检查装置及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种其采用简单结构可准确且容易地检测电路布线的状况的电路布线的检查装置。检查系统（２０），在实际检查前预先就标准的电路图案的全部电路布线进行图象数据的取出作为标准电路图案（目标数据）予以录入（图１４），将实际的检查对象的电路布线的检测结果与目标数据之间用最小二乘法进行比较（Ｓ１６７），并求得它们之间的相关值判定检查对象电路布线的状态（Ｓ１６８），在显示器２１ａ上显示出来（Ｓ１６９）以便显示出比较结果的与目标数据不同的部分。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种可检查电路布线的电路布线检查装置及电路布线检查方法。
技术介绍
在电路基板的制造中，在电路基板上进电路布线的布置后需要检查是否断路或短路。近年来，随着电路布线的高密度化，在进行各电路布线的检查时，因为在各电路布线的两端部同时配置检查用管脚，与前端部接触而没有足够的间隔，为了不利用管脚来检查电路布线的状态，有提案为可不接触电路布线的两端部而接收来自电路布线的电信号的非接触式检查方法(特开平9-264919号公报)。如图21所示，该非接触式检查方法为将检查用销针接触检查对象的电路布线的一边的端部一侧，并在电路布线的另一端部一侧非接触地配置传感器导体，通过从检查用销针供给检查信号，而使电路布线的电位变化，再利用传感器导体来检测电位变化来检查图案的断线等的检查方式。然而，上述现有的非接触式检查方式，只能检测到电路基板的某一处有否存在电路布线(只能检测到在某一处布线图案上有否电位变化)，仍无法更容易地判断电路布线之间的状态，或无法由操作人员能直观地判断布线图案的状态。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的而作出专利技术，其目的在于为解决上述问题，提供一种电路布线检查装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置，用以检查电路基板上的电路布线，其特征在于，具有：供给机构，对于上述所欲检查的电路布线供给检查信号；检测机构，可使用多个传感器元件来检测供给有上述检查信号的电路布线上的电位变化；标准图案录入机构，使用上述 供给机构将上述检查信号供给至标准电路布线上，并由上述检测机构的传感器元件检测电位变化然后再利用检测出该电位变化的传感器元件的位置信息，来预先生成、录入表示上述标准电路布线的形状的标准图像数据；图像数据生成机构，使用上述供给机 构将上述检查信号供给至检查对象电路布线上，并且由上述检测机构的传感器元件检测电位...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井达久，门田和浩，笠井干也，石冈圣悟，山冈秀嗣，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]