导电性接触件保持器及导电性接触件单元制造技术

一种导电性接触件保持器，其具有的结构是：包括具有导电性的保持器基板（１１），该保持器基板（１１）形成有收容接地用导电性接触件（１６）的第二开口部（９）；第一开口部（８）的内面、信号用导电性接触件（１５）及第三开口部（１０）的内面、和供电用导电性接触件（１７）被电绝缘，而第二开口部（９）的内面和接地用导电性接触件（１６）的外周面直接接触。因此，接地用导电性接触件（１６）可以从保持器基板（１１）接受接地电位的供给，可以对使用的半导体集成电路等供给稳定的接地电位。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及至少收容对规定电路结构进行信号输入输出的信号用导电性接触件、和对该规定电路结构进行接地电位供给的接地用导电性接触件的导电性接触件保持器以及导电性接触件单元。
技术介绍
以往，在与半导体集成电路的电特性检查相关的
中，已知一种关于导电性接触件单元的技术，该导电性接触件单元，以与半导体集成电路的外部接触用电极相对应的方式配置多个导电性接触件。所述导电性接触件单元具有以下结构，其中包括多个导电性接触件、形成有用于收容导电性接触件的开口部的导电性接触件保持器、以及与导电性接触件电连接的检查电路(例如参考专利文献1)。该导电性接触件单元所具有的多个导电性接触件可大致分成三种类型信号用导电性接触件，其对作为检查对象的半导体集成电路进行规定信号的输入输出；接地用导电性接触件，其对半导体集成电路供给接地电位；以及电力供给用导电性接触件，其对半导体集成电路供给驱动电力。这些导电性接触件是分别通过与检查电路内所具有的信号产生电路等电连接，而实现上述功能的。专利文献1特开2002-124552号公报(图1)但近年来，随着半导体集成电路的小型化以及动作的高速化，要求导电性接触件单元也本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导电性接触件保持器，其至少收容对规定电路结构进行信号输入输出的信号用导电性接触件、以及对该规定电路结构进行接地电位供给的接地用导电性接触件，该导电性接触件保持器具有：保持器基板，其通过导电性材料形成，且形成有第一开口部和第二开口部，所述第一开口部收容所述信号用导电性接触件，所述第二开口部维持与所述接地用导电性接触件之间的电连接的同时，收容所述接地用导电性接触件；以及绝缘部件，其覆盖所述第一开口部的内面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：风间俊男，中山浩志，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]