从ITO废靶中提纯铟的提纯装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种从ITO废靶中提纯铟的提纯装置，包括一提供提纯反应场所的真空炉，该真空炉具有仓门，N2气瓶与真空泵分别通过设有球阀开关的管道与真空炉连接，真空炉内设置有用于给合金加热的加热装置，在真空炉顶部设置有铟金属回收靶，还包括一个用于冷却铟金属回收靶的冷却装置以及在所述真空泵与真空炉连接的管道上设置有真空度表。本发明专利技术的优点在于不产生大量废液和废渣，环保高效，降低处理成本。工艺简单，不需要特殊建筑，不需要专业人员操作,降低了人力成本,提取的铟金属的纯度较高，可以达到99.99％以上。

【技术实现步骤摘要】
从ITO废靶中提纯铟的提纯装置
本专利技术涉及稀有合金分离回收领域，针对铟资源回收的相关技术，尤其是从ITO废靶还原所得铟锡合金中经升华分离提纯铟金属的装置。
技术介绍
ITO靶材是一种铟锡复合氧化物陶瓷材料，广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、飞机及高档汽车的防雾防霜玻璃等领域，是一种非常重要的光电材料。ITO靶材的原料是氧化锡和氧化铟，氧化铟由铟金属制备得到。铟金属是一种贵重金属，价格高，自然界的含量十分稀缺，全球预估真正可以得到的铟仅1.5万吨。而ITO靶材在溅射时使用率较低，一般仅为30％～40％，因此回收提纯ITO废靶材中的金属铟十分必要。目前可以使用H2和CO热还原ITO废靶材生成铟锡合金，而从铟锡合金中回收提纯铟金属主要是电解法。电解法需要将铟锡合金制成阳极靶，再通过电解池和电解液使得阳极中的铟沉积到阴极上分离出铟，锡形成阳极泥落在电解池中。此种方法可以得到纯度较高的铟金属，但是会形成大量的电解废液和废渣，对环境的污染较大，处理成本较高。此外工艺较为复杂，需要建设专用电解池和专业人员值守，人工成本较高。专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种从ITO废靶中提纯铟的提纯装置，其特征在于，包括一提供提纯反应场所的真空炉(5)，该真空炉(5)具有仓门(8)，N

【技术特征摘要】
1.一种从ITO废靶中提纯铟的提纯装置，其特征在于，包括一提供提纯反应场所的真空炉(5)，该真空炉(5)具有仓门(8)，N2气瓶(1)与真空泵(11)分别通过设有球阀开关的管道与真空炉(5)连接，所述的真空炉(5)内设置有用于给铟锡合金加热的加热装置(7)，在真空炉(5)顶部设置有铟金属回收靶(6)，还包括一个用于冷却铟金属回收靶(6)的冷却装置(4)以及在所述真空泵(11)与真空炉(5)连接的管道上设置有真空度表(9)。


2.根据权利要求1所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置，其特征在于，所述的加热装置(7)为电加热棒或加热丝。


3.根据权利要求1或2所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置，其特征在于，所述的铟金属回收靶(6)为铟金属板。


4.根据权利要求1所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置，其特征在于，所述的冷却装置(4)为水循环冷却装置、半导体制冷装置或压缩机冷却装置。


5.根据权利要求1所述从ITO废靶中提纯铟的提纯装置，其特征在于，所述的铟金属回收靶(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔恒，丁金铎，葛春桥，柳春锡，金志洸，王梦涵，
申请(专利权)人：中山智隆新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44