一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构制造技术

本发明专利技术公开了一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体顶端的开口中螺纹连接有炉盖，所述单晶炉本体内壁的底端固定设置有加热组件，且加热组件的顶端设置有坩埚本体，所述坩埚本体的两端通过卡接结构固定在单晶炉本体的内壁上。本发明专利技术能够保证导热组件在不受到腐蚀的前提下，仍然能够对坩埚本体内部的受热温度进行精准测量，让实验人员能够对结晶过程中的温度变化有一个直观的了解，同时通过动力传导装置将力传导给捣动杆，使得在温度达到一定数值后，捣动杆能够产生转动，对坩埚本体内的结晶液体进行搅动，使得液体能够得到均匀受热，提升整体的结晶效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构
本专利技术属于半导体材料制备
，涉及一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构。
技术介绍
在温度测量中，热电偶的应用极为广泛，它具有结构简单、制造方便、测量范围广、精度高、惯性小和输出信号便于远传等许多优点，另外，由于热电偶是一种无源传感器，测量时不需外加电源，使用十分方便，所以常被用作测量炉子、管道内的气体或液体的温度及固体的表面温度。在利用高压单晶炉进行晶体合成时，为了更好的了解不同的温度参数下，所得到晶体的数据差异性，经常需要运用热电偶进行温度监控，而目前的高压单晶炉内的热电偶设备，其导热组件经常是与坩埚内部的结晶液体直接接触的，考虑到有些液体含有一定的腐蚀性，在使用一端时间后，由于热电偶导热组件受到腐蚀后，又因为单晶炉体的温度不断升高后，很容易导致热电偶的导热组件被熔断，影响正常的温度监控，增加了实验时设备损耗的成本，并且坩埚中的液体在受到加热结晶的过程中，没有配套的搅拌结构，导致其受热不均，结晶速度慢，影响整体的实验质量和效率，必须设计一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构来解决此类问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，解决现有技术存在的问题：热电偶导热组件受到腐蚀后，又因为单晶炉体的温度不断升高后，很容易导致热电偶的导热组件被熔断，并且缺少配套的搅拌结构，导致其受热不均，结晶速度慢，影响整体的实验质量和效率。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：<br>一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体顶端的开口中螺纹连接有炉盖，所述单晶炉本体内壁的底端固定设置有加热组件，且加热组件的顶端设置有坩埚本体，所述坩埚本体的两端通过卡接结构固定在单晶炉本体的内壁上，所述坩埚本体内壁的底端固定连接有传热管，所述炉盖的顶侧壁上设置有圆形孔，所述传热管的顶端通过圆形孔延伸出炉盖上方设置，所述传热管的底端与坩埚本体成一体化设置，且所述传热管中盛装有水，所述传热管底端的外壁上转动连接有转动齿轮一，所述转动齿轮一底端的外壁上对称固定连接有若干个捣动杆，且所述炉盖顶端的侧壁上固定连接有支架二，所述支架二一端的底侧壁上转动连接有主动齿杆，所述主动齿杆的底端固定连接有扇叶，所述主动齿杆的一侧通过链条传动连接有动力传导装置，所述炉盖远离支架二一端的顶侧壁上固定连接有热电偶测量仪，所述热电偶测量仪的一端连接有数据传输线，所述数据传输线远离热电偶测量仪的一端固定连接有热电偶传热杆，所述热电偶传热杆插接在传热管内部，所述炉盖远离热电偶测量仪一侧的顶端固定设置有进料组件，所述单晶炉本体的底端固定连接有底板一，所述底板一的底端固定连接有支撑底脚，所述单晶炉本体的一侧壁上固定安装有调节开关，所述调节开关远离单晶炉本体的一端连接有电源线。