一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导制造技术

本发明专利技术公开了一种2μm波段的条‑槽‑条型极大负色散光波，属于光纤通信技术领域。该极大负色散光波导包括：衬底，衬底由二氧化硅组成；在衬底的顶部设置有条‑槽‑条型波导结构；条‑槽‑条型波导结构包括：下条型波导、槽型波导和上条型波导；上条型波导、槽型波导和下条型波导在衬底的顶部垂直方向上自上而下分布；其中，下条型波导由氮化硅组成，槽型波导由硅、二氧化硅构成；上条型波导是由材料硅构成。在本发明专利技术中，以衬底为基准，自上而下分别设置有上条型波导、槽型波导、下条型波导，共同组成条‑槽‑条型波导结构，从而使得该波导结构的色散峰值、色散半极大全宽都大于单一条槽波导和单一槽条波导，一定程度上增大了色散峰值和色散半极大全宽。

【技术实现步骤摘要】
一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导
本专利技术涉及光纤通信
，特别涉及一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导。
技术介绍
色散累积量的补偿做为通信网络系统中亟待解决的问题而受到越来越多的关注，色散会导致通信光信号脉冲展宽，产生时延差，最终在接收端引起误码率增大，极大程度上限制了当前光纤通信系统的传输容量以及传输速率。对于色散的补偿，目前存在较多的方案是：(1)色散补偿光纤(DispersionCompensationFiber，DCF)是应用较为成熟的色散补偿方案，但对于DCF而言，其具有较大的弯曲半径，通常需要占据很大的物理空间，从这一点上来讲，不适合未来器件小型化片上集成的发展趋势；(2)基于周期光栅的波导，虽在结构尺寸上相对较小，但是未能兼顾大的色散补偿范围，使得补偿波段受限；(3)单芯和双芯环形结构波导，该结构不能对密集波分复用系统的每路光信号进行精确的色散补偿等。从目前的多数色散补偿方案来看，传统的色散补偿技术都不能兼顾大色散极值和宽工作波段之间的平衡，并且存在补偿器件物理尺寸过长，色散数值抖动较大等不足本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导，其特征在于，所述极大负色散光波导包括：衬底(1)，所述衬底(1)由二氧化硅组成；在所述衬底(1)的顶部设置有条-槽-条型波导结构；/n所述条-槽-条型波导结构包括：下条型波导(2)、槽型波导(3)和上条型波导(4)；所述上条型波导(4)、所述槽型波导(3)和所述下条型波导(2)在所述衬底(1)的顶部垂直方向上自上而下分布；其中，所述下条型波导(2)由氮化硅组成，所述槽型波导(3)由硅、二氧化硅构成；所述上条型波导(4)是由材料硅构成。/n

【技术特征摘要】
1.一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导，其特征在于，所述极大负色散光波导包括：衬底(1)，所述衬底(1)由二氧化硅组成；在所述衬底(1)的顶部设置有条-槽-条型波导结构；
所述条-槽-条型波导结构包括：下条型波导(2)、槽型波导(3)和上条型波导(4)；所述上条型波导(4)、所述槽型波导(3)和所述下条型波导(2)在所述衬底(1)的顶部垂直方向上自上而下分布；其中，所述下条型波导(2)由氮化硅组成，所述槽型波导(3)由硅、二氧化硅构成；所述上条型波导(4)是由材料硅构成。


2.如权利要求1所述的一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导，其特征在于，所述条-槽-条型波导结构还包括：二氧化硅媒介(5)；在所述下条型波导(2)、所述槽型波导(3)和所述上条型波导(4)两两之间通过所述二氧化硅媒介(5)隔开。


3.如权利要求1所述的一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导，其特征在于，所述下条型波导(2)由氮化硅组成，其在λ＝2μm处折射率n＝1.983。


4.如权利要求2所述的一种2μm波段的条-槽-条型极大负色散光波导，其特征在于，所述槽型波导(3)的夹板层(6)由硅制成，其在λ＝2μm处折射率n＝3.48；所述槽型波导(3)的槽芯(7)由二氧化硅制成，其在λ＝2μm处折射率n＝1.44；所述槽芯(7)处于两个所述夹板层(6)之间。


5.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠战强，张甜甜，
申请(专利权)人：西安邮电大学，南京蓝波湾光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61