测距单元及光照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术的测距单元，具备：将激光即测距光输出的测距光源、使测距光及由对象物的被测量面反射的测距光的反射光透过的对物透镜、使反射光透过并将由对物透镜所产生的测距光或是反射光的聚光位置中的像在成像位置成像的成像透镜、调整反射光的光路的光路调整部、及检测反射光的光检测部。对物透镜，在测距光的光路与对物透镜的中心轴分离的状态下，将测距光朝对象物侧透过。光路调整部，以使在与入射至光检测部的反射光的入射方向垂直的至少一方向被成像的反射光的成像位置，接近与入射方向交叉的规定面的方式，调整反射光的光路。光检测部的受光面，以沿着规定面的方式定位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测距单元及光照射装置
本专利技术关于测距单元及光照射装置。
技术介绍
将对象物的表面的高度测量用的测距单元，已知使用散光像差法者(例如专利文献1参照)。在散光像差法中，从光源被射出的激光，是通过对物透镜而被聚光，被照射在对象物的表面。且，由对象物的表面反射的激光的反射光，是在对物透镜的光轴上行进，被施加散光像差，通过例如4分割光二极管而被检测。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利第5743123号公报
技术实现思路
[本专利技术所要解决的课题]在上述的散光像差法中，例如，将晶圆的表侧主面的高度测量的情况，在由晶圆的表侧主面反射的激光的反射光，会重叠由晶圆的背侧主面被反射的激光的反射光，其结果，有可能无法将晶圆的表侧主面的高度精度良好地测量。本专利技术的目的是提供一种可以将对象物的被测量面的高度精度良好地测量的测距单元及光照射装置。[用以解决课题的手段]本专利技术的一方面的测距单元，是具备：将激光即测距光输出的测距光源、及使测距光及由对象物的被测量面反射的测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测距单元，其中，/n具备：/n将作为激光的测距光输出的测距光源；/n使所述测距光及由对象物的被测量面反射的所述测距光的反射光透过的对物透镜；/n使所述反射光透过并将由所述对物透镜产生的所述测距光或所述反射光的聚光位置中的像在成像位置成像的成像透镜；/n调整所述反射光的光路的光路调整部；及/n检测所述反射光的光检测部，/n所述对物透镜，在所述测距光的光路从所述对物透镜的中心轴分离的状态下，将所述测距光朝所述对象物侧透过，/n所述光路调整部，以使在与入射至所述光检测部的所述反射光的入射方向垂直的至少一方向被成像的所述反射光的所述成像位置，接近与所述入射方向交叉的规定面的方式，对所述反射光的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180330 JP 2018-0674051.一种测距单元，其中，
具备：
将作为激光的测距光输出的测距光源；
使所述测距光及由对象物的被测量面反射的所述测距光的反射光透过的对物透镜；
使所述反射光透过并将由所述对物透镜产生的所述测距光或所述反射光的聚光位置中的像在成像位置成像的成像透镜；
调整所述反射光的光路的光路调整部；及
检测所述反射光的光检测部，
所述对物透镜，在所述测距光的光路从所述对物透镜的中心轴分离的状态下，将所述测距光朝所述对象物侧透过，
所述光路调整部，以使在与入射至所述光检测部的所述反射光的入射方向垂直的至少一方向被成像的所述反射光的所述成像位置，接近与所述入射方向交叉的规定面的方式，对所述反射光的所述光路进行调整，
所述光检测部的受光面，以沿着所述规定面的方式定位。


2.如权利要求1所述的测距单元，其中，
所述光路调整部，在所述成像透镜及所述光检测部之间调整所述反射光的所述光路。


3.如权利要求2所述的测距单元，其中，
所述光路调整部，是具有沿着与所述受光面平行且与所述一方向垂直的方向延伸的多个沟槽的反射型光栅。


4.如权利要求3所述的测距单元，其中，
所述光检测部，具有沿着与所述一方向平行的方向排列的多个光检测通道。


5.如权利要求3或4所述的测距...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥间惇治，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP