【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工工艺中的分选机,特别是一种分选机测试夹紧机构。
技术介绍
分选机是半导体加工工艺中,最后对集成电路产品进行品质测试,按不同的品质,分类收集成品的机械设备。测试夹紧机构是分选机的核心功能机构。现有分选机测试夹紧机构,其结构即工作原理请参阅图1。如图所示以两侧气缸为动力源,由该气缸驱动的压块A、B推动左、右测试簧片往中间靠拢,使测试簧片的上部顶端与定位于中间位置的集成电路的引脚接触;测试仪便通过测试簧片向集成电路通电检测集成电路的品质。该机构的缺陷是左、右两侧的两个气缸分别驱动左、右压块A、B,由于左、右气缸的驱动动作很难达到一致,因此,驱动压块A、B时速度、力量均有所不同,相对于集成电路的行程也会不一致,从而引起左、右测试簧片与集成电路引脚接触不同时,接触力不一致,簧片的弯曲变形量不一致,进而引起测试不准确,误测率高、速度慢、测试簧片寿命短,集成电路引脚被弄弯等,直接影像了产品的质量。
技术实现思路
本技术要提供一种分选机测试夹紧机构,解决现有机构左、右二侧气缸驱动方式所存在的上述技术缺陷。为解决上述技术问题,本技术是这样实现的一种分选机测试夹紧机构, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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