电路布图检查装置和电路布图检查方法制造方法及图纸

一种可可靠并容易检测出电路基板的不良的电路检查装置。从与按列状配置的导电布图（２０）电容耦合的馈电部３０中将检查信号提供给导电布图（２０）中的一个，并由与列状导电布图（２０）的所有另一端部电容耦合的断开传感器（４０）检测出该检查信号，在输出大大降低的情况下，设为布图断路，还通过离开与列状导电布图（２０）的两列左右的布图部电容耦合的馈电部（３０）的短路传感器（５０）检测出检查信号，在检测信号大大上升后、又下降的情况下，设为布图短路，来检查布图是否良好。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及可检查在基板上配置的导电布图，例如在玻璃基板上形成的列状导电布图是否良好的电路布图检查装置、电路布图检查方法及记录媒体。
技术介绍
为了检查在基板上形成的电路间布图是否良好，在现有技术中，使探针对接在要检查的导电布图的一个端部上并提供检查信号，若从对接在另一端部的检查探针检测出检查信号，则判断为导通状态，若没有检测出，则判断为断路(断开)。另外，从要检查的导电布图的一个端部提供检查信号，检查探针还可从相邻于要检查的导电布图的布图的另一端部判断是否检测出了检测信号，来检测出其与相邻布图之间的短路(short状态)，而不仅仅从另一端部确认检测出检查信号。但是，在现有技术中，由于布图和探针接触，所以产生了布图部和探针的分子交换或者划伤，对工作性能产生恶劣影响。另外，还存在因微小的碎物堵塞探针，即使布图正常也判断为断路的可能性。进一步，若因温度变化造成工作对象的形状发生了变化，则使用探针变得很困难，而发生产生测量误差等的不合适情况。另外，在检测出短路状态时，若不是仅将检测信号提供给特定的导电布图，则不能得知相邻布图的短路状态，构成复杂，检测控制也很复杂。
技术实现思路
本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电路布图检查装置，可检查配置了列状导电布图的基板上的所述导电布图的状态，其特征在于，包括：　　　　检查信号提供单元，将检查信号提供给所述列状导电布图一个端部的前端部附近；　　　　第一检测单元，至少可从通过所述检查信号提供单元提供所述检查信号的导电布图中的一个导电布图的另一个端部附近检测出所述检查信号；　　　　第二检测单元，可检测出来自导电布图的相邻至少两列的布图的所述检查信号，该导电布图与通过所述第一检测单元可检测出所述检查信号的所述列状导电布图不同；　　　　识别单元，通过从所述第一检测单元和所述第二检测单元检测出的检查信号的变化识别所述列状导电布图的状态。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山冈秀嗣，石冈圣悟，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]