一种用于等离子处理器的射频电源控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，包括：箱体、底板、面板；所述箱体呈矩形状，且箱体由底板、面板、顶盖边框、顶盖组成；所述底板呈L形状；所述面板呈矩形状，且面板通过螺钉固定在底板前端的顶端面上；所述底板与面板通过螺钉固定呈凵形状；所述顶盖边框呈马鞍状的，且底板与面板通过间隙配合方式套在顶盖边框底部的内侧；所述底板的顶端及左右两端均通过螺钉与顶盖边框固定连接；本实用新型专利技术具有结构合理，便于对箱体内的灰尘进行清理，便于对箱体内的电子设备进行保养与维修，较为方便实用优点，从而有效的解决了本实用新型专利技术提出的问题和不足。

【技术实现步骤摘要】
一种用于等离子处理器的射频电源控制装置
本技术涉及半导体加工装置
，更具体的说，尤其涉及一种用于等离子处理器的射频电源控制装置。
技术介绍
等离子处理器被广泛的应用在半导体晶圆加工处理流程中，等离子处理器中的等离子浓度和入射到晶圆的能量是通过控制射频电源的功率来控制的。半导体晶圆加工用的等离子处理器的射频电源控制箱大多不便于拆解，不便于清理箱体内的灰尘，也不便于箱体内电子设备的保养与维修。有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，以解决上述
技术介绍
中提出的半导体晶圆加工用的等离子处理器的射频电源控制箱大多不便于拆解，不便于清理箱体内的灰尘，也不便于箱体内电子设备的保养与维修的问题和不足。为实现上述目的，本技术提供了一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，由以下具体技术手段所达成：一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，包括：箱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，包括：箱体(1)、底板(2)、面板(3)、顶盖边框(4)、顶盖(5)、限位边框(401)、手拧螺栓(501)、散热孔(502)；其特征在于：所述箱体(1)呈矩形状，且箱体(1)由底板(2)、面板(3)、顶盖边框(4)、顶盖(5)组成；所述底板(2)呈L形状；所述面板(3)呈矩形状，且面板(3)通过螺钉固定在底板(2)前端的顶端面上；所述底板(2)与面板(3)通过螺钉固定呈凵形状；所述顶盖边框(4)呈马鞍状的，且底板(2)与面板(3)通过间隙配合方式套在顶盖边框(4)底部的内侧；所述底板(2)的顶端及左右两端均通过螺钉与顶盖边框(4)固定连接；所述面板...

【技术特征摘要】
1.一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，包括：箱体(1)、底板(2)、面板(3)、顶盖边框(4)、顶盖(5)、限位边框(401)、手拧螺栓(501)、散热孔(502)；其特征在于：所述箱体(1)呈矩形状，且箱体(1)由底板(2)、面板(3)、顶盖边框(4)、顶盖(5)组成；所述底板(2)呈L形状；所述面板(3)呈矩形状，且面板(3)通过螺钉固定在底板(2)前端的顶端面上；所述底板(2)与面板(3)通过螺钉固定呈凵形状；所述顶盖边框(4)呈马鞍状的，且底板(2)与面板(3)通过间隙配合方式套在顶盖边框(4)底部的内侧；所述底板(2)的顶端及左右两端均通过螺钉与顶盖边框(4)固定连接；所述面板(3)的顶端及左右两端均通过螺钉与顶盖边框(4)固定连接；所述顶盖边框(4)顶部的内侧设置有马鞍形状的限位边框(401)，且限位边框(401)与顶盖边框(4)为一体式结构；所述顶盖(5)呈冂字形状，且顶盖(5)通过间隙配合方式扣在限位边框(401)上，并且顶盖(5)与顶盖边框(4)呈间隙配合；所述顶盖(5)的左端与顶盖边框(4)铰链连接，且顶盖(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷广东，
申请(专利权)人：南安市弈诚机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35