检查装置及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能可靠并正确地检查电路布线的状况的电路布线检查装置。检查系统（２０），对电路基板上的电路布线供给检查信号（Ｓ１４１），再用多个传感器元件来检测与所供给的检查信号相对应的电路布线上的特定部位处的电位变化（Ｓ１４２），进列表示电路布线形状的图像数据的生成（Ｓ１５１以下），将该电路布线形状和预先注册的标准形状进行比较（Ｓ１６７）检查电路布线的状况（Ｓ１６８／９）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种即使对复杂的电路布线也能可靠地进行检查的电路布线的检查装置及电路布线检查方法。
技术介绍
在电路基板的制造中，在电路基板上配置电路布线后需要检查是否断线或短路。近年来，随着电路布线的高密度化，在进行各电路布线的检查时，产生无法在各电路布线的两端同时配置检查用销针，并确保其前端部接触的充分间隔的状况，因此，为了不使用检查用销针也可检查电路布线的状态，有提案为一种可避免接触电路布线两端部也可接收来自电路布线的电信号的非接触式检查方法(特开平9-264919号公报)。该非接触式检查方法，如图22所示，其方法为使检查用销针接触作为检查对象的电路布线的一边的端部一侧，并在电路布线的另一端部一侧非接触地配置传感器导体，形成与电路布线的另一端部间的静电耦合状态，从检查用销针供给检查信号，通过静电结合部由是否检测出检查信号来检查布图的断线，若在相邻的电路布线处检测出检查信号，则检查相邻的布线间的短路的检查方式。然而，所述现有的非接触式检查方式，电路布线，可以为例如直线状，但是在电路布线从中途分支并其前端分支成二个以上的状况下，虽然分支的一部分布线上有断线，如果其它布线连续，也会本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查电路基板上的电路布线的检查装置，其特征在于，具有：供给机构，由所述电路布线的端部近旁处供给检查信号；检测机构，配置有其宽度小于所述电路布线宽度的多个传感器元件，用于检测供给有所述检查信号的电路布线上的电位变化；形状抽取机构，根据所述检测机构中检测出电位变化的所述传感器元件的位置信息，抽取出供给有所述检查信号的电路布线的形状，由所述形状抽取机构所抽取的电路布线的形状可判别电路布线的状态。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井达久，门田和浩，笠井干也，石冈圣悟，山冈秀嗣，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]