【技术实现步骤摘要】
一种化学机械抛光设备及使用方法
本专利技术涉及机械抛光
，尤其涉及一种化学机械抛光设备及使用方法。
技术介绍
机械零件经过机床加工完成后，尤其是一些回转体的轴类零件，为了满足设计要求，还需进行抛光处理，抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工，抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽，但是，目前的抛光设备在工作时，抛光效率低，抛光时，抛光液无法随着机械零件的转动速度自动改变喷出量，以达到抛光液利用最大化。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中抛光效率低抛光液无法随着机械零件的转动速度自动改变喷出量等问题，而提出的一种化学机械抛光设备及使用方法。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种化学机械抛光设备，包括第一箱体、支撑罩和零件本体，所述支撑罩上设有移动机构，所述移动机构底部设有升降机构，所述...
【技术保护点】
1.一种化学机械抛光设备，包括第一箱体（1）、支撑罩（101）和零件本体（704），其特征在于，所述支撑罩（101）上设有移动机构，所述移动机构底部设有升降机构，所述升降机构内设有第二电机（401），所述第二电机（401）的输出端设有与零件本体（704）相互配合的抛光盘（402），所述支撑罩（101）侧壁转动连接有第一转轴（502），所述第一转轴（502）远离支撑罩（101）的一端固定连接有第二支撑板（6），所述支撑罩（101）侧壁还固定连接有第二气缸（7）。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种化学机械抛光设备，包括第一箱体（1）、支撑罩（101）和零件本体（704），其特征在于，所述支撑罩（101）上设有移动机构，所述移动机构底部设有升降机构，所述升降机构内设有第二电机（401），所述第二电机（401）的输出端设有与零件本体（704）相互配合的抛光盘（402），所述支撑罩（101）侧壁转动连接有第一转轴（502），所述第一转轴（502）远离支撑罩（101）的一端固定连接有第二支撑板（6），所述支撑罩（101）侧壁还固定连接有第二气缸（7）。
2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述第二气缸（7）的输出端连接有第三支撑板（701），所述第三支撑板（701）上转动连接有转动板（702），所述零件本体（704）固定在转动板（702）与第二支撑板（6）之间，所述第一箱体（1）的内壁转动连接有第二转轴（9），所述第二转轴（9）与第一转轴（502）之间连接有传动机构，所述第二转轴（9）上固定连接有凸轮（10），所述第一箱体（1）的底部设有活塞筒（1204），所述活塞筒（1204）内滑动连接有活塞板（1201），所述活塞板（1201）上固定连接有连接杆（12），所述连接杆（12）上固定连接有移动板（1001），所述移动板（1001）与凸轮（10）相贴，所述第一箱体（1）顶部设有滤网（802），所述滤网（802）上设有喷头（1302），所述喷头（1302）与活塞筒（1204）底部之间连接有第二空心管（13），所述第二空心管（13）上设有进水漏斗（14），所述第一箱体（1）内设有水箱（8），所述进水漏斗（14）位于水箱（8）内。
3.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述移动机构包括第一电机（2）、螺纹杆（202）和螺纹块（3），所述第一电机（2）固定在支撑罩（101）侧壁，所述螺纹杆（202）固定连接在第一电机（2）的输出端，所述螺纹块（3）螺纹连接在螺纹杆（202）上，所述螺纹块（3）底部固定连接有第一支撑板（301）；
所述支撑罩（101）侧壁固定连接有保护罩（201），所述第一电机（2）位于保护罩（201）内。
4.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述升降机构包括第一气缸（302）和第二箱体（4），所述第一气缸（302）固定连接在第一支撑板（301）底部，所述第二箱体（4）固定连接在第一气缸（302）的输出端，所述第二电机（401）固定连接在第二箱体（4）顶部内壁。
技术研发人员：李伟伟，陈蕾，
申请(专利权)人：南京灵雀智能制造有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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