓锌合金为第二阳极，以氯化铵水溶液为电解液，进行恒电流电解，得到铟镓锌氢氧化物沉淀；
(3)煅烧过程：煅烧铟镓锌氢氧化物沉淀，得到纳米级铟镓锌氧化物复合粉体。


2.根据权利要求1所述氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，其特征在于，恒电流电解过程中，以石墨、不锈钢、镍、钼或钨为第二阴极。


3.根据权利要求1所述氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，其特征在于，恒电流电解过程中，所述氯化铵水溶液的浓度为0.5～2.0mol/L，温度为10～60℃。


4.根据权利要求1所述氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，其特征在于，恒电流电解过程中，所述恒电流的电流密度为0.2～2.0A/cm2。


5.根据权利要求1所述氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，其特征在于，恒电流...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋建勋，李少龙，车玉思，舒永春，何季麟，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：发明
国别省市：河南;41