校准装置及自动测试设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种校准装置及自动测试设备。该校准装置的一实施方式包括：与自动测试设备的多个测量板卡一一对应连接的多个校准子板及分别与多个校准子板通过标准化接口连接的校准母板，校准子板的类型与与其对应的测量板卡的类型相匹配，校准母板设置有直流信号标准源和时序信号标准源，标准化接口包括直流校准信号接口和时序校准信号接口；校准子板，用于切换来自对应测量板卡的多路待直流校准信号的传输通道以通过直流校准信号接口将多路待直流校准信号单路输出至校准母板，切换来自对应测量板卡的多路待时序校准信号的传输通道以通过时序校准信号接口将多路待时序校准信号单路输出至校准母板。该实施方式可大幅提升自动测试设备的校准效率。

【技术实现步骤摘要】
校准装置及自动测试设备
本技术涉及测试
更具体地，涉及一种校准装置及自动测试设备。
技术介绍
在测试领域中，对于芯片等器件的测试，通常采用自动测试设备(ATE，AutomaticTestEquipment)实现。以对于芯片的测试为例，通常，自动测试设备插接有多个测量板卡，利用其多个测量板卡向芯片发送测试信号。为保证测量板卡发送的测试信号的精确性，需要首先对自动测试设备的测量板卡进行校准，也可直接称为对自动测试设备进行校准。自动测试设备通常支持多种不同类型的测量板卡的混合使用，以满足客户的不同需求配置。目前，对于自动测试设备的测量板卡的校准方式为需要为每一类型的测量板卡制作一块校准板卡，将校准板卡与对应类型的测量板卡连接，校准板卡中的直流信号标准源测量来自每个测量板卡的多路待直流校准信号(测量板卡输出的多路直流信号)，校准板卡中的时序信号标准源测量来自每个测量板卡的多路待时序校准信号(测量板卡输出的多路数字信号)，利用部署于自动测试设备的上位机软件计算各路待直流校准信号及各路待时序校准信号的误差参数并烧写入测量板卡的FLASH闪存中，用于测量板卡根据误差参数进行输出信号(包括多路直流信号和多路时序信号)的校准或者说补偿，其中，误差参数包括线性度误差和偏移误差等。由于不同类型的测量板卡的输出接口不同，现有的自动测试设备的测量板卡的校准方式需要为每一类型的测量板卡制作一种相匹配的校准板卡，且进行校准时自动测试设备上的多个测量板卡的类型需一致，更换测量板卡时也需要统一更换且需要更换相应类型的校准板卡，因此，有的自动测试设备的测量板卡的校准方式存在校准效率低、成本高、操作复杂等问题，增加了自动测试设备的研发周期和成本，也增加了客户更改配置的周期和难度，难以适应市场的需求。因此，需要提供一种新的校准装置及自动测试设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种校准装置及自动测试设备，以解决现有技术存在的问题中的至少一个。为达到上述目的，本技术采用下述技术方案：本技术第一方面提供了一种用于自动测试设备的校准装置，所述自动测试设备包括多个测量板卡，该校准装置包括与多个测量板卡一一对应连接的多个校准子板及分别与所述多个校准子板通过标准化接口连接的校准母板，所述校准子板的类型与与其对应的测量板卡的类型相匹配，所述校准母板设置有直流信号标准源和时序信号标准源，所述标准化接口包括直流校准信号接口和时序校准信号接口；所述校准子板，用于切换来自对应测量板卡的多路待直流校准信号的传输通道以通过所述直流校准信号接口将所述多路待直流校准信号单路输出至校准母板，切换来自对应测量板卡的多路待时序校准信号的传输通道以通过所述时序校准信号接口将所述多路待时序校准信号单路输出至校准母板。可选地，所述校准子板包括第一继电器网络和第二继电器网络，所述第一继电器网络包括一一对应地设置于多路待直流校准信号的传输通道中的多个第一继电器，所述第二继电器网络包括一一对应地设置于多路待时序校准信号的传输通道中的多个第二继电器，所述第一继电器网络用于实现对单路输出的待直流校准信号的切换，所述第二继电器用于实现对单路输出的待时序校准信号的切换。可选地，所述第一继电器为低频继电器，所述第二继电器为高频继电器。可选地，所述标准化接口还包括用于通过校准母板实现各校准子板之间的待直流校准信号的传输通道连接的直流校准总线。可选地，所述校准子板包括诊断电路，所述诊断电路包括精密电阻网络，用于基于来自所属校准子板对应的测量板卡的多路待直流校准信号，判断与所属校准子板对应的测量板卡的直流输出及电压电流测量功能是否存在故障。可选地，所述标准化接口还包括用于将来自测量板卡的控制信号的电平转换为标准电平并传输控制信号的控制信号接口。本技术第二方面提供了一种自动测试设备，包括多个测量板卡，还包括本技术第一方面提供的校准装置。可选地，还包括用于插接所述多个测量板卡的背板。可选地，所述多个测量板卡中至少存在两种测量板卡的类型。本技术的有益效果如下：本技术所述技术方案具有高灵活性和高通用性，可在节约成本的同时大幅提升自动测试设备的校准效率。