【技术实现步骤摘要】
一种用于制造硫化锌、硫化铅和硫化镉量子点的方法及设备
本专利技术涉及新能源
，尤其涉及一种用于制造硫化锌、硫化铅和硫化镉量子点的方法及设备。
技术介绍
QLEDs(QuantumDotLight-EmittingDiodes,量子点发光二极管)在未来显示和照明领域具有广泛应用,并且作为其发光层的胶质量子点具有可加工性、良好的单色性、发光颜色可调、稳定性好、量子产率高等独特的性质，因此未来发展前景可期。并且，作为一种新型纳米材料，金属硫族化合物量子点受到光的刺激后，不同尺寸的量子点可以激发出不同颜色的光线，这种简单、精确的尺寸和发光颜色调控关系，使该类量子点在新型量子点显示
有重要应用价值，另外，由于尺寸效应，该类量子点的析氢过电位得到进一步下降，电流密度得到增强，催化析氢性能得到明显提高，这对氢气新能源的利用，改善能源结构具有重要意义。属于新能源以及新材料领域都需关注并发展的对象。近年来，硫化锌(ZnS)、硫化铅(PbS)和硫化镉(CdS)量子点由于其优异的性能，受到了学界和企业界的广泛关注。然而...
【技术保护点】
1.一种用于制造硫化锌、硫化铅和硫化镉量子点的设备，其特征在于，包括：激光加工头(1)、玻璃窗口(2)、反应腔体(3)、微波源(4)、真空系统(24)、样品支架(25)、样品基底(26)和P6真空计(27)；/n激光加工头(1)与激光器相连，并且激光加工头(1)竖直向下指向样品支架(25)；/n反应腔体(3)上顶部开设有开口，开口中安装玻璃窗口(2)，以便于激光加工头(1)射出的激光透过玻璃窗口(2)向样品支架(25)照射，样品支架(25)用于放置样品基底(26)；/n样品支架(25)安装在反应腔体(3)中，反应腔体(3)的两侧分别安装有微波源(4)和与微波源(4)相对应的...
【技术特征摘要】
1.一种用于制造硫化锌、硫化铅和硫化镉量子点的设备，其特征在于，包括：激光加工头(1)、玻璃窗口(2)、反应腔体(3)、微波源(4)、真空系统(24)、样品支架(25)、样品基底(26)和P6真空计(27)；
激光加工头(1)与激光器相连，并且激光加工头(1)竖直向下指向样品支架(25)；
反应腔体(3)上顶部开设有开口，开口中安装玻璃窗口(2)，以便于激光加工头(1)射出的激光透过玻璃窗口(2)向样品支架(25)照射，样品支架(25)用于放置样品基底(26)；
样品支架(25)安装在反应腔体(3)中，反应腔体(3)的两侧分别安装有微波源(4)和与微波源(4)相对应的调谐器；
反应腔体(3)接入了五条管路，各个管路分别输送不同类别的前驱体气体；
反应腔体(3)接入真空系统(24)，尾气处理装置与真空系统(24)相连的。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述前驱体包括：Zn源前驱体、Pb源前驱体和Cd源前驱体。
3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，
所述管路Ⅰ用于向反应腔体(3)提供含-SH有机物气体作为-SH等离子气体源；
第一气体质量流量控制器(9)用于控制所述管路Ⅰ中含-SH有机物气体的流量；
V1气动阀(8)用于控制所述管路Ⅰ的通断；
P1真空计(7)用于读取所述管路Ⅰ中的压强值。
4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，
所述管路Ⅱ用于向反应腔体(3)提供Zn源前驱体，其中，所述管路Ⅱ的分支管线接入Zn源前驱体瓶(11)；第二气体质量流量控制器(10)用于控制所述管路Ⅱ中的Zn源前驱体的载气N2的流量；V2气动阀(5)用于控制所述管路Ⅱ接入Zn源前驱体瓶(11)的分支管线的通断；P2真空计(6)用于读取所述管路Ⅱ中的压强值；
或者，所述管路Ⅲ用于向反应腔体(3)提供Pb源前驱体，其中，所述管路Ⅲ的分支管线接入Pb源前驱体瓶(14)；第三气体质量流量控制器(12)用于控制所述管路Ⅲ中的Pb源前驱体的载气N2的流量；V3气动阀(23)用于控制所述管路Ⅲ接入Pb源前驱体瓶(14)的分支管线的通断；P3真空计(13)用于读取所述管路Ⅲ中的压强值；
或者，所述管路Ⅳ用于向反应腔体(3)提供Cd源前驱体，其中，所述管路Ⅳ的分支管线接入Cd源前驱体瓶(17)；第四气体质量流量控制器(16)用于控制所述管路...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄亚洲，黄家才，徐坤山，史建军，贾茜，卞荣，
申请(专利权)人：南京工程学院，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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