一种用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备技术

技术编号:26472911 阅读:40 留言:0更新日期:2020-11-25 19:13
本发明专利技术实施例公开了一种用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备,涉及新能源技术领域,能够克服在传统湿法制造工艺中的缺陷,以便于推进量子点产业化和大规模应用。本发明专利技术包括:将样品(2)放入石英腔体(26)内,启动真空泵(24)对石英腔体(26)抽真空,向石英腔体(26)输入‑SeH有机物气体作为‑SeH等离子气体源,启动激光加工头(1)扫描样品(2)的表面,向石英腔体(26)输入驱体气体,并启动激光加工头(1)扫描样品(2)的表面进行加热,向石英腔体(26)输入Se源前驱体,启动激光加工头(1)加热样品(2)的表面,使表面吸附的源前驱体与输入的Se源前驱体发生化学反应,生成量子点阵列。本发明专利技术适用于硒化物量子点制造。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备
本专利技术涉及新能源
,尤其涉及一种用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备。
技术介绍
量子点敏化太阳能电池(QuantumDot-SensiPbzedSolarcells,QDSCs)是一种具有极大发展和研究前景的新型太阳能电池。QDSCs利用量子点具有光谱吸收强、尺寸可调和多激子效应等优点,能够显著提高其光电转换效率[JournalofMaterialsChemistryA,2014,2(48):2807–2813]。并且,作为一种新型纳米材料,金属硫族化合物量子点受到光的刺激后,不同尺寸的量子点可以激发出不同颜色的光线,这种简单、精确的尺寸和发光颜色调控关系,使该类量子点在新型量子点显示
有重要应用价值,另外,由于尺寸效应,该类量子点的析氢过电位得到进一步下降,电流密度得到增强,催化析氢性能得到明显提高,这对氢气新能源的利用,改善能源结构具有重要意义。属于新能源以及新材料领域都需关注并发展的对象。这其中,硒化物量子点的性能优异,例如硒化锌(ZnSe)、硒化铅(PbSe)和硒化镉(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硒化物量子点的绿色制造设备,其特征在于,包括:/n激光加工头(1)、样品(2)、等离子体线圈(3)、密封法兰(23)、真空泵(24)、P6真空计(25)和石英腔体(26);/n石英腔体(26)由石英玻璃管中间的空间形成,2个密封法兰(23)分别固定在玻璃管的两端,密封法兰(23)与玻璃管之间密封安装;/n激光加工头(1)与激光器相连,并且激光加工头(1)竖直向下指向样品(2),以便于激光加工头(1)射出的激光透过玻璃向石英腔体(26)中的样品(2)照射;/n石英腔体(26)外表面缠绕安装有等离子体线圈(3);/n石英腔体(26)通过密封法兰(23)接入了五条管路,各个管路分别输送不...

【技术特征摘要】
1.一种用于硒化物量子点的绿色制造设备,其特征在于,包括:
激光加工头(1)、样品(2)、等离子体线圈(3)、密封法兰(23)、真空泵(24)、P6真空计(25)和石英腔体(26);
石英腔体(26)由石英玻璃管中间的空间形成,2个密封法兰(23)分别固定在玻璃管的两端,密封法兰(23)与玻璃管之间密封安装;
激光加工头(1)与激光器相连,并且激光加工头(1)竖直向下指向样品(2),以便于激光加工头(1)射出的激光透过玻璃向石英腔体(26)中的样品(2)照射;
石英腔体(26)外表面缠绕安装有等离子体线圈(3);
石英腔体(26)通过密封法兰(23)接入了五条管路,各个管路分别输送不同类别的气体;
石英腔体(26)接入真空泵(24),尾气处理装置与真空泵(24)相连的。


2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述管路Ⅰ用于向石英腔体(26)提供含-SeH有机物气体作为-SeH等离子气体源;
第一针阀(8)用于控制所述管路Ⅰ中含-SeH有机物气体的流量;
V1气动阀(7)用于控制所述管路Ⅰ的通断;
P1真空计(6)用于读取所述管路Ⅰ中的压强值。


3.根据权利要求1或2所述的设备,其特征在于,所述管路Ⅱ用于向石英腔体(26)提供Zn源前驱体,其中,所述管路Ⅱ的分支管线接入Zn源前驱体瓶(10);第二针阀(9)用于控制所述管路Ⅱ中的Zn源前驱体的载气N2的流量;V2气动阀(4)用于控制所述管路Ⅱ接入Zn源前驱体瓶(10)的分支管线的通断;P2真空计(5)用于读取所述管路Ⅱ中的压强值;
或者,所述管路Ⅲ用于向石英腔体(26)提供Pb源前驱体,其中,所述管路Ⅲ的分支管线接入Pb源前驱体瓶(13);第三针阀(11)用于控制所述管路Ⅲ中的Pb源前驱体的载气N2的流量;V3气动阀(22)用于控制所述管路Ⅲ接入Pb源前驱体瓶(13)的分支管线的通断;P3真空计(12)用于读取所述管路Ⅲ中的压强值;
或者,所述管路Ⅳ用于向石英腔体(26)提供Cd源前驱体,其中,所述管路Ⅳ的分支管线接入Cd源前驱体瓶(16);第四针阀(15...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄亚洲黄家才徐坤山史建军贾茜卞荣
申请(专利权)人:南京工程学院
类型:发明
国别省市:江苏;32

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