附图说明下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明；图1示出本技术实施例提供的自动测试设备的示意图。图2示出校准子板的示意图。图3示出标准化接口的示意图。具体实施方式为了更清楚地说明本技术，下面结合优选实施例和附图对本技术做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本技术的保护范围。如图1-图3所示，本技术的一个实施例提供了一种自动测试设备，包括校准装置和多个测量板卡(如图1中的测量板卡1、测量板卡2，……，测量板卡N)，校准装置包括与多个测量板卡一一对应连接的多个校准子板(如图1中的校准板卡1、校准板卡2，……，校准板卡N)及分别与所述多个校准子板通过标准化接口连接的校准母板，所述校准子板的类型与与其对应的测量板卡的类型相匹配，所述校准母板设置有直流信号标准源和时序信号标准源，如图3所示，所述标准化接口包括直流校准信号接口和时序校准信号接口；所述校准子板，用于切换来自对应测量板卡的多路待直流校准信号的传输通道以通过所述直流校准信号接口将所述多路待直流校准信号单路输出至校准母板(即，通过切换多路待直流校准信号的传输通道，通过所述直流校准信号接口将所述多路待直流校准信号依次单路输出)，切换来自对应测量板卡的多路待时序校准信号的传输通道以通过所述时序校准信号接口将所述多路待时序校准信号单路输出至校准母板(即，通过切换多路待时序校准信号的传输通道，通过所述时序校准信号接口将所述多路待时序校准信号依次单路输出)。在进行校准时，校准母板中的具有精密测量电压和测量电流的功能的直流信号标准源，测量来自每个校准子板的待直流校准信号的电压和电流，校准母板中的时序信号标准源测量来自每个校准子板的待时序校准信号，可利用部署于自动测试设备的上位机软件计算待直流校准信号及时序校准信号的误差参数并烧写入测量板卡的FLASH闪存中，用于测量板卡根据误差参数进行输出信号(包括直流信号和时序信号)的校准或者说补偿，其中，误差参数包括线性度误差和偏移误差等，对于时序校准信号，其误差参数通常为两个数字信号之间的偏移大小(即边沿是否对齐)。本实施例提供的自动测试设备中的校准装置，采用一个通用的校准母板结合与其通过统一的标准化接口连接的多个校准子板的方式，可通过对校准子板的灵活配置来适配自动测试设备上安装不同类型测量板卡的配置，可实现同时对自动测试设备上安装的不同类型的测量板卡进行校准，具有高灵活性和高通用性，减少了研发周期和成本，可在节约成本的同时大幅提升自动测试设备的校准效率。在本实施例的一些可选的实现方式中，如图1所示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于自动测试设备的校准装置，所述自动测试设备包括多个测量板卡，其特征在于，该校准装置包括与多个测量板卡一一对应连接的多个校准子板及分别与所述多个校准子板通过标准化接口连接的校准母板，所述校准子板的类型与与其对应的测量板卡的类型相匹配，所述校准母板设置有直流信号标准源和时序信号标准源，所述标准化接口包括直流校准信号接口和时序校准信号接口；/n所述校准子板，用于切换来自对应测量板卡的多路待直流校准信号的传输通道以通过所述直流校准信号接口将所述多路待直流校准信号单路输出至校准母板，切换来自对应测量板卡的多路待时序校准信号的传输通道以通过所述时序校准信号接口将所述多路待时序校准信号单路输出至校准母板。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于自动测试设备的校准装置，所述自动测试设备包括多个测量板卡，其特征在于，该校准装置包括与多个测量板卡一一对应连接的多个校准子板及分别与所述多个校准子板通过标准化接口连接的校准母板，所述校准子板的类型与与其对应的测量板卡的类型相匹配，所述校准母板设置有直流信号标准源和时序信号标准源，所述标准化接口包括直流校准信号接口和时序校准信号接口；
所述校准子板，用于切换来自对应测量板卡的多路待直流校准信号的传输通道以通过所述直流校准信号接口将所述多路待直流校准信号单路输出至校准母板，切换来自对应测量板卡的多路待时序校准信号的传输通道以通过所述时序校准信号接口将所述多路待时序校准信号单路输出至校准母板。


2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述校准子板包括第一继电器网络和第二继电器网络，所述第一继电器网络包括一一对应地设置于多路待直流校准信号的传输通道中的多个第一继电器，所述第二继电器网络包括一一对应地设置于多路待时序校准信号的传输通道中的多个第二继电器，所述第一继电器网络用于实现对单路输出的待直流校准信号的切换，所述第二继电器用于实现对单路输出的待时序校准信号的切换。


3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：董亚明，刘坤选，林亚东，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32