有源矩阵板的检查设备和方法，以及有源矩阵有机发光二极管板的制造方法技术

本发明专利技术涉及有源矩阵板的检查设备和方法，以及有源矩阵有机发光二极管板的制造方法。该检查方法包括在衬底上形成薄膜晶体管阵列从而制造有源矩阵板的阵列工艺；对制造出的有源矩阵板进行性能测试的检查过程；以及在检查过程之后将有机发光二极管安装到有源矩阵板上的单元工艺。在所述检查过程中，在构成在阵列工艺中制造的有源矩阵板的激励薄膜晶体管被导通和关断时，测量通过像素电极的寄生电容的变化，从而检查激励薄膜晶体管中的任何开路／短路缺陷。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于有源矩阵有机发光二极管(OLED)板的检查设备等，尤其涉及在OLED形成工艺之前对薄膜晶体管(TFT)阵列进行性能检查的检查设备等。
技术介绍
OLED(也称为有机电发光(EL))用来在荧光有机化合物中通过直流，所述荧光有机化合物被施加的电场激发，从而使该化合物发光。在下一代显示设备中，在小尺寸、宽视角、宽色域等方面，OLED吸引了人们的注意。尽管OLED的驱动方法包括无源型和有源型，但考虑到材料、寿命、串扰诸方面，有源型更适合实现大屏幕、高分辨率显示器。有源型需要薄膜晶体管(TFT)驱动，在此用途方面，应用低温多晶硅或者无定形硅(a-Si)的TFT阵列正在受到注意。例如，有一种用于液晶显示器(LCD)中的TFT阵列的传统检查方法。该方法设计为在向像素电容器中写入一个电压后用积分电路观测像素电容器中累积的电荷，从而检查该电压是否被正确地写入(例如见专利文献1)。同时，还公开了一种使用光电元件对像素电容器的写入进行光学检查的方法(例如见专利文献2)。另外，还有一种在形成EL元件之前检查像素单元是否正常工作的技术，该技术在对像素电极进行构图之前将一个电源连接到公共像素本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于有源矩阵板的检查设备，用于在形成有机发光二极管之前检查有源矩阵板，包括：　　　　电压改变装置，用于改变构成有源矩阵板的激励薄膜晶体管的检查线路上的电压；和　　　　测量装置，用于在所述电压改变装置改变所述检查线路上的电压时在激励薄膜晶体管的源极侧测量在线路上流过的瞬变电流，并测量在激励薄膜晶体管的关断状态和导通状态之间寄生电容的变化。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中野大树，坂口佳民，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]