低温超导薄膜制造技术

本发明专利技术提供一种低温超导薄膜，包括：n层电隔离层及n+1层超导材料层，所述超导材料层与所述电隔离层依次交替叠置；通过改变各超导材料层的厚度调整所述低温超导薄膜的超导转变温度，所述低温超导薄膜的总厚度在相干长度比拟范围内；其中，各超导材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。本发明专利技术的低温超导薄膜基于多层超薄的超导材料层及电隔离层调控低温超导薄膜的转变温度，通过调整单层超导材料层的厚度得到不同转变温度的超导材料，调控精度高、操作简单；本发明专利技术的低温超导薄膜的超导转变温度原则上与单层超导薄膜的转变温度一致，从而远小于体超导或较厚超导薄膜的转变温度。

【技术实现步骤摘要】
低温超导薄膜
本专利技术涉及光探测
，特别是涉及一种低温超导薄膜。
技术介绍
超导是指某些物体当温度下降至一定温度时，电阻突然趋近于零的现象，具有这种特性的材料称为超导材料。低温超导材料是指有低临界转变温度(Tc<30K)，在液氦温度条件下工作的超导材料。调控低温超导转变温度对研制超导电子和传感器件具有重要意义。现有低温超导薄膜为的单层膜结构，针对不同应用需求，研究人员可以使用不同的超导材料得到不同超导转变温度；或者利用临近效应在超导薄膜材料上制备一层金属膜，改变超导转变温度；还可以通过改变超导薄膜沉积条件，调整薄膜超导化学配比的办法，改变转变温度。上述方法对超导转变温度的调节精度低，工艺复杂，因此，如何提出一种高精度且工艺简单的改变超导转变温度的方法已成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种低温超导薄膜，用于精确调节超导薄膜的超导转变温度，简化工艺步骤。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种低温超导薄膜，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温超导薄膜，其特征在于，所述低温超导薄膜至少包括：/nn层电隔离层及n+1层超导材料层，所述超导材料层与所述电隔离层依次交替叠置；/n通过改变各超导材料层的厚度调整所述低温超导薄膜的超导转变温度，所述低温超导薄膜的总厚度在相干长度比拟范围内；/n其中，各超导材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。/n

【技术特征摘要】
1.一种低温超导薄膜，其特征在于，所述低温超导薄膜至少包括：
n层电隔离层及n+1层超导材料层，所述超导材料层与所述电隔离层依次交替叠置；
通过改变各超导材料层的厚度调整所述低温超导薄膜的超导转变温度，所述低温超导薄膜的总厚度在相干长度比拟范围内；
其中，各超导材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。


2.根据权利要求1所述的低温超导薄膜，其特征在于：各超导材料层的材料为低温超导材料。


3.根据权利要求2所述的低温超导薄膜，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：李浩，尤立星，王镇，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31