一种自清洗高浓度臭氧发生器制造技术

本发明专利技术公开了一种自清洗高浓度臭氧发生器，包括高浓度臭氧发生器主体与滑动机构，所述高浓度臭氧发生器主体前表面设置有限位固定架，所述限位固定架前表面设置有导管；所述滑动机构包括第二固定环，所述第二固定环处于限位固定架外侧表面，所述第二固定环的数量共设置有两个，两个所述第二固定环一端均开设有缺口，所述缺口两端均固定连接有螺纹杆，两个所述螺纹杆外侧套接有第一锁紧螺栓，所述两个螺纹杆均设置为半锥形，两个所述螺纹杆组合成锥形；与现有技术相比，本发明专利技术的有益效果是：通过设计了滑动机构，可以调整两个第二固定环的高度，方便能够在不同规格的装置上使用，提高本装置的通用性，不需要额外去定制，减少成本。

【技术实现步骤摘要】
一种自清洗高浓度臭氧发生器
本专利技术属于臭氧发生器
，具体涉及一种自清洗高浓度臭氧发生器。
技术介绍
臭氧发生器和模块化输送系统，可产生超纯、可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中，臭氧与各种前体气体反应生成Al2O3、ZrO2、HfO2和La2O3金属氧化物，从而实现原子层沉积(ALD)和蚀刻(ALE)等薄膜沉积工艺，臭氧发生器使用6级气体，能够产生更高的薄膜密度，从而提高产品产量。光伏和显示器制造利用半导体最佳实践，并利用臭氧创建增强的薄膜屏障，从而提高产品性能和可靠性，。现有的臭氧发生器，由于外部安装有导管，需要安装有固定架扶持导管，防止导管在安装压力阀等原件后由于重力的原因发生变形的问题，但是由于臭氧发生器规格不一样，固定导管的固定环与固定架是固定连接，不能通用，需要另外更换，造成了成本增加的问题，为此我们提出一种自清洗高浓度臭氧发生器。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种自清洗高浓度臭氧发生器，以解决上述
技术介绍
中提出现有的臭氧发生器，由于外部安装有导管，需要安装有固定架扶持导管，防止导管在安本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自清洗高浓度臭氧发生器，包括高浓度臭氧发生器主体(1)与滑动机构，其特征在于：所述高浓度臭氧发生器主体(1)前表面设置有限位固定架(2)，所述限位固定架(2)前表面设置有导管(3)；所述滑动机构包括第二固定环(7)，所述第二固定环(7)处于限位固定架(2)外侧表面，所述第二固定环(7)的数量共设置有两个，两个所述第二固定环(7)一端均开设有缺口，所述缺口两端均固定连接有螺纹杆(8)，两个所述螺纹杆(8)外侧套接有第一锁紧螺栓(9)，所述两个螺纹杆(8)均设置为半锥形，两个所述螺纹杆(8)组合成锥形，两个所述第二固定环(7)另一端均固定连接有第一固定环(4)，两个所述第一固定环(4)均为...

【技术特征摘要】
1.一种自清洗高浓度臭氧发生器，包括高浓度臭氧发生器主体(1)与滑动机构，其特征在于：所述高浓度臭氧发生器主体(1)前表面设置有限位固定架(2)，所述限位固定架(2)前表面设置有导管(3)；所述滑动机构包括第二固定环(7)，所述第二固定环(7)处于限位固定架(2)外侧表面，所述第二固定环(7)的数量共设置有两个，两个所述第二固定环(7)一端均开设有缺口，所述缺口两端均固定连接有螺纹杆(8)，两个所述螺纹杆(8)外侧套接有第一锁紧螺栓(9)，所述两个螺纹杆(8)均设置为半锥形，两个所述螺纹杆(8)组合成锥形，两个所述第二固定环(7)另一端均固定连接有第一固定环(4)，两个所述第一固定环(4)均为半圆环形结构，所述导管(3)一端处于两个所述第一固定环(4)内侧，两个所述第一固定环(4)内侧均固定连接有第一防护橡胶垫(6)。


2.根据权利要求1所述的一种自清洗高浓度臭氧发生器，其特征在于：包括抵紧机构，所述抵紧机构包括第二锁紧螺栓(10)，所述第二锁紧螺栓(10)的数量共设置有两个，两个所述第二锁紧螺栓(10)分别处于两个所述第一固定环(4)外侧，两个所述第二锁紧螺栓(10)一端分别贯穿两个所述第一固定环(4)内壁处于两个所述第一固定环(4)内侧，两个所述第二锁紧螺栓(10)处于两个所述第一固定环(4)内侧的一端表面均固定连接有第二防护橡胶垫(12)。


3.根据权利要求1所述的一种自清洗高浓度臭氧发生器，其特征在于：包括限位机构，所述高浓度臭氧发生器主体(1)底端固定连接有固定底座(5)，所述限位机构包括限位块(13)，所述限位块(13)固定安装于固定底座(5)一侧表面，所述固定底座(5)顶端表面开设有定位安装槽(14)，所述限位固定架(2)底端处于定位安装槽(14)内侧，所述定位安装槽(14)内侧开设有第一限位槽(15)，所述第一限位槽(15)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张承勇，
申请(专利权)人：上海宝舶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31