可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法及PERC电池技术

本发明专利技术公开了可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法及PERC电池，镀膜方法包括：将PERC半成品插入背钝化石墨舟中，并送入PECVD设备中；在所述PERC半成品上沉积AlO

【技术实现步骤摘要】
可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法及PERC电池
本专利技术涉太阳能光伏电池制造
，特别涉及可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法及PERC电池。
技术介绍
现有技术中，PERC(PassivatedEmitterandRearCell，钝化发射极和背面电池技术)电池因其转换效率高、与传统产线兼容性好、设备投资低等优势成为近年来光伏行业的主流技术。但其也存在新的问题。目前行业普遍反馈突出的问题是EL良率，PERC电池由于增加了背钝化工序，导致对杂质、缺陷的敏感度高，容忍度低，这就要求对车间洁净度和制程的要求极高。EL(电致发光)弧形黑斑就是EL不良类型中的一种，EL黑斑不良会大大降低产品的良率，增加生产成本，影响产品质量和可靠性，也是行业内技术人员一直在研究和解决的难题之一。对于EL弧形黑斑的形成机理，目前没有明确的定论。且EL弧形黑斑的种类较多，对于规则的点状、圆形、或者与制程工装夹具接触地方形状相同的，基本可以追溯到具体的生产工序。但对于形状不规则、不在固定位置的弧形黑斑，现在研究的比较少，也鲜有文献或资料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法，其特征在于，包括：/n将PERC半成品插入背钝化石墨舟中，并送入PECVD设备中；/n在所述PERC半成品上沉积AlO

【技术特征摘要】
1.一种可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法，其特征在于，包括：
将PERC半成品插入背钝化石墨舟中，并送入PECVD设备中；
在所述PERC半成品上沉积AlOx薄膜；
其中，沉积AlOx薄膜的工艺参数如下：PECVD设备炉管内的温度为260～320℃，压力为1500-1700mTorr，TMA释放量为75～90％，N2O流量为3.0-5.0slm，沉积时间为60～80s。


2.根据权利要求1所述的可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法，其特征在于，沉积AlOx薄膜的工艺参数还包括：射频功率为3500～4800Watt，射频占空比为1.5:100～2.5:100。


3.根据权利要求1所述的可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法，其特征在于，还包括：
在所述AlOx薄膜上依次沉积：SiO2或SiONx薄膜、SiNx薄膜、SiNy薄膜。


4.根据权利要求3所述的可改善EL弧形黑斑的PERC电池的镀膜方法，其特征在于，沉积SiO2或SiONx薄膜的工艺参数如下：N2O的流量为3.5～5.0slm，NH3的流量为0～0.5slm，SiH4的流量为100～200sccm，压力为700～1000mTor，温度为420～480℃，沉积时间为210～260s。


5.根据权利要求4所述的可改善EL弧形黑斑的PERC电...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴娟，梁杭伟，鲍亚平，吴含封，杨健，
申请(专利权)人：东莞南玻光伏科技有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44