优选的，所述加热组件包括加热底座，所述加热底座的顶端固定连接有加热盘，所述加热盘的内部设置有加热电阻丝。优选的，所述卡接结构包括对称固定连接在单晶炉本体内壁上的两个支架一，所述坩埚本体两端的外壁上对称固定连接有两个坩埚支杆，所述坩埚支杆卡接在相邻的支架一顶侧壁上的卡槽中。优选的，所述动力传导装置包括转动杆，所述转动杆通过轴承转动连接在炉盖的侧壁上，所述转动杆的顶端固定连接有从动齿杆，所述主动齿杆与从动齿杆之间借助链条连接，所述从动齿杆的底端延伸至单晶炉本体的内部设置，且所述从动齿杆的底端固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮与转动齿轮一相啮合。优选的，所述进料组件包括进料管，所述进料管与炉盖的侧壁螺纹连接，所述进料管的顶端固定连接有料斗，所述进料管底端的侧壁上设置有出料口，所述料斗的外壁对称固定连接有若干个拨杆。优选的，所述炉盖两端的外壁上对称固定连接有两个把手，且所述单晶炉本体的侧壁上设置有钢化玻璃组成的观察窗。优选的，所述坩埚本体、传热管、捣动杆主体均为石墨材料制成。本专利技术的有益效果是：1.区别于传统的将热电偶导热组件插入到坩埚的结晶液体中，避免导热组件直接与结晶液体接触，从而能够有效防止导热组件受到结晶液体的腐蚀，并且本结构中传热管的底端是与坩埚本体成一体化设置的，在加热结晶过程中，传热管和坩埚本体内部所受到的热量几乎相同，从而能够保证导热组件在不受到腐蚀的前提下，仍然能够对坩埚本体内部的受热温度进行精准测量，让实验人员能够对结晶过程中的温度变化有一个直观的了解；2.利用受热后，借助传热管中液体蒸发后产生的蒸汽，利用蒸汽作为动力来源，促使扇叶转动后，通过动力传导装置将力传导给捣动杆，使得在温度达到一定数值后，捣动杆能够产生转动，对坩埚本体内的结晶液体进行搅动，使得液体能够得到均匀受热，提升整体的结晶效率。附图说明图1为本专利技术提出的一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构的正面结构示意图；图2为炉盖、传热管、转动齿轮一、捣动杆、支架二、扇叶、转动杆、传动齿轮、热电偶传热杆的结构细节图；图3为图1中A结构放大图；图4为传热管、支架二、扇叶、转动杆、主动齿杆、从动齿杆、链条、热电偶传热杆的结构细节图；图5为进料管、料斗、拨杆、出料口结构的正面剖视图；图6为单晶炉本体、传热管、转动杆、传动齿轮的结构俯视图。图中：1单晶炉本体、2炉盖、3底板一、4支撑底脚、5调节开关、6电源线、7加热底座、8加热盘、9进料管、10料斗、11坩埚本体、12坩埚支杆、13支架一、14传热管、15转动齿轮一、16捣动杆、17支架二、18扇叶、19转动杆、20传动齿轮、21主动齿杆、22从动齿杆、23链条、24热电偶测量仪、25数据传输线、26热电偶传热杆、27把手、28拨杆、29出料口。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-6，一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，包括单晶炉本体1，单晶炉本体1顶端的开口中螺纹连接有炉盖2，利用炉盖2，对单晶炉本体1内部实现一个较为密封的环境，同时后期可以更加快捷的将炉盖2打开，对单晶炉本体1内部进行定期清理，单晶炉本体1内壁的底端固定设置有加热组件，且加热组件的顶端设置有坩埚本体11，加热组件包括加热底座7，加热底座7的顶端固定连接有加热盘8，加热盘8的内部设置有加热电阻丝，当加热盘8通电后，对坩埚本体11进行传热，方便对坩埚本体11中的液体进行加热结晶，坩埚本体11的两端通过卡接结构固定在单晶炉本体1的内壁上，卡接结构包括对称固定连接在单晶炉本体1内壁上的两个支架一13，坩埚本体11两端的外壁上对称固定连接有两个坩埚支杆12，坩埚支杆12卡接在相邻的支架一13顶侧壁上的卡槽中，实现将坩埚本体11很好的固定在单晶炉本体1内部，后期取出时，只需要将坩埚支杆12从支架一13的卡槽中抽出即可，十分的方便，坩埚本体