一种无梁型行波马达微驱动器制造技术

本发明专利技术公开一种无梁型行波马达微驱动器，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连。本发明专利技术的无梁型行波马达微驱动器，定子直接与固定支撑相连，省去了梁结构，消除了梁结构带来的影响，且定子直接与固定支撑相连，使定子振膜上下表面无其他约束，直接与空气接触，有利于实现微驱动器振动位移提升，从而提高驱动能力。

【技术实现步骤摘要】
一种无梁型行波马达微驱动器
本专利技术涉及行波微驱动器
，特别是涉及一种无梁型行波马达微驱动器。
技术介绍
行波微马达是一类微小驱动装置，具有巨大应用潜力。行波微驱动器(定子)作为微马达中的致动装置，是实现负载(转子)转动及力矩输出的关键。对微马达定子进行结构优化有利于实现带载能力提升。目前常见的定子采用圆环型膜片结构，利用压电材料的逆压电效应，在圆环不同区域施加特定频率、幅值、相位的交流激励后，可激发出沿膜片表面且绕圆心传播的行波，并通过行波波峰附近的质点椭圆运动将机械能传递给负载转子。通常定子所激励的行波模态为B1n模态，即1个节圆、n条节径(n一般为3-6)。此外膜片通过支撑梁结构与其外侧的体硅相连，使行波驱动圆环呈悬空状。常规支撑梁结构行波驱动器定子存在的主要问题是其所激发的B1n行波模态驱动效率不高，原因主要有以下几点。首先，这类结构所激发的行波普遍存在行波波峰半径小的问题，即带载状态下驱动半径较小，能够传递的有效力矩十分有限；其次，支撑梁结构定子激发出行波后，在环形膜片边沿存在较大的非规则位移，影响驱动效率的同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无梁型行波马达微驱动器，其特征在于：包括定子和固定支撑，所述定子与所述固定支撑相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种无梁型行波马达微驱动器，其特征在于：包括定子和固定支撑，所述定子与所述固定支撑相连。


2.根据权利要求1所述的无梁型行波马达微驱动器，其特征在于：所述定子为环形，所述固定支撑套装于所述定子的外部，所述定子的外边沿与所述固定支撑相连。


3.根据权利要求2所述的无梁型行波马达微驱动器，其特征在于：所述定子包括支撑层、压电层、驱动电极和下电极，所述驱动电极设置于所述压电层的顶部，所述下电极设置于所述压电层的底部，所述支撑层设置于所述下电极的底部。


4.根据权利要求3所述的无梁型行波马达微驱动器，其特征在于：所述驱动电极包括若干个扇形电极，若干个所述扇形电极绕所述定子的轴线圆周状...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙翔宇，杜亦佳，王艺程，陈余，李小石，弓冬冬，杨天宇，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51