具有集成监视光电检测器和漫射器的光源制造技术

光源包括具有第一表面和相对的第二表面的衬底。外延层位于衬底的第一表面上。光源还包括外延层中的至少一个光发生器，该光发生器被定位为使得将借以传输的光信号导向衬底。漫射器位于衬底的第二表面上，并且至少一个监视光电检测器定位在外延层中并且接收由漫射器反射的光信号中的一部分。在一种形式中，光发生器可以包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)。

【技术实现步骤摘要】
具有集成监视光电检测器和漫射器的光源相关申请的交叉引用本申请要求享有于2019年5月13日提交的美国临时申请No.62/847,086的优先权，其全部内容通过引用的方式合并于此。
本公开内容总体上涉及可以例如产生激光的光源。更具体地但非排他性地，本公开内容涉及一种光源，其可以包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)以及集成的监视光电检测器和漫射器。
技术介绍
产生激光的光源可以用于许多不同的应用中，从用于数据传输的通信部件到3D感测技术。一种用于光学数据传输和3D感测的激光器是垂直腔表面发射激光器(VCSEL)。顾名思义，VCSEL的激光腔夹在两个镜堆之间并由其限定。VCSEL可以被构造在可以包括砷化镓(GaAs)衬底的半导体晶圆上。VCSEL包括构造在半导体晶圆上的底部反射镜。通常，底部反射镜包括具有交替的高和低折射率的多个折射层。当光从一个折射率的层传播到另一折射率的层时，一部分光被反射。通过使用足够数量的交替层，反射镜可以反射高百分比的光。在底部反射镜上形成包括多个量子阱的有源区。有源区形成夹在底部反射镜和顶部反射镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光源，包括：/n衬底，包括第一表面和相对的第二表面；/n外延层，位于所述衬底的所述第一表面上；/n所述外延层中的至少一个光发生器，所述光发生器被定位为使得所传输的光信号导向所述衬底；/n漫射器，位于所述衬底的所述第二表面上；及/n所述外延层中的至少一个监视光电检测器，所述监视光电检测器被定位为接收由所述漫射器反射的所述光信号中的一部分。/n

【技术特征摘要】
20190513 US 62/847,0861.一种光源，包括：
衬底，包括第一表面和相对的第二表面；
外延层，位于所述衬底的所述第一表面上；
所述外延层中的至少一个光发生器，所述光发生器被定位为使得所传输的光信号导向所述衬底；
漫射器，位于所述衬底的所述第二表面上；及
所述外延层中的至少一个监视光电检测器，所述监视光电检测器被定位为接收由所述漫射器反射的所述光信号中的一部分。


2.根据权利要求1所述的光源，其中，将所述漫射器直接蚀刻到所述衬底的所述第二表面中。


3.根据权利要求1所述的光源，其中，所述漫射器直接耦合到所述衬底的所述第二表面。


4.根据权利要求3所述的光源，其中，所述漫射器包括位于所述衬底的所述第二表面上的一个或多个小透镜。


5.根据权利要求1所述的光源，其中，所述至少一个光发生器包括至少一个垂直腔表面发射激光器(VCSEL)，并且所述至少一个监视光电检测器位于所述VCSEL的侧面。


6.根据权利要求5所述的光源，其中，所述至少一个光发生器包括VCSEL的阵列。


7.根据权利要求6所述的光源，其中，所述阵列中的每个VCSEL的操作是可单独控制的。


8.根据权利要求1所述的光源，其中，所述至少一个光发生器位于至少两个监视光电检测器之间。


9.根据权利要求1所述的光源，其中，所述至少一个监视光电检测器被配置为提供指示所述反射的光信号的电信号。


10.一种系统，包括：
光源，包括：
衬底，包括第一表面和相对的第二表面；
外延层，位于所述衬底的所述第一表面上；
所述外延层中的至少一个光发生器，被定位为使得将借以传输的光信号导向所述衬底；
漫射器，位于所述衬底的所述第二表面上；
所述外延层中的至少一个监视光电检测器，被定位为接收由所述漫射器反射的反射光信号；及
控制器，与所述至少一个光发生器和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈浩，
申请(专利权)人：菲尼萨公司，
类型：发明
国别省市：美国;US