11内壁的底端固定连接有传热管14，炉盖2的顶侧壁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，包括单晶炉本体(1)，其特征在于，所述单晶炉本体(1)顶端的开口中螺纹连接有炉盖(2)，所述单晶炉本体(1)内壁的底端固定设置有加热组件，且加热组件的顶端设置有坩埚本体(11)，所述坩埚本体(11)的两端通过卡接结构固定在单晶炉本体(1)的内壁上，所述坩埚本体(11)内壁的底端固定连接有传热管(14)，所述炉盖(2)的顶侧壁上设置有圆形孔，所述传热管(14)的顶端通过圆形孔延伸出炉盖(2)上方设置，所述传热管(14)的底端与坩埚本体(11)成一体化设置，且所述传热管(14)中盛装有水，所述传热管(14)底端的外壁上转动连接有转动齿轮一(15)，所述转动齿轮一(15)底端的外壁上对称固定连接有若干个捣动杆(16)，且所述炉盖(2)顶端的侧壁上固定连接有支架二(17)，所述支架二(17)一端的底侧壁上转动连接有主动齿杆(21)，所述主动齿杆(21)的底端固定连接有扇叶(18)，所述主动齿杆(21)的一侧通过链条(23)传动连接有动力传导装置，所述炉盖(2)远离支架二(17)一端的顶侧壁上固定连接有热电偶测量仪(24)，所述热电偶测量仪(24)的一端连接有数据传输线(25)，所述数据传输线(25)远离热电偶测量仪(24)的一端固定连接有热电偶传热杆(26)，所述热电偶传热杆(26)插接在传热管(14)内部，所述炉盖(2)远离热电偶测量仪(24)一侧的顶端固定设置有进料组件，所述单晶炉本体(1)的底端固定连接有底板一(3)，所述底板一(3)的底端固定连接有支撑底脚(4)，所述单晶炉本体(1)的一侧壁上固定安装有调节开关(5)，所述调节开关(5)远离单晶炉本体(1)的一端连接有电源线(6)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，包括单晶炉本体(1)，其特征在于，所述单晶炉本体(1)顶端的开口中螺纹连接有炉盖(2)，所述单晶炉本体(1)内壁的底端固定设置有加热组件，且加热组件的顶端设置有坩埚本体(11)，所述坩埚本体(11)的两端通过卡接结构固定在单晶炉本体(1)的内壁上，所述坩埚本体(11)内壁的底端固定连接有传热管(14)，所述炉盖(2)的顶侧壁上设置有圆形孔，所述传热管(14)的顶端通过圆形孔延伸出炉盖(2)上方设置，所述传热管(14)的底端与坩埚本体(11)成一体化设置，且所述传热管(14)中盛装有水，所述传热管(14)底端的外壁上转动连接有转动齿轮一(15)，所述转动齿轮一(15)底端的外壁上对称固定连接有若干个捣动杆(16)，且所述炉盖(2)顶端的侧壁上固定连接有支架二(17)，所述支架二(17)一端的底侧壁上转动连接有主动齿杆(21)，所述主动齿杆(21)的底端固定连接有扇叶(18)，所述主动齿杆(21)的一侧通过链条(23)传动连接有动力传导装置，所述炉盖(2)远离支架二(17)一端的顶侧壁上固定连接有热电偶测量仪(24)，所述热电偶测量仪(24)的一端连接有数据传输线(25)，所述数据传输线(25)远离热电偶测量仪(24)的一端固定连接有热电偶传热杆(26)，所述热电偶传热杆(26)插接在传热管(14)内部，所述炉盖(2)远离热电偶测量仪(24)一侧的顶端固定设置有进料组件，所述单晶炉本体(1)的底端固定连接有底板一(3)，所述底板一(3)的底端固定连接有支撑底脚(4)，所述单晶炉本体(1)的一侧壁上固定安装有调节开关(5)，所述调节开关(5)远离单晶炉本体(1)的一端连接有电源线(6)。


2.根据权利要求1所述的一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，其特征在于,所述加热组件包括加热底座(7)，所述加热底...

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽，
申请(专利权)人：王丽，
类型：发明
国别省市：江苏;32